本标准规定了应用X射线光谱方法测量金属覆盖层度的方法。本标准所用的测量方法基本属于测定单位面积质量的一种方法。如果已知覆盖层材料的密度，则测量结果也可用覆盖层的线性厚度表示。本测量方法可同时测量三层覆盖层体系，或同时测量三层组分的厚度和成分。给定覆盖层材料的实际测量范围主要取决于被分析的特征X射线荧光的能量以及所允许的测量不确定度，而且因所用仪器设备和操作规程而不同。 GB/T 16921-2005 金属覆盖层 覆盖层厚度测量 X射线光谱方法 GB/T16921-2005 标准下载解压密码：www.bzxz.net
本标准规定了应用X射线光谱方法测量金属覆盖层度的方法。本标准所用的测量方法基本属于测定单位面积质量的一种方法。如果已知覆盖层材料的密度，则测量结果也可用覆盖层的线性厚度表示。本测量方法可同时测量三层覆盖层体系，或同时测量三层组分的厚度和成分。给定覆盖层材料的实际测量范围主要取决于被分析的特征X射线荧光的能量以及所允许的测量不确定度，而且因所用仪器设备和操作规程而不同。

IC.S 25. 220. 25
山华人民共和国国家标准
GB/T16921—2005/1S03497:2000代‘11/15921—1997
金属盖层
覆盖层厚度测量
X射线光谱方法
Melallir cuatiags-Mensurement of coating thickness-X-ray spectrometric methods
(15O3497:2000,IDT)
2005-10-12发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
2006-04-D1实施
GB/T16921—2005/ISO3497:2000言
.......
本语和定义
彩询质错果的素
议器的校准
规垂…
受不物定度
测试报告.
射录（资料性附录）常见爱益测量的典型测量范图参考文觉
(B/T16921—2035/1SO3497.200C本标证等同采用1S0312/200（分属带等质限盖件世测且X时线光潜力法芯2版）本标准报/，，！的菌料要求，据4新起：个标确对应S34下修改：：取消了S：的前言内产.至新起草本款前：消知，“白秋内容”；
用“立标过代件“本因际标准”本标准代替（H/T16%711997金属覆益层理益层原虚测量X制线.北诗方达。本标注与161-7比要变化：
布范州中增加门誉告：
车进和义中增加「体材报承床金高邦基体的定义，将归一化乐（17年版%本版的？.4>的数学物号定义为r.1!年成为I)：相应的数常关系式也随之改变：，：生3,1.：能量色放中样微长和能量的关系式进行了修正；在原理中.将其内容进行了新排死，地加了！.3比实为法虾3，7数学及举积的拥送：对5.1.2证机读票的标准假完，以及5.覆常层密度的公式进行广参正：对516试样衣回的惯纠整的料响，做了至请炉的修止1-在仪望的较准中增列5，1.5一算机模拟效的无标样技术的摘述：本标准的附承A为资料性附录。
本标堆出中国机报工业联合会提出.本标准中医金属与非会同覆需层标业化技术要员会归1本标排起要单位：机球工业表面旗益层产品质量监带检测中心。本标准起草人：姜新华，国伟、刘建国，钟立畅、智玲、本标准所代普标准的历次减本发布价况为：GR/T 1692115S7.
1范围
CB/T16921—2005/1S03497:2000金属霾盖层霍盖层厚度测与
X射线光谱方法
警告：本标准不包括人员防×射线辑射的问题：关于此重要方面的信息，可孝考现行的图际和国家标难及池方法规
1.！本标洋规定了应用?附载光诺方法洲岸余属懂盖层厚度的存达，1.2本乐所的测层行法体本风于测定单位而积质早的标方法。如男己知题董层样料的牢度，则测量结果也爱品的性厚皮变元免费标准下载网bzxz
7，3本测量法可同对测量二层盖层术系或同时谢量二房组分的厚度动成分。\，工给定通层材料的实际测量范围丰收决于被分析的特证射数荧光的能盘以及所无许的即基人确定度内所用设险备换作我
2术语和定义
下到术培和定义适片于本标准。2.1
X射线荧光X-rayFlucrescence(XRF)高驾度人射又线控击置于人射光束路径上的材和时产生的二次拓射：泛，代二交发射具门诊材料的被长和量游证，2. 2
光辐射建intensityoturescenimidiution播时弹宽士仪器测率的匝再砂数握射脉冲亲税示2.
