JB/T 7266-1994
基本信息
标准号： JB/T 7266-1994
中文名称：容积真空泵 性能测量方法
标准类别：机械行业标准(JB)
英文名称： Volumetric vacuum pump performance measurement method
标准状态：已作废
发布日期：1994-07-18
实施日期：1995-07-01
出版语种：简体中文
下载格式：.rar.pdf
下载大小：KB
标准分类号
中标分类号：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备
出版信息
页数：9 页
标准价格：15.0 元
相关单位信息
归口单位：沈阳真空研究所
发布部门：沈阳真空研究所
标准简介
本标准规定了容积真空泵抽气速率、极限压力、消耗功率和工作温度的测量方法。 本标准适用于极限压力低于100Pa，并能直接向大气空间排气的容积真空泵的性能测量。 JB/T 7266-1994 容积真空泵 性能测量方法 JB/T7266-1994 标准下载解压密码：www.bzxz.net
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标准内容
中华人民共和国机械行业标准
JB/T7266-94
容积真空泵性能测量方法
1994-07-18发布
中华人民共和国机械工业部
1995-07-01实施
中华人民共和国机械行业标准
容积真空泵性能测量方法
JB/T7266-94
本标准等效采用国际标准IS01607/1一1980容积真空泵性能测量方法-一第一部分：体积流率（抽速）的测量》和ISO1607/I一1980《容积真空泵性能测量方法一第二部分：极限压力的测量》，主题内容与适用范围
本标准规定了容积真空泵抽气速率、极限压力、消耗功率和工作温度的测量方法。本标准适用于极限压力低于100pa，并能直接向大气空间排气的容积真空泵（以下简称泵）的性能测量。
2术语
2.1抽气速率（体积流率）
在理想状态下，单位时间内流经泵口的气体体积。实际应用中，抽气速率（s）定义为：泵按规定条件运转，从试验罩流过的气体流量（q）与规定位置上的平衡压力（》的比值，简称抽速，即：S=%L/s
2.2极限压力
泵按规定条件运转，在不引入气体的试验罩内趋向稳定的最低压力，Pa，2.3试验罩
指装在泵口上的具有规定形状和容积的容器。经过计量的试验气体通过它充入泵内，其上装有微调阀和真空计。
2.4消耗功率
泵按规定条件运转，泵温平衡后，对应于泵入口压力所需要的功率。2.5工作温度
系按规定条件运转并在极限压力下，在排气阀附近测得的平衡温度，℃3测量装置
3.1试验罩
罩为圆筒形（见图1a）.其内径为D，高为1.5D,试验气体入口位于罩的轴线上并背向豪口，与法兰平面距离为D.真空计（或规管）连接管距法兰平面为0.5D，并垂直于罩轴线。罩的容积(V)至少应是泵的一个压缩周期扫过容积(V,)的五倍。罩与泵口之间需要连接一个长度不超过0.5D的异径管接头（见图1b），不同规格的泵适用的试验罩由表1给出。3.2真空计
根据所测压力，选用不同种类和精度的真空计，其校准精度为：压力高于或等于1Pa，在土5%以内；压力低于1Pa，在士10%以内机械工业部1994-07-18批准
1995-07-01实施
3.3流量计
>0.26~1.1
>17~65
>65~260
JB/T7266-94
接辅助气阀
泵口直径
根据所测流量，选用不同种类和规格的流量计。其测量精度为：流量大于1W，在±3%以内；
流量介于1～10-*W之间，在±5%以内；流量小于10-*W，在±10%以内。3.4功率表和电流互感器
功率表和电流互感器应具有一级精度，并具有计量部门签发的有效证书。3.5温度计
测量工作温度的温度计误差不大于士1℃。4
测量条件
测量时应符合以下条件：
JB/T7266-94
泵实际转速与额定值之差不大于土3%泵液种类和数量应符合设计要求；水冷泵的冷却水流量和温度应符合设计要求；环境温度在15～25℃之间，测量期间波动不大于士1℃；测量气体为室内空气，相对湿度不大于75%；f
