基本信息

标准号： GB/T 17169-1997

中文名称：硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法

标准类别：国家标准(GB)

标准状态：已作废

发布日期：1997-01-02

实施日期：1998-08-01

作废日期：2005-10-14

出版语种：简体中文

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标准分类号

标准ICS号：电气工程>>29.045半导体材料

中标分类号：冶金>>金属理化性能试验方法>>H24金相检验方法

关联标准

出版信息

出版社：中国标准出版社

书号：155066.1-14930

页数：平装16开， 页数：10， 字数：15千字

标准价格：10.0 元

出版日期：2004-04-12

相关单位信息

复审日期：2004-10-14

起草单位：南开大学,天津市半导体材料厂

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家技术监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介