本文件规定了洁净室及相关受控环境空气化学污染物控制技术要求，包括污染源、空气化学污染控制、检测与监测等内容。 本文件适用于洁净室及相关受控环境中的空气化学污染控制。

ICS13.040.35
CCS C 70
中华人民共和国国家标准
GB/T36306—2024
代替GB/T36306—2018
洁净室及相关受控环境
空气化学污染控制技术要求
Cleanroom and associatedcontrolled environments-Technical requirements of air chemical contamination control2024-03-15发布
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会
2024-10-01实施
规范性引用文件
术语和定义
污染源
5空气化学污染控制
检测与监测
附录A（资料性）洁净室建设材料选用附录B（资料性）
附录C（资料性）
附录D（资料性）
参考文献
电子工业洁净室空气化学污染控制系统微电子工业洁净室空气化学污染物控制数据表洁净室施工阶段化学物浓度控制措施·.GB/T36306—2024
本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则定起草。
GB/T36306—2024
第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规本文件代替GB/T36306—2018《洁净室及相关受控环境空气化学污染控制指南》，与
GB/T36306一2018相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：更改了标准适用范围（见第1章，2018年版的第1章）；a)
删除了空气分子污染、环境反应监测法、污染物、气相空气净化装置等术语（见2018年版的b）
3.1、3.2、3.3、3.4)；
增加了按化学物浓度划分空气洁净度、释出气体等术语（见3.1、3.3)；d)
更改了空气化学污染物的定义（见3.2，2018年版的3.5）；e)
更改及增加了污染源来源（见4.1、4.2，2018年版的4.1），删除了分级与分类（见2018年版的4.2)；
增加了一般要求、设计、施工及运行维护等空气化学污染控制内容（见5.1、5.2、5.3、5.4)，删除f)
了确定是否污染及情况、控制措施的内容（见2018年版的6.1、6.2)；更改标题“检测”为“检测与监测”（见第6章，2018年版的第5章），更改了检测的内容（见g）
6.1，2018年版的5.1、5.2），增加了监测的内容（见6.2）。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会（SAC/TC319）提出并归口。本文件起草单位：中国电子工程设计院股份有限公司、中国电子系统工程第三建设有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、中国科学院大气物理研究所、苏州安泰空气技术有限公司、深圳市亿天净化技术有限公司、天津大学、苏州华泰空气过滤器有限公司、中国标准化协会、滨州裕能电子材料股份有限公司、北京戴纳实验科技有限公司、烟台宝源净化有限公司、江汉大学、上海市室内环境净化行业协会、中电精泰电子工程有限公司、丽兹控股有限公司、无锡莱姆顿科技有限公司、仲恺农业工程学院、黄冈鲁班药业股份有限公司、上海禾益净化设备制造有限公司、佛山市南海东方澳龙制药有限公司、深圳市中建南方环境股份有限公司。本文件主要起草人：间冬、刘俊杰、王奇勋、孙扬、李卫、夏群艳、陈思源、霍金鹏、郝胤博、胡茂从、吴志坚、耿文韬、王芳、奚晓鹏、丁力行、杨云涛、杨子强、陈锡福、王艳、严斌、裴晶晶、周淑贞、徐宝平、徐宜彬、张长安、杨立、杨小龙、白冰本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为：-2018年首次发布为GB/T36306—2018；——本次为第一次修订。
GB/T36306—2024
