JJG (电子) 18005-1991
基本信息
标准号： JJG (电子) 18005-1991
中文名称：工作用热偶真空计(试行)
标准类别：国家计量标准(JJ)
标准状态：现行
实施日期：2004-09-02
出版语种：简体中文
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下载大小：1313829
标准分类号
中标分类号：综合>>计量>>A55电磁计量
关联标准
出版信息
页数：8页
标准价格：14.0 元
相关单位信息
标准简介
JJG (电子) 18005-1991 工作用热偶真空计(试行) JJG(电子)18005-1991 标准下载解压密码：www.bzxz.net
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标准内容
972913
中华人民共和国机械电子工业部电子计量器具检定规程
工作用热偶真空计
JJG（电子）18005--91
(试行)
工作用热偶真空计
试行检定规程
JJG(电子)
18005-91
本检定规程经机械电子工业部于1991年5月11日批准，并自1992年1月1日起执行。
归口单位：机械电子工业部电子计量测试研究中心起草单位：机械电子工业部真空计量站主要起草人：林国平
参加起草人：姚
毛旭东
本规程技术条文由起草单位负责解释。694
JJG（电子）18005—91
共12页
工作用热偶真空计试行检定规程第1页
本规程适用于测量范围为10-1～102Pa的工作用热偶真空计（以下简称被检计）。
被检计由热偶真空计控制单元和热偶真空计规管组成，本规程亦适用于该两部分的分别检定。概
被检计的工作原理是基于热偶产生的热电势与热丝温度有关雨热丝温度又随压强变化而变化的特性（见图1)。R
图1被检计工作原理图
图中：mA-热丝加热电流
mV一热偶电势
E-直流电源
R一可变电阻
K一开关
AOB丝一加热丝
COD丝一热偏丝
共12页
第2页
JG（电子）18005—91
技术要求
1热偶真空计控制单元
1.1外观要求
1.1.1被检计控制单元应有名称、型号、编号、制遣厂名、出厂日期等标志。
1.1.2各旋钮、开关应转动灵活、限位清晰、电表的机械零位可调，不应有指针弯曲、卡针和表面刻度不清楚等现象。数字式仪表显示读数应连续无叠字、无缺字、不亮等现象。1.2技术指标
技术指标
检定项
加热电流示值引用误差
毫伏表满度匹配误差
电源电压在220V土10%变化时加热电流的化
电源电压在220V时加热电流在1小时漂移压强在10-Pa变化到10°Pa时加热电流变化加热电流可调围范
2热偶真空计规管
2.1外观要求
长丝型
≤±3%
≤±3%
120mA±1%
120mA±1%
120mA±1%
>90~150mA
短丝型
《±3%
≤±3%
29mA±1%
29mA±1%
29mA±1%
>25~40mA
2.1.1规管应有型号、编号、制造厂名等标志。696
JJG（电子）18005-91
2.1.2规管芯柱应无裂纹，漏气等现象。共12页第3页
2.1.3管壳内壁与电极不应有明显污染或氰化现象，电极装架应牢固。
2.1.4规管的引管外径为15.5±0.5mm。2.2技术指标
检定项目
1热偶丝冷态电阻
2热丝加热电流
未开封的玻璃规管内真空度
4P-mV曲线偏高标准曲线
5金属外壳规管总霜率
长整型
90~130mA
≤1×10Pa
≤±25%
≤10-*Pa·m·S-1
3热偶真空计整体检定
短丝型
26.5~31.5mA
≤1×10-Pa
≤±20%
≤10-*Pa*m.S-1
凡是在使用过程中按周期检定或者要求给出控制单元和规管相匹配时的总误差者必须进行整体检定。整体检定时测量压强示值误差≤±50%。
4·送检热偶真空计或者控制单元时应带齐附件、说明书和前次检定证书。
检定条件
（一）环境条件
5环境温度23±3°C，检定过程中温度变化不超过±1*C。697
共12页第4页
6相对湿度不大于85%。
JJG（电子）18005-—91
7检定过程中室内不应有明显的气体对流。8检定设备周围应无与检定无关的热源、强电磁场等外界干扰。
（二）标准装置和检定设备
9标准直流电流表（0~50mA，0~150mA优于0.5级）。10数字电压表或电位差计（优于0.1级)。11直流电阻箱（0~9999.92，优于0.5级）。12
凯文电桥（工作电流小于1mA）
