基本信息

标准号： SJ/T 31100-1994

中文名称：离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法

标准类别：电子行业标准(SJ)

标准状态：现行

实施日期：1997-01-01

出版语种：简体中文

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相关标签： 离子束 检查 评定 方法

标准分类号

中标分类号：>>>>L9 机械>>金属切削机床>>J59特种加工机床

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出版信息

页数：5页

标准价格：8.0 元

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