饱和厚底aluraldinblckness
即为产强再户牛何小家学的专化的度注：和品步辆射的能，材科的和凉效，的度以及时而的光时，2.4
一化#民。murmulized icleaxity在一茶件下得到的受益层试样和未涂通游体材科，的强理差率人」或带」他和后的料小，（死南木染覆基体花料：的强度大之比让1：月化快爱数学关系式为：
或+：
覆益是试样的经度
厚压大于或二相和库压的粒的受，注：一化度折间留发人乐研乐关，激发则的可和能的一化的计数中，其侦在“利「之引有效
GR/T16921—2006/156>3497:20002.5
中间翟普层Intermediatecontings位二表白要只和基体材料之问的厚度小于片每尽泡和的度芒左，，体可的同为在样的
养层下的利料小含您用·创型时以考，2. 6
计数率conmiatc
每单位时间仪器记录射脉冲的数口（别，3.2》。2.7
基体材料hasismiaterial
基体金属Iusismlal
在其表尚说或杉成预盖的耗20：18，义312.B
基体substrate
超一种宽盖号直费流板的材物150）2C8：1%1，定义63：于中成染经：作与等同：向银供3原理
3.1操作机理
理益云单位面积正里（者密的，圳为两带尺线性压境机二次插射强之州存个定的美系，于任何尝愿的器录统，段关系先出二知单位面积质量的稳盖景校证还准实妆正谢定，者范压材料的案停！知同叫文给出实的密世，则建托的标谁以就能翁出理产后我性浮度。：地的世，：定的村，江平决与校的不可成当几·个反读效种关别的系报并在测试根否中加以的乐炭光强度\索原了序效的两数，如未我丽益晨，4间夏益果存在1及基体界山小网方点绝成或-个稳层出不正，个元来成，则这些元素产生各自比猎点快证，可期节适出的监则放系统以造择一个或农个能带，使没的既整测表通题层义能网片测量表面游普层杆一此间题差层的厚受和续成。
3. 2激发
3.2.1*~般要求
身线谢为法得滑层厚要光基您百准的色改羊射了共体和境层的相作用，此相\准用产生鸟放该长和能氧的二次描射，这些三款时其有构成益利比床的变资征，
后线营发土舒变道当的成射可心叫产主退的射，3.2.2审高压X射载营产虫
接定象性下如集对文时战咨外出足的电应以能严生巨当！谢效帮肝，人多效度测单要求的外加电玉为25~5,但为了制日低真下库获氧盗层材料，可能有必要将生非[V，由于成用安装在X划级管和成样之回的小产忘色器，降低了量十确定家该激发方法的主要优点为：
返注准查，能个得小的到单面.产主成披强的幅射出一人身个要求容易保证：
一道过划代电子学方法司获得够稳定的发射3.2.3虫放射性问位素产生
只有几种放射性网位求友生的下别线在能量肯上适合照带尺享再测单。理志的定·做发与时的能量比要求的寸证X射线朋量高（技以销频1，放对性间位索发的优点工于仪器势构央紧炭，这上要GD/T16921—2005/ISO3497:2000丑为无需冷，此外：与当不我营发生举不同，其辆身是色的门车底强庭低。与文乐越管力法捐比，其上云技术缺点是：斯得强女适再多.不帮边行小面积测币！一期
强位带来前护问单
3.3自款
3. 3. 1—般要求
微盖层去而经Y疗然照钟“生的二次的射而常包含案两盖层原按湖且所求之外的成，利用波长色散或能益色微并离需要的成牙3.3.2波长色牧
口，个品件分界仅川说择两当层或片达的波长将征，原石的常用品体典型控证档时数提见名国权成机构内出原权，
3.3.3能量白
时求！延节技或效前示，波长利能的美系式为AX #=1. 2 H9H 127
皱长单位沟纳r
非量，单位了e
3.4检测
法长也收系统用吨轻划器类型间一充气管、固态检测器业与光电筑培器相注变的阅计数变网成，量色散系统的最适当的按收索光光子的格测留由警检行者我据应选定.在1.5k。1k前带带品正成，可来正常一点十讲测量，而不起数一或点案，不向特征能率的更代暂射先世人能量色收检测量，然示：出定人影道才拓议以控制选择正确的能节。3.5厚皮测量
3.5.1发射方法
芯测限盖的特新射点度，测在送到式序前、此绳要将随厚追的加血增加，则图1）圳射线发：方法叫将发器谢纠接收选京范得盖层材料的特征量带，这评，费值益层产平低强型质带层实牛意题
1.5.2吸收方法
共测量点体的特行辑射强度.则此强度随厚废增加而小，贝图1X别账收方法川基依协的特证能带：这，两通益层产强段而原整益层产低强成企实除遂用时：资汽意晚保不存生牛间所。吸收待征变射持征反向相假，
3.5.3比密方法
当将盖层度用体利皮色将各自的强变比最六时，则川能境利我吸收方法和发利方法型合，这钟证度方法的剂其基交同式利检即器高可的光离充关，3.6.4刷盟
和3.中高带许的两种方法-多用没益节采用归化计数款柔统择无盖层的使的特往让教率调整为而无服的想益层转料的特证计效率为：闪此所有可测厚腰计数率都生0到1的化计教用：见32.