13游标卡尺（0~300mm±0.1mm）14可调直流电源(0~15V在220V±10%的供电和给定负载情况下，输出电压随时间的波动应不超过土0.5%，波纹电压不超过5mV)
15交流稳压电源（1kVA，190~245V可调，稳定度优于±1%)。
16交流电压表（0~250V，0.5级）17火花检漏仪或氨质谱检漏仪。18真空标准装置（总不确定度≤±10%）18.1采用静态膨胀法校准装置（图2）时应满足下列条件18.1.1校准室静态保持压强在1分钟后必须低于被稳压强下限2个数量级。
18.1.2在被检压强范围内的各个测量点在30秒钟内压强波动小于±1%。
18.2采用比对校准装置时（图3）应满足下列条件18.2.1校准室的本底压强必须低于被检压强2个数量级。18.2.2在被检压强范围内校准室的压强应稳定可调，在被测点处压强的波动应在3分钟内不大于±1%。18.2.3校准气体进入装置时至少与器壁碰撞一次方可进入698
JJG（电子）18005—91
1、12一真空泵
2、11-阀门
3一校准室
4一电离真空计
5一被检计
6、8—阀门
7定量小客积
9压力计
10—储气瓶
13—微调阅
1-真空机组
2-—枚准室
3一被校计
4—二等校准真空计
5--进气微调阀
6一纯氮气源
共12页
第5页
静态膨胀法真空校准装置示意图6
图3相对校准装置示意图
校准室和被泵抽走。
19温度计（-10~+50°C，测量准确度±0.5°C)。20校准用气体为纯度99.9%的干燥氮气。检定项目和检定方法
（一）控制单元的检定
21外观检查应能满足1·1条的要求。22加热电流示值引用误差的检定避
共12页第6页
JJG（电子）1800591
22.1将控制单元与未开封的规管连接（亦可直接与真空系统上规管连接，其系统真空度应优于1×10-2Pa），接通电源，按控制单元使用说明书进行预热。
22.2按图4所示线路接好，即可开始检定。X
图4检定加热电流原理图
图中：V-交流电压表；
mA一标准查流电流表；
W-交流稳压电源；
G一热偶规管。
C-控制单元；
22.3将挖控制单元转换开关拨至加热电流档，按照控制单元技术条件规定的可调范围选间隔均匀的5点进行检定。按（1）式计算：
×100%
式中：I'—控制单元电流表指示值（取检定点中偏差最大的点）；
I—标准表测得的电流值：
It—控制单元电流表的满度值。23按图4接好线路，加热电流调至120mA（短丝型为29mA）然后调节交流稳压电源的输出电压为242V和198V，观察加热电流示值的变化，按（2）式计算：02
I'2-I2
—电源电压为220V时加热电流值：式中：I2-
I'2-—电源电压在242V或198V时加热电流变化最大值。24在电源电压220V时，加热电流值调节在120mA（短丝型29mA）后观察一小时加热电流变化，700
JJG（电子）18005—91
共12页第7页
25将规管接至真空系统上，按图4接好线路，改变真空系统压力从2×10-1~10*Pa观察加热电流值变化26按图4接好线路调节控制单元加热电流观察可调范。27按图5接好线路，调节电位器R使被检计电表指在满度。此时数字电压表上的示值偏离10mV不应超出±3%nR：
C一控制单元：
图中：
R-多图电位器1.5kQ；
R—线电阻10Q；
Rs一线绕电阻（阻值等于规管技术条件规定的冷阻；精度优于0.5%)；V数字电压表；
E—干电池；
K一开关。
图5毫伏表满度匹配误差测试线路28
将结果记入附录2表1中。
（二）规管的检定
29外观用目测检查，引管外径用卡尺测量应能满足2.1条要求。
30玻璃外壳规管管内真空度用火花检漏仪检查管内应无红光即可认为规管内真空度符合要求31金属外壳规管用氮质谱检漏仪检查总漏率。32测量规管热丝工作电流。
32.1将被检规管接到真空标准装置的校准室，经检查无漏隙存在，按真空获得的先后顺序进行抽气。按（图6）接好，待校701
共12页
第8页
准室压强达到要求后开始检定。图中：
V数字电压表
mA-直流电流表
G-被检规管
E可调直流电源
R，—电阻箱
R：线绕电阻
K一开关
JJG（电子）18005-91
32.2改变可调直流电源和电阻箱R；·使规管加热电流变化，待热偶输出电势达10mV时的热丝电流即是该管的热丝加热电流。33根据规管技术条件中规定的P-mV特性曲线选取均匀布在曲线各段的检定点10个以上，改变真空检定装置内的压力，同时记下标准压力值利规管输出毫伏值，然后画出被检管的P-mV曲线。按（3）式计算误差：
p-×100%
式中：P\-—选检定中测得的偏高标准曲线最大点的压强；P—标准压力值。
