SJ/T 31116-1994 PLA－501F型光刻机完好要求和检查评定方法 SJ/T31116-1994 标准下载解压密码：www.bzxz.net

中华人民共和国电子行业标准
PLA-501F型光刻机完好要求和检查评定方法1生题内容与适用范围
本标准规定了PLA—-501F型光刻机的完好要求和检查、评定方法，SJ/T 31116—94
本标准适用于PLA501F型光刻机，其它类型光刻机.亦可参照执行。2完好要求
2.1主要技术指标bzxz.net
2.1.1刻精度：11μm；
2.1.2波长范围：0.365-0.436μm；2.1.3了对准精度：±15gm；
2.1.4光照度均匀性：士3%。
2.1.5主要性能要求
爆光最大面积±125mm。
b激光良动对准稳定可靠。
心对难方式：全自动、半房动、手动。d间单元机构稳定可靠，
“上下料机构了对准符合出厂标准。2.2操作系统
2.2.1各操作开关，按钮启动灵活，定位可靠，标志齐全2.2.2制动、限位装置齐全，灵活可靠。2.3传动系统
2.3.1自动上、下料园片传送装臀稳定可靠。2.3.2下作台运行灵活可靠。
2.3.3XY.Q对准控制灵活，可靠。2.3.4于对准装胃运行准，
2.3.5各机械传动部件平稳，可常。产路系统
7.4.1气路系统的运动件在规定的衍种速度范围内，不应发生振动和昆馨的冲击，不应有停滞迎象。
中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-016-01实施
SJ/T 31116-94
2.4.2各流量计指示正确，误差在允许范围内，月有效期在校验合格证内。2.4.3气路及真密管道，接头、阀门元件之间联结应牢固，密封良好、无漏气现象。2.4.4各气动阀，手动阀工作正常，开启，关闭灵活，到位。2.5电气系统
2.5.1电气控制箱内布线整齐，各指示灯齐全完整，指示正确。各种线路标志明显，联接可靠。线路绝缘层无破损老化。
2.5.2电气系统装置齐全，管线完整，性能良好,运行可靠，2.5.3各种开关动作灵敏，自动保护装置及报警装置齐全，安全可靠，工作灵敏可靠。2.5.4控制器按键操作灵活可靠。2.5.5光强控制器运行正常。
2.5.6各电磁接触器、磁力启动器、继电器动作灵敏可靠。2.6光学系统
2.6.1曝光光学系统确保工艺规定的光强度，曝光的均匀性符合要求。2.6.2对准光学部分应确保视场清晰。2.7安全防护
2.7.1设备保护盖板、挡尘板齐全，完整无损、牢固、靠，2.7.2外壳接地可靠。标志明显
2.8维护保养
按SJ/T31002—91设备维护保养通则》执行。3检查、评定方法
3.1检查方法
3.1.1用特制掩膜板上图形经3一5次对版曝光后，然后把硅片在高倍显微镜下进行观察测试套刻精度。
3.1.2用频谱仪、光谱仪检测波长范围。3.1.3用206型照度计，用0.365μm或0.405um探头放在承片台上测试六个点，测试光强度和光的均句性。
3.1.4其余项目采用现场主观方法避行检查。3.2评是方法
3.2.1要项目有2.1.1、2.1.22.1.3,2.1.4其余为次要项目。3.2.2主要项目有一项不符合要求，为不完好设备；次要项日有二项不符合要求，亦为不完好设备。
3.2.3完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。附加说期：
本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。本标准由中国华晶电子集团公司、国营南光机器厂组织起节。本标润起草人：王浩清、华一新、顾军建、吴正伟、王洪波（国當南光机器厂）。2
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