本规程适用于高等别线纹尺的首次检定、后续检定和使用中检验。 JJG 73-2005 高等别线纹尺检定规程 JJG73-2005 标准下载解压密码：www.bzxz.net
本规程适用于高等别线纹尺的首次检定、后续检定和使用中检验。

中华人民共和国国家计量检定规程JJG73—2005
高等别线纹尺
High - precision Line Scale
2005-09-05发布
2006-03-05实施
国家质量监督检验检疫总局发布JJG73—2005
高等别线纹尺检定规程
Verification Regulation of
High - precision Line Scale
JJG 73--2005
代替 JJG73—1994
JJG 170--1994
本规程经国家质量监督检验检疫总局2005年9月5日批准，并自2006年3月5日起施行。
归口单位：
起草单位：
全国几何量长度计量技术委员会中国计量科学研究院bzxz.net
航空一集团北京长城计量测试研究所本规程委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释本规程起草人：
邹玲丁
沈雪萍
牛立新
JJG73—2005
（中国计量科学研究院）
（中国计量科学研究院）
（航空一集团北京长城计量测试研究所）1
引用文献·
3概述
3.1结构
3.2用途
4计量性能要求
JJG73—2005
、二等标准线纹尺的外形尺寸
材料线膨胀系数
表面粗糙度
刻线面的平面度
刻线面与非刻线面（或基面）的平行度刻线宽度和长度
纵轴线
纵轴线与刻线的垂直度
准确度等别
稳定性
通用技术要求…
刻线质量·
5.3其他…．
6计量器具控制·
检定条件…
检定项目和主要检定工具·…
检定方法
检定结果的处理
6.5检定周期
附录A
附录 B
在激光干涉比长仪上检定线纹尺长度时的一些建议检定证书及检定结果通知书（内页）格式..
（4）
（4）
JJG73—2005
高等别线纹尺检定规程
本规程参照了OIMLR981991High-precisionlinemeasures of length（高精度线纹尺）中第3部分“一般的技术要求”及第4部分“计量学要求”的内容。1范围
本规程适用于高等别线纹尺的首次检定、后续检定和使用中检验。2引用文献
本规程引用下列文献：
JJF1001一1998通用计量术语及定义JJF1059-1999测量不确定度评定与表示JJG2001--1987线纹计量器具检定系统JJF1094一2002测量仪器特性评定0IMLR981991Highprecision line measures of length（高精度线纹尺）使用本规程时，应注意使用上述引用文献的现行有效版本。3概述
3.1结构
3.1.1高等别玻璃线纹尺
高等别玻璃线纹尺包括一、二等标准玻璃线纹尺和其他非标准玻璃线纹尺。一、二等标准玻璃线纹尺（见图1，以下简称玻璃尺），采用光学玻璃或石英玻璃制造，横截面为矩形。有刻线的面称为刻线面，其相对面为非刻线面，其余4个面为侧面，光学玻璃的材料线膨胀系数一般为α10×10-6℃-1，石英玻璃的材料线膨胀系数一般为α1.0×10-6℃-1，在刻线面上刻有间隔为1mm的刻线。玻璃尺可以胶合有用同样材料制成、并且有相同尺寸和技术要求的保护玻璃。标准玻璃线纹尺
No:××××××200
图1玻璃尺
刻线面
保护玻璃
I一“白塞尔”支点标记之间的距离；A一尺的厚度；B一尺的宽度；H一保护玻璃的厚度3.1.2高等别金属线纹尺
高等别金属线纹尺包括一、二等标准金属线纹尺和其他非标准金属线纹尺。JJG 73--2005
二等标准金属线纹尺（见图2，以下简称金属尺）一般采用含Ni58%的镍钢或低膨胀系数钢制造，其横截面一般为H型。金属尺有刻线的面称为刻线面，又称为中性面，底面称为基面。在刻线面上刻有间隔为1mm的一排刻线。对于一、二等标准金属线纹尺，其零刻线前及末端刻线后2mm处，分别刻有11条辅助刻线，它们之间的间隔为0.1mm。
图2金属尺
L一尺坏全长；H-尺高；B一尺宽；A-中性面；1一“白塞尔”支点标记之间的距离3.2用途
主要用于检定万能工具显微镜、投影仪、线纹比较仪等精密计量仪器和精密机床，高等别线纹尺还可用于检定较低等别的线纹尺。计量性能要求
一、二等标准线纹尺的外形尺寸4.1
、二等标准线纹尺的外形尺寸如表1。表1一、二等标准线纹尺的外形尺寸型号
