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基本信息

标准号: SJ 20984-2008

中文名称:化学气相淀积(CVD)设备通用规范

标准类别:电子行业标准(SJ)

标准状态:现行

出版语种:简体中文

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相关标签: 化学 设备 通用 规范

标准分类号

标准ICS号:电子学>>31.240电子设备用机械构件

中标分类号:电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L95电子工业生产设备综合

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出版信息

页数:13

标准价格:30.0 元

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标准简介

SJ 20984-2008 化学气相淀积(CVD)设备通用规范 SJ20984-2008