JJF 1189-2008 测长仪校准规范 JJF1189-2008 标准下载解压密码：www.bzxz.net
本规范适用于测长仪的校准。

本规范引用下列文献:
JJF1001—1998 通用计量术语及定义
JJF1059—1999 测量不确定度评定与表示
JJF1094—2002 测量仪器特性评定
使用本校准规范时,应注意使用上述引用文献的现行有效版本。
1 范围 (1)
2 引用文献 (1)
3 概述 (1)
4 计量特性 (1)
4.1 平面测帽和立式测长仪固定式工作台的平面度 (1)
4.2 示值变动性 (1)
4.3 示值误差 (1)
4.4 测量重复性 (1)
4.5 内测尺寸示值误差 (1)
5 校准条件 (1)
5.1 环境条件 (1)
5.2 主要标准器及配套设备 (1)
6 校准方法 (2)
6.1 平面测帽、固定式工作台的平面度 (2)
6.2 示值变动性 (3)
6.3 示值误差 (3)
6.4 测量重复性 (4)
6.5 内测尺寸示值误差 (4)
7 校准结果 (4)
8 复校时间间隔 (5)
附录A 测量结果不确定度评定(示例) (6)
附录B 典型测长仪主要技术参数 (8)
附录C 示值范围>1100mm 时辅助校准方法 (9)

中华大民共和国国家计量技术规范JF1189
测长仪校准规范
Calibration Specification for Length Measurin2008-03-24发布
2008-06-24实施
国家质量监督检验检疫总局发布JJF1189—2008
测长仪校准规范
Calibration Specification forLengthMeasuringInstrument
JJF1189—-2008
代替JJG55—1984
本规范经国家质量监督检验检疫总局于2008年3月24日批准，并自2008年6月24日起施行。
归口单位：全国几何量长度计量技术委员会主要起草单位：江苏省计量科学研究院中国计量科学研究院
本规范委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释本规范主要起草人：
JJF1189—2008
吴学良（江苏省计量科学研究院）王晓飞（江苏省计量科学研究院）王为农（中国计量科学研究院）参加起草人：
胡清（贵阳新天光电科技有限公司）2
引用文献
概述·
4计量特性：
JJF1189-—2008
4.1平面测帽和立式测长仪固定式工作台的平面度示值变动性
4.3示值误差
4.4测量重复性
4.5内测尺寸示值误差
5校准条件·
5.1环境条件
5.2主要标准器及配套设备
6校准方法
平面测帽、固定式工作台的平面度示值变动性
6.3示值误差
测量重复性
内测尺寸示值误差
校准结果
复校时间间隔
附录A
测量结果不确定度评定（示例）附录B
附录C
典型测长仪主要技术参数
示值范围1100mm时辅助校准方法(1)
（1）
（3）
（6）
1范围
本规范适用于测长仪的校准。
JJF1189—2008
测长仪校准规范
引用文献
本规引用下列文岁 SNOH
ONIHSE
JJF1001-1998通用计量术语及定义》JJF1059—199
JJF1094-
量不确
测量仪器特
规范时，应注意你
使用本校准
测长仪
式测长仪。
现行有效
金学机械或光机电相结合的长度计量仪器，结构型式办立式测长仪和卧
测长仪
基座、测量座和测
读数或显示
测长仪运
密机械零件的
4计量特性
组成。测长仪来用
长度标准器：
连续刻度的长
直接测量或比较测白
的方法测量量块、
量具、光面
尺寸。
平面测帽和立
4.2示值变动性
测长仪固
二作合
使用平面测帽除的示
值变动性
METROLOG
使用球面测帽时的
4.3示值误差
测量重复性
内测尺寸示值误差
校准条件
5.1环境条件
尺或光栅等）和
准器。
螺纹量规和精
环境温度一般控制在（20士3）℃以内，或按照相关技术要求的规定。5.2主要标准器及配套设备（见表1）校准项目
平面测帽、固定式工
作台的平面度
示值变动性
示值误差
测量重复性
内测尺寸示值误差
校准方法
JJF1189—2008
表1主要标准器及配套设备
标准器名称
平面平晶
标准球
激光干涉仪系统
测量范围