金属尺
玻璃尺
横截面形状
尺寸/mm
厚度（或尺高）
注：非标准高等别的线纹尺尽可能参照表1中的外形尺寸制造。2
标称长度/mm
到1000
小于1000
到250
到500
4.2材料线膨胀系数
JJG73—2005
在（+15～+30)℃的温度区间材料线膨胀系数的偏差范围要求如下：玻璃尺为Aα=±0.5×10-6℃-
金属尺为Aα=±0.3×10-6℃-1
材料线膨胀系数一般由生产厂提供。4.3表面粗糙度
表面粗糙度见表2。
表2表面粗糙度
刻线面的表面粗糙度
(μm）
玻璃尺
金属尺
R.0.01或≤R,0.05
NR.0.01或R.0.05
4.4刻线面的平面度
刻线面的平面度见表3。
非刻线面的表面粗糙度
(μm）
R.0.01或R.0.05
≤R0.32或≤R1.6
表3刻线面的平面度
二等及其他
玻璃尺刻线面和非刻线面
4.5刻线面与非刻线面（或基面）的平行度刻线面与非刻线面（或基面）的平行度见表4。表4刻线面与非刻线面（或基面）的平行度项目
二等及其他
4.6刻线宽度和长度
玻璃尺刻线面与非刻线面
的平行度（μum）
侧表面的表面粗糙度
》R,2或R,10
金属尺刻线面
(μm）
金属尺刻线面与基面的
平行度（μum）
玻璃尺的线宽为（4～8）um，线宽之差不大于1.0um，刻线长度为（0.3～0.6）mm。规格相同的部分其刻线长度之差不大于0.05mm；金属尺的线宽为（6~10）μm，线宽之差不大于1.0um，刻线长度不小于1.0mm。4.7纵轴线
玻璃尺的纵轴线为短线时，在首、尾刻线长度的中间位置外侧2mm处各刻一段纵3
JJG73—2005
轴线，其线长为lmm，线宽为（4~8）um，线宽之差小于0.5um；当纵轴线为长线时，需位于刻线中间，其长度不小于标称长度。金属尺的纵轴线为沿尺长方向的两条相互平行、彼此相距0.2mm或0.3mm的刻线，其长度不小于标称长度，线宽为（6~10）um，线宽之差不大于1μm。4.8纵轴线与刻线的垂直度
纵轴线与刻线的垂直度不得超过3'。4.9准确度等别
线纹尺上任意两刻线间沿纵轴线方向的距离，称为任意刻线间的间隔。线纹尺的等别以及刻线间间隔检定值的不确定度要求如下：一等玻璃尺
二等玻璃尺
一等金属尺
二等金属尺
Ugs=(0.07+0.4L)μm或Ugg=(0.1+0.5L）μmUgs=（0.14+1.0L）μm或Ugg=(0.2+1.5L）μmUgs=（0.07+0.3L）μm或Ugg=（0.1+0.4L）μmUgs=（0.14+0.6L）μm或Ugg=（0.2+0.8L）μm式中：L——被测长度，m。
其他等别的线纹尺暂不做规定，可以根据实际情况给出测量结果及其测量不确定度，其测量不确定度最大允许值为Ugs=（1.4+1.4L）μm或U=（2+2L）um。4.10稳定性
线纹尺年变化量不允许超过相应准确度等别线纹尺的测量不确定度要求。5通用技术要求
5.1外观
5.1.1刻线面
新制造的玻璃尺在抛光面的刻线区不应有霉点、麻点、擦伤、气泡、划痕等缺陷；玻璃尺和保护玻璃之间的胶合层不能脱胶。新制造的金属尺，其刻线面不应有碰伤、锈斑和划痕。使用中的线纹尺不允许有影响检定和使用的上述缺陷。5.1.2非刻线面和侧面
玻璃尺的非刻线面不能有影响透光、对准等不利于测量的缺陷。线纹尺应刻有尺号、材料代号、规格或标称长度、制造厂厂标或厂名、零端或末端的标志及白塞尔支点标记。
注：“白塞尔”支点的标记按（1）式计算：I=0.55938L
（“白塞尔”支点距端面的距离为I'=0.22031L）式中：L—尺坏的长度。
5.2刻线质量
刻线边缘必须清晰笔直，不得有毛刺，刻线不能有断线，相互之间要平行。玻璃尺刻线黑度要求均勾一致。5.3其他
JJG73—2005
零刻线和末端刻线分别距线纹尺端边为15mm。刻线区尽可能位于尺坏的中间。计量器具控制
计量器具控制包括：首次检定、后续检定和使用中检验。6.1检定条件
检定条件见表5。
表 5检定条件
保温罩内
温度对20℃
的最大
允许偏差
玻璃尺
-次测量
中的只温
一次测量中
保温罩内空
气温度变化
金属尺全
长的温度
一致性
金属尺
一次测量
中的尺温
一次测量中
保温罩内空
气温度变化
测量前，线纹尺必须在恒温室内放置24h以上，玻璃尺长度大于300mm时其温度一致性参考金属尺的要求。
6.2检定项目和主要检定工具
