SJ/T 31107-1994
基本信息
标准号:
SJ/T 31107-1994
中文名称:ZDS-1型电泳机完好要求和检查评定方法
标准类别:电子行业标准(SJ)
标准状态:现行
实施日期:1997-01-01
出版语种:简体中文
下载格式:.rar.pdf
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相关标签:
电泳
检查
评定
方法
标准分类号
中标分类号:电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备
关联标准
相关单位信息
标准简介
SJ/T 31107-1994 ZDS-1型电泳机完好要求和检查评定方法 SJ/T31107-1994 标准下载解压密码:www.bzxz.net
标准内容
中华人民共和国电子行业标准
ZDS-1型电泳机完好要求和检查
评定方法
1 主要内容与适用范压
本标准规定了ZDS一1型电泳机的完好要求和检查,评定方法。本标推适用于半导体器件生产用类似ZDS一1型电泳机。2完好要求
2.1主要技术指标
2.1.1玻璃搅拌器可带动ZL玻璃粉溶液进行搅拌。S.J/T 31107--94www.bzxz.net
2.1.2电极电乐(直流电压0~450V,可调;电压波动不超过工艺要求范围。2.2真空系统
确保阴极板与硅片紧密接触.不掉片,无玻璃液泄漏现象,同时也不能因真空度过高造成碎片。
2.3机体系统
2.3.1可提供0—500V直流稳压
2.3.2阴、阳电极间距可调。
2.3.3电泳槽搅揽拌器在停开5min后启动仍可带动拌子搅拌。2.3.4搅拌器自动控制系统运行可靠。2.3.5各仪表性能灵敏,指示准确,有有效期内校验合格证。2.4电气系统
2.4.1电气箱内清洁,布线整齐,线路无破损老化、各种线路标志明显,连接可靠。2.4.2外部导线有完整的保护装置,线路外套管无脱落破损。2.4.3各种开关动作灵敏,安全可靠2.4.4传感器反应灵敏可靠。
2.4.5搅拌器、自动控制稳定可靠。2.5安全系统
2.5.1自动灭火装置运行正常,光敏触头光洁无尘埃。2.5.2搅拌器无溶波泄漏,无打火。2.5.3阴、阳电极无毛刺。
2.5.4电压数值显示精确。
2.5.5有机溶液清除水流量稳定止常。中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施
2.6维护保养
2.6.1机体表面清洁光亮,无尘埃SJ/T 31107-94
2.6.2阴、阳极率无损伤,玻璃粉沾污,阴极板要求光亮、整。2.6.3接触电压不超过工艺要求范。2.6.4按SJ/T31002--94设备维护保养通测执行。3检奎、评定方法
3.1检查方法
3.1.1用两只数字电压表监测微调,由控制柜进行控制电板电压,3.2评定方法
3.2.1主要项目有2.1.1、2.1.2.其余均为次要项目。3.2.2主要项目有--项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符会婴求,亦为不完好设备。
完好设备的维护保养,应达到优等设备标准。附加说明:
本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。本标雅出中国华晶电子集团公司组织起草。本标雅主要起草人:邵建新、吴秀琴。2
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