基本信息

标准号： SJ 1550-79

中文名称：硅外延片检测方法

标准类别：电子行业标准(SJ)

英文名称：Method of inspection for silicon epitaxial wafers

标准状态：已作废

发布日期：1980-03-01

实施日期：1980-06-01

作废日期：2010-02-01

出版语种：简体中文

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相关标签： 外延 检测 方法

标准分类号

中标分类号：综合>>标准化管理与一般规定>>A01技术管理

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出版信息

页数：9页

标准价格：15.0 元

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