$60mm，g100mm
直径<10mm
(0~1000）mm
(1~10）m
(0~1000）mm
$14mm，g30mm，
检查外观，确认没有影响校准计量特性的因素。按照仪器使用说明书的规定执行仪器的启动和准备程序。2级
准确度等级
2等或3等
优于1.1μm/m
2等或3等
U<0.5μm，k=2
立式测长仪与卧式测长仪的校准方法相同，下文中一般不再单独叙述立式测长仪的校准方法，而是把固定式工作台当作一只测帽来处理。6.1、平面测帽、固定式工作台的平面度平面测帽、固定式工作台的平面度用平晶以光波干涉法测量（图1a）。入射
(a)干涉条纹图像
(b)平面度的计算
图1光波干涉原理示意图
测量前，平晶必须至少恒温1h。把平晶放在被测表面上，且与被测表面形成一个很小的角6，以单色光源照射。调整平晶与被测表面间的夹角，在视场中形成3～4条干涉条纹。如干涉条纹平直，相互平行，且分布均勾，则表示被测表面的平面度很好；如干涉条纹弯曲（图1b），则表示平面度误差AP为：
P=(a/6)×(a/2)
式中：α-干涉条纹的弯曲值；
6.两干涉条纹间距离；
入—光波波长。
在干涉条纹呈圆形对称的情况下（如图2），估读所观察到的干涉条纹数目n，取干2
JJF1189—2008
涉条纹数n与所用光源的半波长入/2之乘积作为平面度误差。图2圆形呈对称干涉条纹
6.2示值变动性
6.2.1使用平面测帽时的示值变动性平面测帽的示值变动性用标准球校准，校准前在测量（轴）座和尾座测量杆安装平面测帽。带测帽调整机构的仪器，可不校准此项目。在两平面测帽间放置标准球，调整标准球位置，使标准球与平面测帽测量面的中心位置接触，连续测量3次示值：标准球在距离中心位置上下前后各3mm处，分别测量3次示值；每点3个示值取平均值，5个平均值中最大值与最小值之差为平面测帽的示值变动性。
6.2.2使用球面测帽时的示值变动性带测帽调整机构的仪器，可不校准此项目。球面测帽的示值变动性用10mm量块校准，校准前在测量（轴）座和尾座测量杆安装球面测帽。
示值变动性测量过程如下：
a）在工作台上安装10mm量块，使两球面测帽与量块测量面中心接触，调整工作台找到示值转折点，测量量块3次示值：b）移开测量（轴）座，旋转一个球面测帽约90°，再使测帽与量块测量面中心接触，直接测量量块3次示值（不调整工作台）。重复步骤b），共测量4组示值。每组3个示值取平均值，4个平均值中最大值与最小值之差为使用球面测帽时的示值变动性。6.3示值误差
示值范围≤1100mm的测长仪，选取5个量块，其最小长度为10mm，最大长度不小于示值范围的90%，其余量块的尺寸应使校准点间隔基本均匀。示值范围>1100mm的测长仪，需要进行一些辅助测量，测量方法见附录C。测量（轴）座和尾座测量杆安装球面测帽，设置零位。按校准点选取一组量块，将量块分别安装在工作台上，测量量块长度。每块量块测量3次，记录测长仪示值。各校准点测长仪示值和量块实际值的最大差值为该校准点示值误差：
A;=max[(L-L)-L]
式中：Li—测长仪测量第i个量块的第i次测量的示值；L。——测长仪测量零位时的示值；(2)
一第个量块的参考值；
JJF1189—2008
——量块的序号，=1，2，，5；j——测量的序号，j=1，2，3。6.4测量重复性
分别取5组示值的极差值除以极差系数为该组示值的实验标准差：Si
式中：R，—某校准点3次示值中的极差，即最大值与最小值之差；SOAEPNISTE
示值组的序号，=1
一极差系数，3次测集聘
取合并样本标准差s，为重复性校准结果：1
6.5内测尺寸示值课
6.5.1使用小测量两内测尺寸示
按照使用手册：
工作台上安装
取下$14mm
在测量（轴）
mm环规。调整
换上30mm
小测量钩。
系值转折点后读数
规。调整工作台找到其示值转断吧Www.bzxZ.net
复3次。
值之差与实际孔径差最大值为使两只环规的未
式中：d3o和d14
d3oi和d14i
Am-maxka
mm环规和
用测长仪测量
值的序号，
6.5.2使用大测量钱的内测尺寸示值按照使用手册规定车量（轴）
工作台上安装$30班
复3次。
后读数，重
小测量钩的内测
示值误差。
mm环规的参考值；
尾座袋
14mm环规时获得内示值；
天测量
