标准号: SJ 2800-1987
中文名称:电子级气体中痕量甲烷的测定方法 氢焰色谱法
标准类别:电子行业标准(SJ)
英文名称:Method for determination of trace methanane in electronic grade gases-Hydrogen flame ionization deteror method
标准状态:已作废
发布日期:1987-04-06
实施日期:1988-01-01
作废日期:2010-01-20
出版语种:简体中文
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中标分类号:综合>>标准化管理与一般规定>>A01技术管理
采标情况:SEMI标准 NEQ
出版社:电子工业出版社
页数:3页
标准价格:8.0 元
出版日期:1988-01-01
起草人:于锡荣、赵长春、尹恩华
起草单位:电子工业部标准化研究所
提出单位:中国电子学会洁净技术学会
发布部门:中华人民共和国电子工业部