基本信息

标准号： SJ 20984-2008

中文名称：化学气相淀积(CVD)设备通用规范

标准类别：电子行业标准(SJ)

标准状态：现行

出版语种：简体中文

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标准分类号

标准ICS号：电子学>>31.240电子设备用机械构件

中标分类号：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L95电子工业生产设备综合

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出版信息

页数：13

标准价格：30.0 元

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