测气镇泵时，其掺气量应符合设计要求。5测量方法
5.1抽气速率测量
5.1.1原理
采用“定压法”测泵的抽气速率。即在测量流量过程中，罩内压力保持不变。5.1.2步骤
抽气速率测量装置如图2所示。
图2测量装置
为了测量抽气速率，试验罩、真空计和流量计应装配到泵上。关闭微调阀，开泵运转，带气镇的泵充分气镇，关气镇阀，以1h压力不进一步下降，泵达到了平衡温度，开启微调阀，把测量气体放入罩内，以建立一个设定的平衡压力，同时测定气体流量。并按式（1)计算该压力下的抽气速率。
测量应从略高于极限压力的适当值开始，直至大气压或适合泵结构特点的其他压力。每个压力数量级内至少测三点，它们大致是2.5、5和10。若测一次流量时间较长，取60s为一周期，压力应重复测量，并取其平均值。如果最高与最低之差大于平均值10%，流量和压力都应重新测定。对于气镇泵，应在上述测量之后完全打开气镇阀，待泵温再一次平衡后，重新测量气镇时的抽气速率。
5.2极限压力测量
5.2.1原理
将规定的试验罩装在泵口上，在平衡温度下测罩内极限压力。5.2.2步骤
极限压力测量装置如图2所示。
JB/T7266-94
关闭微调阀，开泵运转，在气镇情况下运转至少1h，然后再在关气镇下运转1h。在间隔30min进行压力测量，当连续三次测量结果表明压力不再变化，即算达到极限压力。分别记取压缩式真空计和全压真空计读数，保留两位有效数字。对于气镇泵，应在上述测量后，完全打开气镇阀，待泵温再一次平衡后，重新测量气镇时的极限压力。
5.3消耗功率测量
5.3.1方法
在各种不同入口压力下，用功率表测泵驱动电动机的输入功率，然后乘以其不同负荷下的效率，即为泵的消耗功率。
5.3.2步骤
关闭微调阀和辅助进气阀，开泵运转，待泵温平衡后，开启微调阀和辅助进气阀，使罩内压力由低至高，逐点稳定，同时测取功率值。为使测得值具有必要的精度，应避免功率表在面值二分之一以下使用。测量值应具有两位有效数字。对于气镇泵，应在上述测量后，完全打开气镇阀，待泵温再一次平衡后，重新测量气镇时的消耗功率。
5.4工作温度测量
5.4.1测量方法
泵在极限压力下运转1h后，把温度计固定在排气阀附近成其他测温部位上，连续观察30min，若温度变化不超过1℃，温度计指示的最终温度即为泵的工作温度。对于气镇泵，应在上述测量以后，完全打开气镇阀，继续运转1h，再行测量气镇时的工作温度。工作温度最好与极限压力同时测量。6测量报告
将抽气速率、极限压力、消耗功率和工作温度测量结果填写《真空泵性能测量记录表》，并绘制抽气速率-压力曲线图（见图3)及消耗功率-压力曲线图（见图4)。/7
一不带气镇
一带气镇
图3抽气速率-压力曲线
JB/T7266-94
消耗功率-压力曲线
A1真空计
JB/T7266-94
附录A
真空计和压力测量
（补充件）
根据3.2条对真空计精度的规定，应采用下列真空计：压力低于1.3×10°Pa，用标准压缩式真空计；压力介于5.3×10°～5.3×10°Pa之间，用油U形管真空计；压力介于1×1055.3×10°Pa之间，用汞单管或U形管真空计。A2
压缩式真空计
采用标准压缩式真空计必须具有计量部门签发的有效证书。使用的汞必须具有99.999%的纯度，并经过充分过滤、清洗和真空蒸馏，不使用时计内应保持真空。
采用纯度不低于99.9%的氮气来提升计内的汞。真空计与试验罩之间，不得有橡胶管和带真空油脂的玻璃阀门。计应装一只冷阱，测抽气速率时，允许不灌注冷剂。压缩式真空计采用无标定标法”。提升汞的速度不得太快，提升结束，至少稳定1min方可读数。A3油U形管真空计
油U形管真空计（见图A1)应该管径均匀，并具有1mm的分度标。测量用油20℃时，蒸气压低于0.133Pa，运动粘度低于30×10-*m*/s；密度应实际测量。预抽泵的极限压力应低于0.133Pa。使用前，先经过充分去气；测量时，待液柱稳定后方可读数。接预抽泵
图A1油U形管真空计
接试验罩
