GB/T 34091-2017
基本信息
标准号： GB/T 34091-2017
中文名称：电子工业用气体 六氟乙烷
标准类别：国家标准(GB)
标准状态：现行
出版语种：简体中文
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标准分类号
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出版信息
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标准简介
GB/T 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷
GB/T34091-2017
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标准内容
ICS71.100.20
中华人民共和国国家标准
GB/T34091--2017
电子工业用气体
六氟乙烷
Gas for electronic industry--Hexafluoroethane2017-07-31发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
2017-11-01实施
本标准按照GB/T1.1--2009给出的规则起草。GB/T34091—2017
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203)提出并归口。本标准起草单位：浙江省化工研究院有限公司、广东华特气体股份有限公司，四川中测标物科技有限公司、高麦仪器公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）、天津长芦华信化工股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司。本标准主要起草人：史婉君、廖恒易、杜汉盛、白占旗、方正、潘义、牛艳东、方华、王鸿、陈熔、林宇巍、邓建平、李健、周鹏云。
-iiKAoNi KAca
-iiKAoNiKAca
1范围
六氟乙烷
电子工业用气体
GB/T34091—2017
本标准规定了电子工业用六氟乙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运及安全。本标准适用于工业用六氟乙烷经精制提纯而得的高纯六氟乙烷产品。主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或作为电子器元件清洗剂。分子式：C.Fs。
相对分子质量：138.0124（按2013年国际相对原子质量）。规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB190危险货物包装标志
GB/T3723
GB/T5099
工业用化学产品采样安全通则
钢质无缝气瓶
GB/T5832.1气体分析微量水分的测定第1部分：电解法
气瓶颜色标志
GB/T7144
GB/T14193
GB15258
液化气体气瓶充装规定
化学品安全标签编写规定
GB/T16804
GB/T26571
GB/T28726
气瓶警示标签
特种气体储存期规范
气体分析氨离子化气相色谱法
TSGR0006气瓶安全技术监察规程危险化学品安全管理条例（2002年版）特种设备安全监察条例（2009年版）技术要求
六氟乙烷的质量应符合表1的要求，表1技术指标
六氟乙烷（C.F）纯度（体积分数）/10-2氢（Hz）含量（体积分数）/10-6（氧+氩）(Oz+Ar)含量（体积分数）/10-氮（N,)含量（体积分数)/10-6
一氧化碳(CO)含量（体积分数)/10-6目
-iiKAoNiKAca
GB/T34091—2017
二氧化碳（CO,)含量（体积分数)/10-6甲烷(CH)含量（体积分数）)/10-5项
表1(续）
卤代烃（二氟甲烷、二氟一氯甲烷、三氟甲烷、三氟一氯甲烷、四氟甲烷、五氟一氯甲烷、五氟乙烷、1，1,1-三氟乙烷）（体积分数）/10-6水分（HO)含量（体积分数）/10-6酸度（以HF计）含量（质量分数）/10一杂质总含量（体积分数)/10-6
试验方法
抽样、判定和复验
供需双方商定
4.1.1六氟乙烷产品除酸度外的其他指标应逐一检验并验收，酸度每批次检一瓶。当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格。生产企业应确保每一包装六氟乙烷产品符合本标准技术要求。
4.1.2六氟乙烷采样安全应符合GB/T3723的相关规定。4.2六氟乙烷纯度
总杂质含量按式(1)计算：
Φ一，+Φ+Φ+Φ+Φ+Φ。+Φ十Φ式中：
Φ。——总杂质含量（体积分数），10-\；Φ，——氢含量（体积分数），10-；—（氧十氩）含量（体积分数），10-；2
氮含量（体积分数），10-；
一氧化碳含量（体积分数），10-；一二氧化碳含量（体积分数），10-\；甲烷含量（体积分数），10-；
卤代烃含量（体积分数），10-\，水分含量（体积分数），10-6
4.2.2六氟乙烷纯度按式（2)计算：Φ=100-Φ。×10-4
式中：
