基本信息

标准号： SJ 2758-1987

中文名称：同型外延层厚度的红外干涉测试方法

标准类别：电子行业标准(SJ)

英文名称：Method of measurement by infrared interference for thickness of homoepitaxial layers

标准状态：已作废

发布日期：1987-02-10

实施日期：1987-07-01

作废日期：2010-01-20

出版语种：简体中文

下载格式：.rar.pdf

下载大小：KB

相关标签： 外延 厚度 红外 干涉 测试方法

标准分类号

中标分类号：综合>>标准化管理与一般规定>>A01技术管理

关联标准

出版信息

页数：12页

标准价格：16.0 元

相关单位信息

标准简介