流量计的选用
JB/T7266-94
附录B
流量计和流量测试
(参考件）
根据2.3条对流量测试精度的规定，推荐按下表选用流量计。表B1
玻璃转子式
滴管式流量计
规格或型号
LZB-10
LZB-15
LZB-25
LZB-40
LZB-50
1.2×10-4~1.33×10-3
1.33×10-3~1.33×10-2
1.2×10-1~1.33×10-1
1.33×10-1~1.6
14.7~45.3bzxz.net
146.7~453
533.3~1600
1600~4530
Pa· L/s
1.2×10-~1.3
12~1.3×102
1.3×10~1.6×10
1.2×10°~1.4×104
1.5×10~4.5×104
4.3×10*~1.6×105
1.5×105~4.5×105
5.3×105~1.6×10*
1.6×10*~4.5×10
滴管式流量计的结构如图B1所示。测量段长度（从刻线1到2)为200mm。测量段容积的测量精度为士1%。连接微调阀的橡胶管要尽量短而细。油槽截面积应大于180cm。测量用油20℃时的运动粘度应低于30×10-m2/s，其密度应实际测量。滴管式流量计所测流量按式(B1)计算：q=Vp[1+133.32(V。-V)hY/VpaJ/t式中：q—所测流量，W；
测量段容积，m\；
pa.—实测大气压，Pa；
V。一一测量前滴管内从油面至微调阀封口之间的总容积，m\；h-油柱由刻线1升到刻线2的距离，mm；Y
一用油实测密度与0℃汞的密度（13.59)之比；油柱从刻线1升到刻线2的时间，规定取t=25～300s。(B1)
玻璃转子流量计
JB/T7266-94
滴管式流量计
玻璃转子流量计应具有1.5级精度，并应在流量60%～100%段使用，其所测流量按式（B2）计算：4 = Qps/3600×()
式中：9-所测流量，w；
Q-—流量计视值，m/h；
pa.t—实测大气压，Pa;
pl—流量计标定时的大气压力，取p=101325Pa；T,流量计标定时的热力学温度，取T，=293K；T..流量时的热力学温度，K。
附加说明；
本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出。本标准由机械工业部沈阳真空技术研究所归口。本标准由机械工业部沈阳真空技术研究所负责起草。本标准起草人张书范。
根据国家技术监督局技监局标发（1992)549号文附件3调整为行业标准的国家标准”，本标准代替GB6306.16306.486.
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JB/T7266-94
容积真空泵性能测量方法
1994-07-18发布
中华人民共和国机械工业部
1995-07-01实施
中华人民共和国机械行业标准
容积真空泵性能测量方法
JB/T7266-94
本标准等效采用国际标准IS01607/1一1980容积真空泵性能测量方法-一第一部分：体积流率（抽速）的测量》和ISO1607/I一1980《容积真空泵性能测量方法一第二部分：极限压力的测量》，主题内容与适用范围
本标准规定了容积真空泵抽气速率、极限压力、消耗功率和工作温度的测量方法。本标准适用于极限压力低于100pa，并能直接向大气空间排气的容积真空泵（以下简称泵）的性能测量。
2术语
2.1抽气速率（体积流率）
在理想状态下，单位时间内流经泵口的气体体积。实际应用中，抽气速率（s）定义为：泵按规定条件运转，从试验罩流过的气体流量（q）与规定位置上的平衡压力（》的比值，简称抽速，即：S=%L/s
2.2极限压力
泵按规定条件运转，在不引入气体的试验罩内趋向稳定的最低压力，Pa，2.3试验罩
指装在泵口上的具有规定形状和容积的容器。经过计量的试验气体通过它充入泵内，其上装有微调阀和真空计。
2.4消耗功率
泵按规定条件运转，泵温平衡后，对应于泵入口压力所需要的功率。2.5工作温度
系按规定条件运转并在极限压力下，在排气阀附近测得的平衡温度，℃3测量装置
