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基本信息

标准号: SJ 2758-1987

中文名称:同型外延层厚度的红外干涉测试方法

标准类别:电子行业标准(SJ)

英文名称:Method of measurement by infrared interference for thickness of homoepitaxial layers

标准状态:已作废

发布日期:1987-02-10

实施日期:1987-07-01

作废日期:2010-01-20

出版语种:简体中文

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相关标签: 外延 厚度 红外 干涉 测试方法

标准分类号

中标分类号:综合>>标准化管理与一般规定>>A01技术管理

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出版信息

页数:12页

标准价格:16.0 元

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标准简介

SJ 2758-1987 同型外延层厚度的红外干涉测试方法 SJ2758-1987