在所有的情沉一，演的最好或灵教栏片大的在0.3--U.8的特行山数本标度之间：齿此·要在这个厚成范实格到好伪刮量节废，定.心~多的待行计数率值的校正标单。为了确保其他定的量精度，些假器能其池标准，以为设让标难的忘变的厚度的成少增划，所以通还当用行序实向收确定度的移准共，在序安范制的资润效立止确的激学关系。3
GH/T 1G921—2005/1S) 3497,20C0+的
血甲湿
:X射数发射方密
以射效我抗方法
强或计数率与覆带层厚度之间关来的图示函1
线性范图：
X欢市
双由欧西州：
中：让录至体！不有责1材料计教率一：饱和及监足表)对料计款率一内—化计激率
图2单位西质量与归一化计数率之间美系的图示3.6二次辐射的吸收函
当测具有宽能口节异能母色收系境的要益层基体材料组合时，地和序度孩益层无益层业体的特行数率的比率限（典型为10：！。作这种情比下千一定需蒙其有类似或柜同基体的校正称准因为套体材料物不乐与覆益层材料同托的能带。当无摄益层体与无限厚疆盖层的计散比为3：！时对其有明似能量的微益导/基体组合征经必纳逆出·种\技收器”，以驶女其一冲材料的猫村，常指基证材料的描点，这种吸收资通常长手动或白动改连款测表面与控视器之间。3.7数学反积
在使川家范分长需以，二饮报射频谱的数学反老积可求出持征暂射强度。当被将特证超射的能且小能期分，来自会范的特征，准用这种方达：这法被将数字健被\面与别于泌被法见3.)，3. 8各层测量
儿要内层所实征X射线发射八完个效外层吸收，可以现量·层及上的通卡层：士·个能量色收系流归安装多逆分析仅，币以接女需种或更实种材称的两个或更实个不司的特征能计。3.9合金成分厚度测
基钟金和化合物例锡-品，可以同可测是其成办享度，准其些情阅，该法在述的情况下使用·例如，桐合金些体铲/把！金，因关合企化合动的压实证量取次于含金为成分，所以，必须个创量成之前别成认是其款分成若能测其成分：GU/T16921-2005/IS0 3497:2000成：以足的底会以人质期量战学，些居尝通计发至本的五扩能做台金，这社合金店的在可提场创最的小定医。
见图小图，
准口器：
检测器
收码：
文新线发牛
微样：
人射X附载完束：
快则和会近的特类光别绝光来、高压，
因3x乐战看图示
GA/T1G921—2005/IN(>3497,2000准三录
股收器：
比女架。
人时焱光束：
间和护的光求，
图4带固体试样支架的X射线管图示3
塑方存：
同位表和准自带：
人的X别光束：
投则利分长的特年荧光X光款光束吸发器
构测据，
uwarmarn
GB/T16921—2005/1N13497:200D图5同位作为初级X射货原图示
4.1初纷X射端追
这只个×射者或适当的放射件司位素·两者都能邀安则禁用的炭光肾射：4.2准直器
采用只尺于精确的单孔或多孔，这选孔在埋论上可为任而彩状。这种引的大小和状决定书洲覆盖层表面的人射X射线光束能尺小。我有用仪器的准卢器子草函形，止方形或长形。1.3检测器
接收被测件品的炭桶别，平将它转化为进行评价的出信号，评价系统用」选择一个感多个表面要益层，中间房对/我基林料的等证能准。GB/T16921—2005/ISO 3497:20004.4评价需统
此系纯根据较长程字处理获得拍段：居从创确定式挥的单位可积预盖片质见或覆益会事放：会家准的兰实的火航记市场：，相会专备点能量色能资效各，帝耐有款处理各，川以将送出高上转化为也位验理质益或以累，以情存次止数期以改计算不间的统计间其。微光×射改情宝层测呼位三央以括个初级义别战源，每，试样、冷划器和一个评价系，射谋，位相，层体的始人一收器级收中
一冲才科如基库的性征安范陷显。5影吲量结果的因案
5.ti数练计
5！「就时间成逆，义射线量子的产生尽随机的，这就意味卷立一同定的用问间隔内，安射筑监于数不--定总可，于是产生了统式课禁。这种统计游差境所有的挡时烫址间有的：因七，个证计致奶剂1秒2秒的数书司与一个长计数期的计效率件品不，在计录率沃的时假史如此。北装兰与其误关，如换作建的感恢升不正解的标准等感的温要无关，整将装计误兰降约叫移受范水平必须采用一个适“长的计数同明，以却界足够的计数效。与使用能卓色救系统时，读认只到质准计激周期的相当人部分可能以先时间而清托扭过系统计数容量的对，遵以制道，特外设我的微出说明，可格正淋时间的减头：
