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基本信息

标准号: SJ 3194-1989

SJ 3194-1989硅片显影设备通用技术条件

标准类别:电子行业标准(SJ)

实施日期:1987-10-01

出版语种:简体中文

下载格式:.rar.pdf

相关标签: 通用 硅片 显影

标准分类号

中标分类号:电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备

关联标准

替代情况:被SJ/T 11184-98代替

出版信息

页数:8页

标准价格:14.0 元

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标准简介

SJ 3194-1989 硅片显影设备通用技术条件 SJ3194-1989