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  • GB/T 24581-2009 低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法
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  • GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法
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  • GB/T 24574-2009 硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法
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  • GB/T 14264-2009 半导体材料术语
    GB/T14264-2009
  • GB/T 14146-2009 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
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