高等别线纹尺的检定项目和主要检定工具如表6所示。表6高等别线纹尺的检定项目和主要检定工具序号
检定项目
外形尺寸
材料线膨胀系数
表面粗糙度
刻线面的平面度
刻线面与非刻线面
（或基面）的平行度
刻线质量
刻线宽度及长度
主要检定工具
6倍放大镜
游标卡尺、钢卷尺或钢直尺
箱式纵动或横动比较仪
粗糙度比较样板、轮廓仪或
干涉显微镜
平面干涉仪或一级玻璃平尺
立式测长仪、0级平板、千分尺、千分表
在80~100倍的显微镜下观察
读数值小于1jm的测微显微镜、
万能工具显微镜、坐标机
首次检定
检定类别
后续检定
使用中检验
检定项目
纵轴线
纵轴线与刻线的
垂直度
全长的年变化量
JJG73—2005
表6（续）
主要检定工具
激光于涉比长仪
万能工具显微镜
激光干涉比长仪
激光干涉比长仪
注：表中“+”表示应检定，“_”表示可不检定。6.3检定方法
6.3.1外观
6.3.1.1刻线面
用放大镜观察。
6.3.1.2非刻线面和侧面
目力观测。
6.3.2外形尺寸
首次检定
检定类别
后续检定
使用中检验
用游标卡尺测量标准线纹尺坏的宽度和高度，用钢直尺或钢卷尺测量尺坏的长度。6.3.3材料线膨胀系数
材料线膨胀系数用箱式纵动或横动比较仪测量，测量不确定度应符合以下要求：高等别玻璃线纹尺
一等金属线纹尺
二等金属线纹尺
6.3.4表面粗糙度
Ugs≤0.07×10-6℃-或Ug≤0.1×10-6℃-1Ugs ≤0.02 × 10-6 ℃ 或 Ug ≤0.03 × 10-6 ℃ -1Ug≤0.04×10-6℃-或Ugg≤0.05×10-6℃-1玻璃尺的刻线面用干涉显微镜测量，非刻线面用轮廓仪测量。金属尺的刻线面用预制的样块在于涉显微镜或轮廓仪上测量，非刻线面用粗糙度样板以目测比较。
6.3.5刻线面的平面度
用一级长平晶与玻璃尺被检表面接触，待干涉条纹稳定后，通过观察其干涉条纹测量，也可用平面于涉仪测量。
6.3.6刻线面与非刻线面（或基面）的平行度用立式测长仪或千分尺测量玻璃尺的两端厚度，计算其差值。用0级平板和千分表测量金属尺刻线面与基面的高度，计算其差值。6.3.7刻线质量
在80~100倍的显微镜下观察。
6.3.8刻线宽度和长度
JJG73—2005
用读数值小于1um的测微显微镜在尺长的首、中、尾三处测量刻线宽度。用万能工具显微镜或坐标机测量刻线的长度。6.3.9纵轴线
玻璃尺纵轴线用方能工具显微镜或激光干涉比长仪测量。金属尺的纵轴线在激光干涉比长仪上测量。6.3.10纵轴线与刻线的垂直度
玻璃尺用万能工具显微镜在零刻线和末端刻线上测量。金属尺用万能工具显微镜在首、中、尾三处测量。6.3.11在激光干涉比长仪上检定线纹尺的刻线间隔6.3.11.1安装及调整
线纹尺按“白塞尔”支点支撑于工作台的支架上，其刻线面应与可动立体棱镜的棱尖等高；玻璃尺面上的压紧力要轻，并且一致。在线纹尺的侧面贴上测温传感器，所贴传感器的只数应根据线纹尺的长短而定。调整线纹尺支撑架和显微镜升降机构，使线纹尺两端刻线在显微镜视场内清晰可见，并使线纹尺的纵轴线与工作台的运动方向平行。调整光电显微镜的狭缝宽度，使之与线纹尺刻线象的宽度相适应。线纹尺调整好后，要使温度稳定到符合表5的要求，方可开始测量。6.3.11.2线纹尺的温度测量
测量线纹尺的温度t。，计算出温度对长度的修正值：Al,=α（20-t）L
6.3.11.3空气折射率的测量
应用折射率干涉仪或Edlen公式法测量空气折射率。依照各种折射率干涉仪操作规程可直接进行测量。(2)
使用Edlen公式法时，测量状态在标准状态（t=20℃，p=101325Pa，f=1333Pa）附近时，其测量长度的修正量为公式（3），测量检定环境下的空气温度t，气压P、湿度f，求出与标准状态时折射率的差值：△l,=[93.00(t-20)-0.2684(p-101325)+0.0363(f-1333))×10-8L(3)当测量状态与标准状态相差很大时，应按附录A中的公式A4~A7计算。6.3.11.4检定环境下脉冲当量值Q，的计算a）按公式（2）与（3）算出脉冲当量的改变量△Q(l, +Al,)
式中：Q。为标准条件下的脉冲当量，其值按下式计算：入
Qo=2Nn
式中：N——电子细分数；
n——标准条件下的空气折射率；入，一激光的真空波长。
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