34将结果记入附录2表2中。
（三）热偶真空计整体检定
35进行整体检定的热偶真空计必须在控制单元检定合格和规管外观检查合格的基础上进行。702
JJG（电子）18005-91
共12页
第9页
36将被检管接到真空标准装置上，待真空标准装置上真空度达到<1×10-2Pa时参照32条内容确定控制单元和规管配套使用时的工作电流。
37整体检定参照测规管测P-mV特性曲线的办法进行，在被检计全量程范围内选取均匀分布的10个以上检定点，从低压强到高压强逐点检定。按式（4）计算整体检定误差：d'=Pr-P
×100%
式中：P,-被检计指示的压强值；P,—标准压强值。
38将结果记入附录2表3中。
五检定结果的处想和检定周期
39对单独进行检定的控制单元或规管合格者发给测试报告，不合格者发给检定结果通知书。40热偶真空计整体检定合格者出具检定证书；不合格者出具检定结果通知书，并注明不合格项目。41工作用热偶真空计整体检定周期为一年，必要时可随时送检。
共12页
附景1
附录2
标准(P)
检定证节格式（路）
检定记录表格式
JJG（电于）18005---91
控制单元检定
加热电流
热屑输出
稳定性wwW.bzxz.Net
电源220伏土10%变化时加热电流变化电源220伏时加热电流在一小时变化真空度变化时加热电流变化
规管检定
加热电流值
规管编号
JJG（电子）1300591
标准(P)
示值(P)
示值(mV)
标准(P)
示值(P)
示值(mV)
结论：
附录3
整体检定
共12页
第11页
加热电流值
检定气样；纯度不低于99.9%的干燥氮气热偶真空计标准特性曲线P-mV值对照表（长丝型）标准压力值
热俩丝电势
标准压力值
热偶丝电势
共12页
附录4
第12页
JJG（电子）18005—91
热偶真空计标准特性曲线P-mV值对照表（短丝型）热偶输出(mV)
压强(Torr)
热偶输出（mV）
压强(Torr）
热偶输出(mV）
压强(Torr)
热偶输出(mV）
压强(Torr)
热偏输出(mV)
压强(Torr)
附录5
3×10-
1×10-1
2×10-
4×10-
4×103
8×10-s
5×10-2
7×10-3
2×10-1
常用压力单位与法定单位关系
单位名
毫米汞柱
标准大气压
单位符号
1×10-
9×10-3
与法定单位Pa的关系
1.33322x10*Pa
1.33322×10°Pa
1.01325×10°Pa
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中华人民共和国机械电子工业部电子计量器具检定规程
工作用热偶真空计
JJG（电子）18005--91
(试行)
工作用热偶真空计
试行检定规程
JJG(电子)
18005-91
本检定规程经机械电子工业部于1991年5月11日批准，并自1992年1月1日起执行。
归口单位：机械电子工业部电子计量测试研究中心起草单位：机械电子工业部真空计量站主要起草人：林国平
参加起草人：姚
毛旭东
本规程技术条文由起草单位负责解释。694
JJG（电子）18005—91
共12页
工作用热偶真空计试行检定规程第1页
本规程适用于测量范围为10-1～102Pa的工作用热偶真空计（以下简称被检计）。
被检计由热偶真空计控制单元和热偶真空计规管组成，本规程亦适用于该两部分的分别检定。概
被检计的工作原理是基于热偶产生的热电势与热丝温度有关雨热丝温度又随压强变化而变化的特性（见图1)。R
图1被检计工作原理图
图中：mA-热丝加热电流
mV一热偶电势
E-直流电源
R一可变电阻
K一开关
AOB丝一加热丝
COD丝一热偏丝
共12页
第2页
JG（电子）18005—91
技术要求
1热偶真空计控制单元
1.1外观要求
1.1.1被检计控制单元应有名称、型号、编号、制遣厂名、出厂日期等标志。
1.1.2各旋钮、开关应转动灵活、限位清晰、电表的机械零位可调，不应有指针弯曲、卡针和表面刻度不清楚等现象。数字式仪表显示读数应连续无叠字、无缺字、不亮等现象。1.2技术指标
技术指标
检定项
加热电流示值引用误差
毫伏表满度匹配误差
电源电压在220V土10%变化时加热电流的化
电源电压在220V时加热电流在1小时漂移压强在10-Pa变化到10°Pa时加热电流变化加热电流可调围范
2热偶真空计规管
2.1外观要求
长丝型
≤±3%
≤±3%
120mA±1%
120mA±1%
120mA±1%
>90~150mA
