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SJ 2800-1987

基本信息

标准号: SJ 2800-1987

中文名称:电子级气体中痕量甲烷的测定方法 氢焰色谱法

标准类别:电子行业标准(SJ)

英文名称:Method for determination of trace methanane in electronic grade gases-Hydrogen flame ionization deteror method

标准状态:已作废

发布日期:1987-04-06

实施日期:1988-01-01

作废日期:2010-01-20

出版语种:简体中文

下载格式:.rar.pdf

下载大小:KB

相关标签: 电子 气体 甲烷 测定方法 色谱法

标准分类号

中标分类号:综合>>标准化管理与一般规定>>A01技术管理

关联标准

采标情况:SEMI标准 NEQ

出版信息

出版社:电子工业出版社

页数:3页

标准价格:8.0 元

出版日期:1988-01-01

相关单位信息

起草人:于锡荣、赵长春、尹恩华

起草单位:电子工业部标准化研究所

提出单位:中国电子学会洁净技术学会

发布部门:中华人民共和国电子工业部

标准简介

本方法适用于电子级氢、氮、氧、氩气体中痕量甲烷的测定,亦适用于空气及其他惰性气体中甲烷的测定,当进样量为1m1升时,最低检测浓度为0.1ppm。 SJ 2800-1987 电子级气体中痕量甲烷的测定方法 氢焰色谱法 SJ2800-1987 标准下载解压密码:www.bzxz.net
本方法适用于电子级氢、氮、氧、氩气体中痕量甲烷的测定,亦适用于空气及其他惰性气体中甲烷的测定,当进样量为1m1升时,最低检测浓度为0.1ppm。