基本信息

标准号： SJ/T 31126-1994

中文名称：YL－1型MOCVD设备完好要求和检查评定方法

标准类别：电子行业标准(SJ)

标准状态：现行

实施日期：1997-01-01

出版语种：简体中文

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标准分类号

中标分类号：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L96表面防护设备

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出版信息

页数：3页

标准价格：8.0 元

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