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SJ/T 31273-1994

基本信息

标准号: SJ/T 31273-1994

中文名称:EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法

标准类别:电子行业标准(SJ)

标准状态:现行

实施日期:1997-01-01

出版语种:简体中文

下载格式:.rar.pdf

下载大小:60482

相关标签: 检查 评定 方法

标准分类号

中标分类号:电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备

关联标准

出版信息

出版社:中国电子技术标准化研究所

页数:2页

标准价格:8.0 元

出版日期:1997-01-01

相关单位信息

起草人:周尧良

起草单位:上海市仪表电讯工业局

提出单位:电子工业部经济运行与体制改革司

发布部门:中华人民共和国机械电子工业部

标准简介

本标准规定了EVP-13480型磁控溅射机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于EVP-13480型磁控溅射机,其它规格的磁控溅射机亦可参照执行。 SJ/T 31273-1994 EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法 SJ/T31273-1994 标准下载解压密码:www.bzxz.net

标准图片预览

SJ/T 31273-1994 EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法
SJ/T 31273-1994 EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法
SJ/T 31273-1994 EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法
SJ/T 31273-1994 EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法

标准内容

设备完好要求和检查评定方法
(下册)
KAKAa=
专用设备(续)
中华人民共和国电子行业标准
EVP一1380型群控避射机完好求
和检查评定方法
1、主围内容与适用范围
SJ/T 3127994
本标准规定了EVP一15480则您控滤射机的完好要求和检、伴定方法。本标难适用手VP—1348型感期对机,其它望格的磁控燃射机亦可塞脏热行2术语bzxz.net
磁控减射是在靶上外加互相正直的磁场和电势,在一忘的真空情说一,发生液座度的等离广体,利用等离子体的作用形就账层,3完好要求
3. 1性能要求
3.1.1极限压力,低下1×10-:
3.1.2设备起转:20mr无,极限压力能满见燃射零求.3.2操作系统
各续作手柄.并关按钮等齐全、无缺损、员敏、可影.标志齐全:3.3传动现费
3.3.1传动机物运行接,带,电机变速机构等工作正带,无异带噪音,,3.3.2制动、限位装置齐全,完整、灵缴、可界。3.4润滑系统
3.4.1润滑装图并金完整元抗,作用良好。3.4.2替路齐全,融贴畅通,编窗明亮,油标醒日,油质.油城持合规定要求。3.4.3油崛,油杯、池眼南洁,无堵案现象。游滑良好,基a无满油,即每漏袖点滴拍教,3min内不得照过--滴:
3. 5真序系统
3.5.1空家运转平稳,无常源和,无击,傲收H个低十11C-*P日:3.5.2低需求二作正带
3.5.3兼发室观衰商消沾、李时良好。3.5.4真空智路连换紧固常,断通,咨封良好、3.5.5真空制门开闭灵活可靠:
3.6也系统
中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准10
1994-06-07实施
SJ/T31273—94
TTKAONTKAca
3.6、1、各元,靠件齐全,完整,性能良好,可年,无考化款。3.6?管线完,东挝,联接守围。线路绝绿层无肢器,无老化.漏电现象,3.63电气控制柜内部清洁线路布解性齐,标芯齐会,明显,各端子紧固光松动现象,元,器件动作免敏:岁企、可毕。
3.6.4“悦表齐全、定整,灵,指示准确,可靠,有有效期校验合格证。3.7,附属装置
冷却水供监正常带管道畅通,
3.8安余防护
3.日.1各安全防护装管齐全,完整,二作正常,用靠。3.B.2接地(零)u常,栋志明显,3.9举护保养
按S/T31C29*设备维护渠养通则>快行:4检查、评定方法
4.1检查方站
4.1.1设备极限玉力用真空表检测.4.1.2故备接地端电用兆欧表检测。4.1.3完好要求3.2~~3.9各条所列内穿均案用主独法检变。4.2评定方法
4.2.13. 1-~3. 9所列各条要求r,主要项日为:5. 1.1、3.1.2、3.5.1:3.5.2、3. 5.3、3.6. 23.6.4.3.8.1、3.8.2,其余为按要项日4.2.2生要项尽有项不符合要求,为个完好议备次要项日有二项不符合要求,亦步不完好段备。
4.2.3完好设各的维护保养,应这到优等设备标准。附加说明:
本标准汁电子工业部经济运行与体制改毕司提出。本标准出上将市型衣典求工业局织越学,本标准书要起克人,周范痕,
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