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基本信息

标准号: SJ 20636-1997

SJ 20636-1997IC用大直径薄硅片的氧、碳含量微区试验方法

标准类别:电子行业标准(SJ)

发布日期:1997-06-17

实施日期:1997-10-01

出版语种:简体中文

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相关标签: 试验 硅片 直径

标准分类号

中标分类号:>>>>L5971

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出版信息

页数:10页

标准价格:15.0 元

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标准简介

SJ 20636-1997 IC用大直径薄硅片的氧、碳含量微区试验方法 SJ20636-1997