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SJ/T 31100-1994

基本信息

标准号: SJ/T 31100-1994

中文名称:离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法

标准类别:电子行业标准(SJ)

标准状态:现行

实施日期:1997-01-01

出版语种:简体中文

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相关标签: 离子束 检查 评定 方法

标准分类号

中标分类号:>>>>L9 机械>>金属切削机床>>J59特种加工机床

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出版信息

页数:5页

标准价格:8.0 元

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标准简介

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