基本信息

标准号： SJ 3193-1989

中文名称：硅片涂胶设备通用技术条件

标准类别：电子行业标准(SJ)

标准状态：已作废

实施日期：1987-10-01

出版语种：简体中文

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标准分类号

中标分类号：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备

关联标准

替代情况：被SJ/T 11183-98代替

出版信息

页数：8页

标准价格：14.0 元

相关单位信息

标准简介