标准号: SJ/T 31100-1994
中文名称:离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法
标准类别:电子行业标准(SJ)
标准状态:现行
实施日期:1997-01-01
出版语种:简体中文
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相关标签: 离子束 检查 评定 方法
中标分类号:>>>>L9 机械>>金属切削机床>>J59特种加工机床
页数:5页
标准价格:8.0 元