ICS 23.160 J78 备案号：34896—2012 中华人民共和国机械行业标准 JB/T 7673-2011 代替 JB/T 7673—1995 真空技术 真空设备型号编制方法 Vacuum technology — Methods for compiling vacuum equipment models 2011-12-20 发布 2012-04-01 实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 前言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准代替JB/T7673—1995《真空设备型号编制方法》。与1995版相比，主要技术变化如下：增加前言与目次；增加规范性引用文件和术语与定义章节；统一各表格标题；新增部分真空泵及阀门、镀膜机相关型号代号；增加阀门辅助结构型式表；修改镀膜室尺寸表示方法；重新编制溅射镀膜原理型号；删除部分旧型号类别；调整型号示例章节结构等。 本标准由中国机械工业联合会提出，由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准负责起草单位：北京北仪创新真空技术有限责任公司。 本标准参加起草单位：浙江真空设备集团有限公司、中国航天科技集团第五研究院510研究所等。 本标准主要起草人：杨静、陈月增、范立群、王西龙等。 本标准历次版本包括ZBJ78016—1989、JB/T7673—1995。 1 范围 本标准规定了真空泵、真空机组、真空阀门和真空镀膜机型号的编制方法，适用于上述真空设备的型号统一编制。 2 规范性引用文件 GB/T3163—2007 真空技术术语 3 术语和定义 GB/T3163界定的术语和定义适用于本文件。 4 真空设备型号组成 4.1 通则 真空设备型号由基本型号和辅助型号两部分组成，两者之间用横线分隔。 4.2 真空泵 真空泵型号组成规则如下： （1）级（极）数：用阿拉伯数字表示，不分级或单级可省略； （2）名称代号：用汉语拼音首字母表示； （3）特征代号：表示结构或性能特征，可选用规定字母或自定义补充代号； （4）使用特点：可凝性气体用“N”，腐蚀性气体用“F”，其他可省略； （5）规格或主参数：用阿拉伯数字表示； （6）设计序号：用A、B、C等表示改型顺序。 4.3 真空泵机组 规定真空泵机组型号组成方式。 4.4 真空阀门 规定真空阀门型号组成及分类规则。 4.5 真空镀膜机 规定真空镀膜机型号组成及结构分类规则。 5 真空设备型号示例 5.1 真空泵示例 5.2 机组示例 5.3 阀门示例 5.4 镀膜机示例 6 参考文献 （各类表格用于规定型号代号与分类） 表1 真空泵名称 表2 真空泵特征 表3 阀门使用真空范围 表4 阀门结构型式 表5 阀门驱动方式 表6 阀门通道型式 表7 阀门辅助结构型式 表8 镀膜原理分类 表9 镀膜机结构特征 表10 镀膜机用途特征