。调整工作台我到其示值转拆局规。
读数，重复3次。
取下g30mm环规，换50.mm环规。调整工作台找利示转折点后读数，重复CHIN
3次。
两只环规的示值之差与实际孔
测量钩的内测尺寸示值误差。
Am=max[(dsoi-dso,)-(dso-dso)]式中：dso和d3o—
50mm环规和g30mm环规的参考值；dsoi和d3oi
校准结果
-使用测长仪测量g50mm环规和g30mm环规时获得的示值；一测量值的序号，i，j=1，2，3。(6)
经校准的测长仪发给校准证书。校准证书应给出各校准项目的测量结果及示值误差4
测量结果的扩展不确定度。
JJF1189-2008
当用户要求时，可以根据用户提供的计量特性最大允许误差进行符合性判定，并将结论列人校准证书。进行符合性判定应考虑测量结果的扩展不确定度。8
复校时间间隔
在定期进行期间核查的条件下，建议复校时间间隔为1年。OH
DNISTnd XE
附录A
A.1概述
JJF1189—2008
测量结果不确定度评定（示例）校准测长仪示值误差时，在测量（轴）座和尾座测量杆安装球面测帽，调整达到最佳测量状态，并设置零位。移动测量（轴）座，将相应长度的量块安装在工作台上，使量块工作面中心对准球面测帽，调整工作台使量块工作面与球面测帽轴线相垂直。从读数装置读出测长仪示值，测长仪示值与量块实际值的偏差为测长仪示值误差。量块温度引起的长度变化经过修正。
A.2数学模型
A: =(L, - Lo) - L
式中：△一校准点示值误差；
L校准点示值；
Lo——零点示值；
L一量块在标准条件下的长度。
A.3输人量的不确定度评定
A.3.1重复性u(L,）
输人量L，的标准不确定度来源主要是测长仪的测量重复性，可通过多次测量获得，用A类方法评定。
重复性采用现场校准过程中获得的数据。本例中设s.=0.06um，则
u(L)=0.06um
A.3.2输入量L.的标准不确定度u（L.）A.3.2.13等量块的扩展不确定度U=0.10μm十1×10-6L。，量块长度等于100mm时，U=0.2um，量块证书给出包含因子（k=2.8），则U_0.2um~0.07μm
u(Ls10o）=
A3.2.23等量块的热膨胀系数α一（11.5土1）×10-6℃-1，当温度测量有误差时，会引起的标准不确定度u（L2）。设温度测量误差不超过△，=0.1℃，服从均匀分布，k=/3，则
u(L2)=L.4,:α/k=（100×10μm×11.5×10-6℃-1×0.1℃)//3~0.07μmA.3.2.3量块的热膨胀系数的不确定度，当温度偏离标准温度20C时引起的标准不确定度u（L）
量块热膨胀系数的不确定度在U。=1X10-6℃C-1，服从均匀分布，则包含因子k=/3=1.73，当温度偏离标准温度9一1℃时：u(L)=L.U。·2/ k=(100×103μm×1×10-℃-1×1℃C)/1.73=0.06μm6
A.4合成标准不确定度
A.4.1灵敏系数
JJF1189—2008
L,的灵敏系数：cr=a./aL,=1
L。的灵敏系数，c2=a;/aL。=—1L,的灵敏系数：C3=a,/aL=1
A.4.2标准不确定度汇总
标准不确定度分量u(z）
合成标准不确定度计算
不确定度来源
测量的重复性
量块长度的不确定度
温度测量的不确定度
热膨胀系数的不确定度
以上各量互不相关，故合成标准不确定度为：标准不确定度/μm
u。=V0.062+0.07+0.072+0.06°μm=0.13umA.5扩展不确定度
取k=2，则
U=uc.k=0.13μm×2=0.26μm
附录B
计量特性
平面测帽、固定式
工作台的平面度
示值变动性
JJF1189--2008
典型测长仪主要技术参数
表B.1典型测长仪主要技术参数
技术参数
平面测帽：0.15μm
作台人H墅
示值误
Hsrrande
内测月
注：L为测量
值误差
使用球面测帽：0.2um
1um+5×10-L
（20半
+ioxig
METROL
环境条件
+3)C，0.5℃/h
℃，0.5℃/h
C，0.2℃/h
（20±：
（20±1
（20±0.5)
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