中华人民共和国机械行业标准 真空阀门 1 主题内容与适用范围 本标准规定了真空阀门的技术要求、测试方法、检验规则及标志、包装、贮存等。本标准适用于JB/T4077～4080、JB/T4083和JB/T5410规定的1×10-5～1×10-2 Pa真空系统中的各种高、低真空阀门（以下简称阀门）。 2 引用标准 GB6307.1 GB6070 GB/T13306 JB622 JB1090 JB1091 JB1092 JB/T4077 JB/T4078 JB/T4079 JB/T4080 JB/T4083 JB/T5410 3 技术要求 3.1 阀门工作温度为5～40℃。 3.2 阀门应避免在腐蚀性气体和颗粒灰尘环境中工作。 3.3 气动阀门应配有换向阀、分水器、定压阀及油雾器等附件。 3.4 电磁阀线圈的耐潮指标应符合JB622中第9章的规定。 3.5 阀门静密封材质及尺寸应符合GB6070的有关规定；动密封材质及尺寸应符合JB1090、JB1092的规定。 3.6 高真空电磁阀的电磁铁的耐压指标应符合JB622中第8章的规定。 3.7 阀门的连接法兰型式等应符合GB6070的有关规定。 3.8 对阀门有特殊要求时，用户与制造单位共同商定。 3.9 在用户遵守保管、使用、安装等规定的条件下，阀门产品从制造厂发货日期起一年内，产品因制造质量不良而不能正常工作时，由制造厂免费为用户维修或更换。 4 测试方法 4.1 测试项目与条件 4.1.1 测试项目： a. 漏率； b. 流导； c. 寿命； d. 气动阀门的开、闭时间。 4.1.2 测试条件： a. 测试过程需启动扩散泵时，应按GB6307.1规定的测试条件进行测试。 b. 环境温度应在15～25℃范围内。测试过程在允许温度内的某一温度下进行，并可在±1°C内变化。 4.2 漏率测试方法 4.2.1 氨质谱测漏法 4.2.1.1 测试装置 测试装置由氨质谱检漏仪和检漏台及其真空系统组成。 4.2.1.2 测试步骤 4.2.1.2.1 检漏仪灵敏度（最小可检漏率）测试：在被测阀门漏率测试之前，首先按图示装置，在检漏台接口处接通标准漏孔，测得氢质谱检漏仪的灵敏度。 4.2.1.2.2 阀门总体漏率测试： a. 将被测阀门的阀口与检漏台接口相对接，阀门的另一法兰口用盲板或钟罩封隔； b. 开启被测阀门的阀板，启动真空系统。待被测阀门体内压力降到5×10-1Pa时，接通检漏仪继续抽空。 c. 用塑料薄膜等密质材料制成的钟罩将被测阀门严密扣封，并向罩内充氢气。记录检漏仪输出稳定的氢讯号值。 d. 被测阀门总体漏率Q按公式计算：Q=(U-U₀)q，其中Q为漏率（Pa·L/s），U为检漏仪输出氢讯号值，U₀为初始信号值，q为检漏仪灵敏度。 4.2.1.2.3 阀门正向漏率测试： a. 按4.2.1.2.2a条进行，但阀门另一法兰口与大气相通； b. 关闭被测阀门的阀板，启动真空系统，按4.2.1.2.2b条对阀板以下空间进行测试。记录检漏仪输出讯号值。 c. 按4.2.1.2.2c条进行，记录检漏仪输出稳定的氢讯号值，或用氢气喷吹法将喷枪口伸入被测阀门体内，向阀板表面及密封口周围喷氢气。 5 结论 根据以上测试结果，阀门应符合标准的技术要求，并在测试合格后投入使用。