本文件的空气化学污染控制技术主要针对有空气化学污染控制要求的洁净室及相关受控环境。空气化学污染物的分子尺寸范围为0.1nm～3nm，通常状态下是以气体或蒸气形态存在，常规高效过滤器和超高效过滤器无法有效去除，使用粒子计数器也检测不到。空气化学污染物种类较多，不同污染物具有不同的化学性质，某些污染物的浓度可随环境的温度、湿度变化而改变，且污染物来源具有很大的随机性。随着净化技术和材料的发展，空气化学污染物可以被有效控制和去除，能够保障洁净室及相关受控环境内空气化学污染物满足环境限定要求。I
1范围
洁净室及相关受控环境
空气化学污染控制技术要求
GB/T36306—2024
本文件规定了洁净室及相关受控环境空气化学污染物控制技术要求，包括污染源、空气化学污染控制、检测与监测等内容。
本文件适用于洁净室及相关受控环境中的空气化学污染控制。2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。
第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度（ACC）GB/T25915.8—2021
洁净室及相关受控环境
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。3.1
按化学物浓度划分空气洁净度
Eaircleanlinessbychemicalconcentration;Acc以ISO-ACC表示的代表给定的某种或某组化学物种类、以克每立方米为单位的最大允许浓度。注：生物大分子归为粒子，不包含在本定义内。L来源：GB/T25915.82021.3.1.23.2
空气化学污染物
airchemicalcontaminant
以气态或蒸气形态存在，其化学特性可对洁净室及相关受控环境的产品、工艺、设备有不良影响的物质。
outgassing
释出气体
从设备和材料中释放出的气态或蒸气态化学物质。来源：GBT25915.8—20213.1.7，有修改污染源
4.1室外污染源
存在于室外大气中可能对洁净室内产品、工艺、设备产生危害的化学物质，主要有硫氧化物、氮氧化物、臭氧、氨、挥发性有机化合物等。1
GB/T36306—2024
室内污染源
产生于洁净室内对产品、工艺、设备产生危害的化学物质，主要有氢氟酸、盐酸、硫酸、硝酸、硫氧化物、氨、胺、可凝结有机物、硼、磷、臭氧等。主要来源：作业人员的汗水、防护用品、化妆品等散发：生产中使用的光刻胶、显影剂、清洗剂、研磨液、去光阻剂等化学品散逸；设备、机台维修、建设材料等释出5空气化学污染控制
一般要求
洁净室空气化学污染控制系统应符合工艺生产的要求，空气化学污染物分类及按化学物浓度划分空气洁净度等级应符合GB/T25915.8的规定。5.2设计
5.2.1选址
洁净室的选址应符合下列要求：选择自然大气中化学物浓度较低、自然环境较好的区域；一一远离散发化学物的交通枢纽、工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染的区域。5.2.2工艺设备布局
工艺设备布局应符合下列要求：——散发同类化学污染物的工艺设备布置在同一区域；一产生并散逸化学污染物的工艺设备采取密闭措施，并设置局部排风设施。5.2.3化学污染物的产生区域
产生空气化学污染物的区域宜独立分隔，且与周围洁净空间的静压差（负压）不应小于5Pa。5.2.4建设材料
洁净室建设材料应符合下列要求：使用不散发污染物或散发污染物符合控制要求的材料；当采用新材料时，先进行化学污染物释出气体检测，检测合格的材料才允许使用。洁净室建设材料的选用见附录A。5.2.5空气净化设备
空气净化设备的使用符合下列要求洁净室新风处理机组（MAU）、室内空气循环处理设备应根据空气化学污染物控制要求设置化学污染物去除设施。
新风处理机组、风机过滤单元(FFU)的化学过滤器使用寿命宜≥1年。新风处理机组采用褶式化学过滤器时，每1000m/h风量的滤布面积应≥3m；风机过滤单元采用密褶式化学过滤器时，每1000m/h风量的滤布面积应≥4m。电子工业洁净室空气化学污染控制系统见附录B。2