3.1试验罩
罩为圆筒形（见图1a）.其内径为D，高为1.5D,试验气体入口位于罩的轴线上并背向豪口，与法兰平面距离为D.真空计（或规管）连接管距法兰平面为0.5D，并垂直于罩轴线。罩的容积(V)至少应是泵的一个压缩周期扫过容积(V,)的五倍。罩与泵口之间需要连接一个长度不超过0.5D的异径管接头（见图1b），不同规格的泵适用的试验罩由表1给出。3.2真空计
根据所测压力，选用不同种类和精度的真空计，其校准精度为：压力高于或等于1Pa，在土5%以内；压力低于1Pa，在士10%以内机械工业部1994-07-18批准
1995-07-01实施
3.3流量计
>0.26~1.1
>17~65
>65~260
JB/T7266-94
接辅助气阀
泵口直径
根据所测流量，选用不同种类和规格的流量计。其测量精度为：流量大于1W，在±3%以内；
流量介于1～10-*W之间，在±5%以内；流量小于10-*W，在±10%以内。3.4功率表和电流互感器
功率表和电流互感器应具有一级精度，并具有计量部门签发的有效证书。3.5温度计
测量工作温度的温度计误差不大于士1℃。4
测量条件
测量时应符合以下条件：
JB/T7266-94
泵实际转速与额定值之差不大于土3%泵液种类和数量应符合设计要求；水冷泵的冷却水流量和温度应符合设计要求；环境温度在15～25℃之间，测量期间波动不大于士1℃；测量气体为室内空气，相对湿度不大于75%；f
测气镇泵时，其掺气量应符合设计要求。5测量方法
5.1抽气速率测量
5.1.1原理
采用“定压法”测泵的抽气速率。即在测量流量过程中，罩内压力保持不变。5.1.2步骤
抽气速率测量装置如图2所示。
图2测量装置
为了测量抽气速率，试验罩、真空计和流量计应装配到泵上。关闭微调阀，开泵运转，带气镇的泵充分气镇，关气镇阀，以1h压力不进一步下降，泵达到了平衡温度，开启微调阀，把测量气体放入罩内，以建立一个设定的平衡压力，同时测定气体流量。并按式（1)计算该压力下的抽气速率。
测量应从略高于极限压力的适当值开始，直至大气压或适合泵结构特点的其他压力。每个压力数量级内至少测三点，它们大致是2.5、5和10。若测一次流量时间较长，取60s为一周期，压力应重复测量，并取其平均值。如果最高与最低之差大于平均值10%，流量和压力都应重新测定。对于气镇泵，应在上述测量之后完全打开气镇阀，待泵温再一次平衡后，重新测量气镇时的抽气速率。
5.2极限压力测量
5.2.1原理
将规定的试验罩装在泵口上，在平衡温度下测罩内极限压力。5.2.2步骤
极限压力测量装置如图2所示。
JB/T7266-94
关闭微调阀，开泵运转，在气镇情况下运转至少1h，然后再在关气镇下运转1h。在间隔30min进行压力测量，当连续三次测量结果表明压力不再变化，即算达到极限压力。分别记取压缩式真空计和全压真空计读数，保留两位有效数字。对于气镇泵，应在上述测量后，完全打开气镇阀，待泵温再一次平衡后，重新测量气镇时的极限压力。
5.3消耗功率测量
5.3.1方法
在各种不同入口压力下，用功率表测泵驱动电动机的输入功率，然后乘以其不同负荷下的效率，即为泵的消耗功率。
5.3.2步骤
关闭微调阀和辅助进气阀，开泵运转，待泵温平衡后，开启微调阀和辅助进气阀，使罩内压力由低至高，逐点稳定，同时测取功率值。为使测得值具有必要的精度，应避免功率表在面值二分之一以下使用。测量值应具有两位有效数字。对于气镇泵，应在上述测量后，完全打开气镇阀，待泵温再一次平衡后，重新测量气镇时的消耗功率。
5.4工作温度测量
5.4.1测量方法
泵在极限压力下运转1h后，把温度计固定在排气阀附近成其他测温部位上，连续观察30min，若温度变化不超过1℃，温度计指示的最终温度即为泵的工作温度。对于气镇泵，应在上述测量以后，完全打开气镇阀，继续运转1h，再行测量气镇时的工作温度。工作温度最好与极限压力同时测量。6测量报告
将抽气速率、极限压力、消耗功率和工作温度测量结果填写《真空泵性能测量记录表》，并绘制抽气速率-压力曲线图（见图3)及消耗功率-压力曲线图（见图4)。/7