短丝型
《±3%
≤±3%
29mA±1%
29mA±1%
29mA±1%
>25~40mA
2.1.1规管应有型号、编号、制造厂名等标志。696
JJG（电子）18005-91
2.1.2规管芯柱应无裂纹，漏气等现象。共12页第3页
2.1.3管壳内壁与电极不应有明显污染或氰化现象，电极装架应牢固。
2.1.4规管的引管外径为15.5±0.5mm。2.2技术指标
检定项目
1热偶丝冷态电阻
2热丝加热电流
未开封的玻璃规管内真空度
4P-mV曲线偏高标准曲线
5金属外壳规管总霜率
长整型
90~130mA
≤1×10Pa
≤±25%
≤10-*Pa·m·S-1
3热偶真空计整体检定
短丝型
26.5~31.5mA
≤1×10-Pa
≤±20%
≤10-*Pa*m.S-1
凡是在使用过程中按周期检定或者要求给出控制单元和规管相匹配时的总误差者必须进行整体检定。整体检定时测量压强示值误差≤±50%。
4·送检热偶真空计或者控制单元时应带齐附件、说明书和前次检定证书。
检定条件
（一）环境条件
5环境温度23±3°C，检定过程中温度变化不超过±1*C。697
共12页第4页
6相对湿度不大于85%。
JJG（电子）18005-—91
7检定过程中室内不应有明显的气体对流。8检定设备周围应无与检定无关的热源、强电磁场等外界干扰。
（二）标准装置和检定设备
9标准直流电流表（0~50mA，0~150mA优于0.5级）。10数字电压表或电位差计（优于0.1级)。11直流电阻箱（0~9999.92，优于0.5级）。12
凯文电桥（工作电流小于1mA）
13游标卡尺（0~300mm±0.1mm）14可调直流电源(0~15V在220V±10%的供电和给定负载情况下，输出电压随时间的波动应不超过土0.5%，波纹电压不超过5mV)
15交流稳压电源（1kVA，190~245V可调，稳定度优于±1%)。
16交流电压表（0~250V，0.5级）17火花检漏仪或氨质谱检漏仪。18真空标准装置（总不确定度≤±10%）18.1采用静态膨胀法校准装置（图2）时应满足下列条件18.1.1校准室静态保持压强在1分钟后必须低于被稳压强下限2个数量级。
18.1.2在被检压强范围内的各个测量点在30秒钟内压强波动小于±1%。
18.2采用比对校准装置时（图3）应满足下列条件18.2.1校准室的本底压强必须低于被检压强2个数量级。18.2.2在被检压强范围内校准室的压强应稳定可调，在被测点处压强的波动应在3分钟内不大于±1%。18.2.3校准气体进入装置时至少与器壁碰撞一次方可进入698
JJG（电子）18005—91
1、12一真空泵
2、11-阀门
3一校准室
4一电离真空计
5一被检计
6、8—阀门
7定量小客积
9压力计
10—储气瓶
13—微调阅
1-真空机组
2-—枚准室
3一被校计
4—二等校准真空计
5--进气微调阀
6一纯氮气源
共12页
第5页
静态膨胀法真空校准装置示意图6
图3相对校准装置示意图
校准室和被泵抽走。
19温度计（-10~+50°C，测量准确度±0.5°C)。20校准用气体为纯度99.9%的干燥氮气。检定项目和检定方法
（一）控制单元的检定
21外观检查应能满足1·1条的要求。22加热电流示值引用误差的检定避
共12页第6页
JJG（电子）1800591
22.1将控制单元与未开封的规管连接（亦可直接与真空系统上规管连接，其系统真空度应优于1×10-2Pa），接通电源，按控制单元使用说明书进行预热。
22.2按图4所示线路接好，即可开始检定。X
图4检定加热电流原理图
图中：V-交流电压表；
mA一标准查流电流表；
W-交流稳压电源；
G一热偶规管。
C-控制单元；
22.3将挖控制单元转换开关拨至加热电流档，按照控制单元技术条件规定的可调范围选间隔均匀的5点进行检定。按（1）式计算：
×100%
式中：I'—控制单元电流表指示值（取检定点中偏差最大的点）；
I—标准表测得的电流值：
It—控制单元电流表的满度值。23按图4接好线路，加热电流调至120mA（短丝型为29mA）然后调节交流稳压电源的输出电压为242V和198V，观察加热电流示值的变化，按（2）式计算：02
I'2-I2
—电源电压为220V时加热电流值：式中：I2-
I'2-—电源电压在242V或198V时加热电流变化最大值。24在电源电压220V时，加热电流值调节在120mA（短丝型29mA）后观察一小时加热电流变化，700
JJG（电子）18005—91
共12页第7页