5.2.6空气化学污染物的控制数据GB/T36306—2024
空气化学污染物的控制数据应根据洁净室及相关受控环境的控制要求确定。微电子工业洁净室空气化学污染物控制数据表见附录C。5.3施工
施工阶段的空气化学污染物控制应符合下列要求：根据洁净室建设进度分阶段进行管控；制定并执行建筑材料送样检测制度；设置人员、物料进人洁净室的管制口；对现有生产产生影响的施工区域进行空气化学污染物监测。室内采取通风换气措施。洁净室施工阶段化学物浓度控制措施见附录D。5.4运行维护
洁净室的运行维护符合下列要求：应建立空气化学污染物控制的运行维护程序和制度；应规定空气化学污染物监测警戒限度和纠偏限度；关键区域宜设置在线监测，其他区域宜根据生产需要定期对空气化学污染物进行检测，详见第6章；
一严重影响设施运行的特殊维修后或更换化学过滤器后，应对环境中的空气化学污染物重新检测；
更换化学过滤器时，应根据污染物性质采取适宜的防护措施，更换下来的化学过滤器应进行无害化处理。www.bzxz.net
6检测与监测
6.1检测
6.1.1洁净室投入运行前应进行全区域空气化学污染物检测。6.1.2采样方法和分析方法应依据GB/T25915.8—2021附录C的规定执行，检测完成后应提供检测报告。
6.1.3常用检测技术宜包括：
一离子色谱法（IC)；
电感耦合等离子体-质谱法（ICP-MS)；热脱附气相色谱/质谱联用法（TD-GC-MS)；气相色谱-火焰离子化检测法（GC-FID)；气相色谱-光离子化检测法（GC-PID)；化学发光法(CL)；
紫外荧光法（UVF）；
紫外光吸收法（UVA)。
6.2监测
6.2.1应对洁净室内可能产生空气化学污染的因素进行监测，宜设置空气化学污染物监测的区域包括：一生产中使用特气、化学品的工艺设备附近；一对空气化学污染敏感的生产工序区域；3
GB/T36306—2024
新风处理机组进、出风口；
一风机过滤单元进、出风口；
对现有生产产生影响的施工区域等。6.2.2监测方式可分为固定式和移动式。6.2.3常用监测技术宜包括：
监测总无机酸，根据组分种类采用光腔衰荡光谱法（CRDS）、离子迁移谱法（IMS）、紫外荧光法等；
监测总有机和无机碱，根据组分种类采用质子转移反应质谱法（PTR-MS）、离子迁移谱法、光腔衰荡光谱法或化学发光法等；监测总有机物nC-Cao、总有机酸，根据组分种类采用质子转移反应质谱法、在线气相色谱-火焰离子化检测法（onlineGC-FID）、在线气相色谱-光离子化检测法（onlineGC-PID)或在线气相色谱-质谱法（onlineGC-MS)等；监测活性硫化物（H,S等）采用质子转移反应质谱法、离子迁移谱法或紫外荧光法等；监测氮氧化合物采用化学发光法；监测臭氧等氧化物采用紫外光吸收法监测分析仪器的校准应符合下列要求：6.2.4
固定式监测分析仪配置零气管导人零气进行零点漂移校准，根据需要配置跨度气体管导入跨度气体进行跨度标定；
移动式监测分析仪配置零气发生装置：根据不同仪器的特点定期进行校准。A.1洁净室建设材料
释放化学物的洁净室建设材料
附录A
（资料性）
洁净室建设材料选用
洁净室需要控制化学物释放的产品和建设材料，包括但不限于以下内容：金属壁板表面的油漆或涂料；
高架地板；
风机过滤单元；
新风处理机组；
柱子、墙面、地面和顶面上的环氧涂层；钢屋架表面的防火涂料和面涂料；华夫筒地面上的防腐蚀环氧涂层；华夫筒下表面的涂层；
华夫筒；
各类封堵材料和密封胶；
防火封堵材料；
超高效/高效空气过滤器；
管道螺纹处的涂料；
管道支吊架表面的油漆或涂料；管道和风管的密封垫；
风管密封胶；
—电缆；
保温材料；
配电及控制设备内外表面的油漆或涂料；一气柜内外表面的油漆或涂料；洁净服、口罩和手套。
2洁净室建设材料化学物释出气体参数A.1.2
GB/T36306—2024
建设材料化学物释出气体检测采用VDI2083-17—2013、ASTME595—2015或其他供需双方商定的标准中规定的方法，由具有资质的实验室进行检测。具体参数见表A.1。5
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