基本信息
标准号:
SJ 20984-2008
中文名称:化学气相淀积(CVD)设备通用规范
标准类别:电子行业标准(SJ)
标准状态:现行
出版语种:简体中文
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相关标签:
化学
设备
通用
规范
标准分类号
标准ICS号:电子学>>31.240电子设备用机械构件
中标分类号:电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L95电子工业生产设备综合
关联标准
相关单位信息
标准简介
SJ 20984-2008 化学气相淀积(CVD)设备通用规范 SJ20984-2008