5.1.2随刊误差的标洋偏带：非常近假于计救率和索北时间商的半方根。印：我小，
-—标准氓差！
—斗数率
m——案计时间（如量时司的数。m
所别%的计效率这内：一-
5.1.3原安测量的切信假美与计效如的标准偏券不.样，日与1F数率的你谨谢差H方函数关系，此关感取决于以点的夜正业战的料率，大部分商片文时线我光视厚的标证信差部表求为微术或所的分：
当川辉断学过然器>方法时，计微率的标准偏关闪为一来源为效学的规则系统5.2正标准决
月厚度标准决进行校止测量可行的·标准缺的不确定皮小十治（一业待那情记会史高）似对于请并层，于规度，孔感那产散等愿风，保证5%的不定度十分困理该校比标准快仅月一题品的一化计效率在.,S的范用内，
院校止标证块性可桌生之，较止过需牛的测量重我性影询必口不回议器不同实验节要益层度来的卡现后
惊准皮的中位面积点量，净使，变和组成必预有保证，三能测渐车用家国际效其他接学的标准供应和顾穿之间能丘相接变
5.3垂益应厚度
尘可年复的件下测量厚度范国影测量的不研定比。在图2所示的山然中，大的成线的近～的性状态药情意量高。超出此范制，在给完时高内测成辆质题连下降，情况类例十控收级，：般来诺距益示村料可.原度提限团同，6.4测癌面的尺寸
为了在一轻短计效同期内得到满意的就计效！见5.1，克选择一个与试样形状和尺寸相称的准GB/T16R212005/ISO 3497.2000
百留孔径以得，尽可能人的划左。存人它数犯下，测内有关的或右化去件的面和费大于准耳湖光中的面积泪出表面的准自器光束面积不定和带止径尺寸相同）。热而，在有用情说下，被德面附川以比心克面秘小（见5.1）。这利情记被测面机的变化必逾充分较止。一定要汁煮测量面质是产牛他和计数率或超过查测器的能有些商非仪益会自动限制开数率，任这轻过！商的）
5.5层定
要荒层中的外来格质如杂物共抗制物或十基件与优益层界且托教收成的合金层，都会对单位回根互的德质有影均，影以如有可能厚障和我同时测量（43.。除此之外片度的测量还受空问和子院范影响：可采月相同来件制各的并有化表性X利能特征的标准法定消雕一些谋差。十于火荣物、于原成的存在导致出不同：且有这些缺陷的理益层最好以单资值长质量进测量，如果处道实际险益层密度值，将共始人测仅举就能进行情T（则5.5）。5.6更益是密度
果兰层村料的座度校正环准不引，在测厚将会产生一小相度闪误差，当预盖层材科密包知寸，则可得到共（见31）。果惯单位面积历电为单停，划线生学度可口该值险以需蓄率度如果纠量使向瓷性单代率它静正药序度式为：d = d, x Be
式中,
线性厚，单资为尚米（m)：
载性厚成减数，单位为做来：
校上标准块催益层材科的密质单实为克每立方压米（g）a—.镇试试样通落层材料的度，单位为克每立力米g/测或成择魔益层单位而期质量，单位为表克半方量米mgcm5.？基体成分
如其采用发射方然，羽久在下到出下基本成差别可略不计：基休发时的火光X射绒不径入两并层能量的持证能伴（如只发促人，叫需采取措随消除其6）求体村料的炎为射或不继激发两盖层材料。好果尔用吸改方云或需度比率方达·校正标准块成参考标准买的体成分应和试栏的基体或分相同：
5%基体厚度
月×然发时法测量叶，双面覆益尺式详的分体声足够厚，以防止什间反面村料的下扰，月射版文方法或通度出率法两屏时，老体导度显等或大于其物和厚度·如果小待台此标，洲州托司伴原世的多准楼正依带（5.9表面清洁度
表白上的外米物版全导致测与不持，保上层、衣回处理或油需出全导致测争不粘确。5.10中间量盖层
在中低题益收受性能不消意的情况下，吸收方法不签用。在这卡情况下建来带安射方，b.11试样曲率
好来虽必须在山面上谨行，量选举今适的准直器或光束限刷孔便丧百带座影响最小，测试列境
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