25将规管接至真空系统上，按图4接好线路，改变真空系统压力从2×10-1~10*Pa观察加热电流值变化26按图4接好线路调节控制单元加热电流观察可调范。27按图5接好线路，调节电位器R使被检计电表指在满度。此时数字电压表上的示值偏离10mV不应超出±3%nR：
C一控制单元：
图中：
R-多图电位器1.5kQ；
R—线电阻10Q；
Rs一线绕电阻（阻值等于规管技术条件规定的冷阻；精度优于0.5%)；V数字电压表；
E—干电池；
K一开关。
图5毫伏表满度匹配误差测试线路28
将结果记入附录2表1中。
（二）规管的检定
29外观用目测检查，引管外径用卡尺测量应能满足2.1条要求。
30玻璃外壳规管管内真空度用火花检漏仪检查管内应无红光即可认为规管内真空度符合要求31金属外壳规管用氮质谱检漏仪检查总漏率。32测量规管热丝工作电流。
32.1将被检规管接到真空标准装置的校准室，经检查无漏隙存在，按真空获得的先后顺序进行抽气。按（图6）接好，待校701
共12页
第8页
准室压强达到要求后开始检定。图中：
V数字电压表
mA-直流电流表
G-被检规管
E可调直流电源
R，—电阻箱
R：线绕电阻
K一开关
JJG（电子）18005-91
32.2改变可调直流电源和电阻箱R；·使规管加热电流变化，待热偶输出电势达10mV时的热丝电流即是该管的热丝加热电流。33根据规管技术条件中规定的P-mV特性曲线选取均匀布在曲线各段的检定点10个以上，改变真空检定装置内的压力，同时记下标准压力值利规管输出毫伏值，然后画出被检管的P-mV曲线。按（3）式计算误差：
p-×100%
式中：P\-—选检定中测得的偏高标准曲线最大点的压强；P—标准压力值。
34将结果记入附录2表2中。
（三）热偶真空计整体检定
35进行整体检定的热偶真空计必须在控制单元检定合格和规管外观检查合格的基础上进行。702
JJG（电子）18005-91
共12页
第9页
36将被检管接到真空标准装置上，待真空标准装置上真空度达到<1×10-2Pa时参照32条内容确定控制单元和规管配套使用时的工作电流。
37整体检定参照测规管测P-mV特性曲线的办法进行，在被检计全量程范围内选取均匀分布的10个以上检定点，从低压强到高压强逐点检定。按式（4）计算整体检定误差：d'=Pr-P
×100%
式中：P,-被检计指示的压强值；P,—标准压强值。
38将结果记入附录2表3中。
五检定结果的处想和检定周期
39对单独进行检定的控制单元或规管合格者发给测试报告，不合格者发给检定结果通知书。40热偶真空计整体检定合格者出具检定证书；不合格者出具检定结果通知书，并注明不合格项目。41工作用热偶真空计整体检定周期为一年，必要时可随时送检。
共12页
附景1
附录2
标准(P)
检定证节格式（路）
检定记录表格式
JJG（电于）18005---91
控制单元检定
加热电流
热屑输出
稳定性wwW.bzxz.Net
电源220伏土10%变化时加热电流变化电源220伏时加热电流在一小时变化真空度变化时加热电流变化
规管检定
加热电流值
规管编号
JJG（电子）1300591
标准(P)
示值(P)
示值(mV)
标准(P)
示值(P)
示值(mV)
结论：
附录3
整体检定
共12页
第11页
加热电流值
检定气样；纯度不低于99.9%的干燥氮气热偶真空计标准特性曲线P-mV值对照表（长丝型）标准压力值
热俩丝电势
标准压力值
热偶丝电势
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附录4
第12页
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热偶真空计标准特性曲线P-mV值对照表（短丝型）热偶输出(mV)
压强(Torr)
热偶输出（mV）
压强(Torr）
热偶输出(mV）
压强(Torr)
热偶输出(mV）
压强(Torr)
热偏输出(mV)
压强(Torr)
附录5
3×10-
1×10-1
2×10-
4×10-
4×103
8×10-s
5×10-2
7×10-3
2×10-1
常用压力单位与法定单位关系
单位名
毫米汞柱
标准大气压
单位符号
1×10-
9×10-3
与法定单位Pa的关系
1.33322x10*Pa
1.33322×10°Pa
1.01325×10°Pa
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