一不带气镇
一带气镇
图3抽气速率-压力曲线
JB/T7266-94
消耗功率-压力曲线
A1真空计
JB/T7266-94
附录A
真空计和压力测量
（补充件）
根据3.2条对真空计精度的规定，应采用下列真空计：压力低于1.3×10°Pa，用标准压缩式真空计；压力介于5.3×10°～5.3×10°Pa之间，用油U形管真空计；压力介于1×1055.3×10°Pa之间，用汞单管或U形管真空计。A2
压缩式真空计
采用标准压缩式真空计必须具有计量部门签发的有效证书。使用的汞必须具有99.999%的纯度，并经过充分过滤、清洗和真空蒸馏，不使用时计内应保持真空。
采用纯度不低于99.9%的氮气来提升计内的汞。真空计与试验罩之间，不得有橡胶管和带真空油脂的玻璃阀门。计应装一只冷阱，测抽气速率时，允许不灌注冷剂。压缩式真空计采用无标定标法”。提升汞的速度不得太快，提升结束，至少稳定1min方可读数。A3油U形管真空计
油U形管真空计（见图A1)应该管径均匀，并具有1mm的分度标。测量用油20℃时，蒸气压低于0.133Pa，运动粘度低于30×10-*m*/s；密度应实际测量。预抽泵的极限压力应低于0.133Pa。使用前，先经过充分去气；测量时，待液柱稳定后方可读数。接预抽泵
图A1油U形管真空计
接试验罩
流量计的选用
JB/T7266-94
附录B
流量计和流量测试
(参考件）
根据2.3条对流量测试精度的规定，推荐按下表选用流量计。表B1
玻璃转子式
滴管式流量计
规格或型号
LZB-10
LZB-15
LZB-25
LZB-40
LZB-50
1.2×10-4~1.33×10-3
1.33×10-3~1.33×10-2
1.2×10-1~1.33×10-1
1.33×10-1~1.6
14.7~45.3bzxz.net
146.7~453
533.3~1600
1600~4530
Pa· L/s
1.2×10-~1.3
12~1.3×102
1.3×10~1.6×10
1.2×10°~1.4×104
1.5×10~4.5×104
4.3×10*~1.6×105
1.5×105~4.5×105
5.3×105~1.6×10*
1.6×10*~4.5×10
滴管式流量计的结构如图B1所示。测量段长度（从刻线1到2)为200mm。测量段容积的测量精度为士1%。连接微调阀的橡胶管要尽量短而细。油槽截面积应大于180cm。测量用油20℃时的运动粘度应低于30×10-m2/s，其密度应实际测量。滴管式流量计所测流量按式(B1)计算：q=Vp[1+133.32(V。-V)hY/VpaJ/t式中：q—所测流量，W；
测量段容积，m\；
pa.—实测大气压，Pa；
V。一一测量前滴管内从油面至微调阀封口之间的总容积，m\；h-油柱由刻线1升到刻线2的距离，mm；Y
一用油实测密度与0℃汞的密度（13.59)之比；油柱从刻线1升到刻线2的时间，规定取t=25～300s。(B1)
玻璃转子流量计
JB/T7266-94
滴管式流量计
玻璃转子流量计应具有1.5级精度，并应在流量60%～100%段使用，其所测流量按式（B2）计算：4 = Qps/3600×()
式中：9-所测流量，w；
Q-—流量计视值，m/h；
pa.t—实测大气压，Pa;
pl—流量计标定时的大气压力，取p=101325Pa；T,流量计标定时的热力学温度，取T，=293K；T..流量时的热力学温度，K。
附加说明；
本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出。本标准由机械工业部沈阳真空技术研究所归口。本标准由机械工业部沈阳真空技术研究所负责起草。本标准起草人张书范。
根据国家技术监督局技监局标发（1992)549号文附件3调整为行业标准的国家标准”，本标准代替GB6306.16306.486.
小提示：此标准内容仅展示完整标准里的部分截取内容，若需要完整标准请到上方自行免费下载完整标准文档。