Φ六氟乙烷纯度（体积分数），10-2。4.3氢、氧十氩、氨、一氧化碳、二氧化碳、甲烷和卤代烃含量的测定......(1)
（2）
按GB/T28726规定的切割进样的方法测定六氟乙烷中的氢、氧十氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲2
-iiKAoNi KAca
烷和卤代烃含量。
GB/T34091—2017
预分离柱：长约2m、内径2mm的316L不锈钢柱，内装粒径为0.18mm~0.25mm的PorapakQ（高分子聚合物），或其他等效色谱柱。色谱柱I：长约2m、内径2mm的316L不锈钢柱，内装粒径为0.18mm~0.25mm的5A分子筛，或其他等效色谱柱，用于分析氢、氧十氩、氮、一氧化碳组分。色谱柱Ⅱ：长约2m、内径2mm的316L不锈钢柱，内装粒径为0.18mm~0.25mm的PorapakQ：或其他等效色谱柱，用于分析二氧化碳、甲烷组分。色谱柱Ⅲ：长约50m、内径0.53mm、内涂15μm厚度的Al.O，毛细柱，或其他等效色谱柱，用于分析卤代烃组分。
标准样品：组分含量的体积分数为1×10-～5×10-，或与样品其中的组分含量相近，平衡气为氮。
充许采用其他等效的方法测定六氟乙烷中的氢，氧十氩、氮。一氧化碳，二氧化碳，甲烷和卤代烃含量。当以上测定结果有异议时，以本标准规定的方法为仲裁方法。4.4水分含量的测定
按GB/T5832.1规定的方法或其他等效的方法测定六氟乙烷的水分含量。当以上测定结果有异议时，以GB/T5832.1规定的方法为仲裁方法。4.5酸度（以HF计)的测定
4.5.1方法提要
试样中的酸和酸性物质与过量的氢氧化钠标准溶液发生中和反应，以甲基红-漠甲酚绿为指示剂，用硫酸标准溶液滴定过量的碱，从而测定出试样的酸度。4.5.2试剂、溶液
4.5.2.1氢氧化钠标准溶液：c(NaOH)约0.01mol/L。由0.1mol/L标准溶液稀释制取。4.5.2.2
硫酸标准滴定溶液：c(1/2HzSO.）约0.01mol/L。由0.1mol/L标准溶液稀释制取。4.5.2.3混合指示剂：甲基红乙醇溶液与溴甲酚绿乙醇溶液按1：3体积比混合。4.5.3
仪器、设备
微量滴定管：5mL，分度值为0.02mL，或0.01mL。4.5.3.1
4.5.3.2多孔气体分布管：孔度为2号。4.5.3.3湿式气体流量计：量程为2L。4.5.4测定步骤
酸度测定的吸收装置如图1所示。缓冲瓶，吸收瓶均为300mL锥形瓶，吸收瓶内各装人100mL新煮沸过的蒸馏水和4.00mL氢氧化钠标准溶液。气体分布器管口距瓶底8mm，试样气体流速500mL/min，通气量约15L，由湿式气体流量计计量。通气完毕，从系统中取下吸收瓶，分别加人4滴～5滴混合指示剂，用硫酸标准溶液滴定，溶液由蓝绿色变为红色为终点。3
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GB/T34091—2017
CF气体
说明：
缓冲瓶；
吸收瓶：
湿式气体流量计：
多孔气体分布管：
开口气体分布管。
试样体积的计算
试样体积按式（3)计算：
式中：
图1酸度吸收装置
(P,+P,)X293.1
101.3×273.1+
(ti+t2)
X(V-V)
-20℃，101.3kPa的试样体积的数值，单位为升（L）；PiP2
流量计始态与终态的大气压力的数值，单位为于帕（kPa）tlta
一流量计始态与终态的温度的数值，单位为摄氏度（℃）；V、V2——流量计始态与终态的读数值，单位为升(L)。4.5.6结果计算
酸度（以HF计)的质量分数w，数值以10-表示，按式（4)计算：[(V。-V)+（V。-V2)20XcX10-
式中：
空白试验消耗硫酸标准滴定溶液的体积，单位为毫升（mL）；V..
分别为滴定两个吸收瓶溶液消耗的硫酸标准滴定溶液的体积，单位为毫升（mL）；氢氟酸(HF)的摩尔质量，单位为克每摩尔（g/mol)；硫酸（1/2H,SO.）标准滴定溶液的浓度，单位为摩尔每升（mol/L）；-20℃，101.3kPa时六氟乙烷的密度，单位为克每升（g/L)；-20℃，101.3kPa时试样体积，单位为升（L）。取平行测定结果的算术平均值为测定结果。两次平行测定结果的相对偏差应不大于40%。4.5.7其他等效的方法
（3）
允许采用其他等效的方法测定六氟乙烷中的酸度含量。当以上测定结果有异议时，以本标准规定4
iiiKAoNiKAcawww.bzxz.net
的方法为仲裁方法。
5包装、标志、贮运及安全
5.1包装、标志及贮运
GB/T34091—2017
5.1.1六氟乙烷的充装及贮运应符合TSGR0006、《危险化学品安全管理条例》（2002年版）和《特种设备安全监察条例》（2009年版）的相关规定。5.1.2包装六氟乙烷的气瓶应符合GB/T5099的规定。5.1.3推荐使用进行内表面处理的气瓶，处理后的气瓶应满足本标准的要求。瓶阀出气口连接方式推荐使用CGA320。
5.1.4应防止泄漏和瓶口被污染。5.1.5六氟乙烷的充装应符合GB/T14193的相关规定。5.1.6六氟乙烷的包装标志应符合GB190的相关规定，颜色标志应符合GB/T7144的规定，标签应符合GB/T16804.GB15258规定的要求。5.1.7
包装容器上应标明“电子级六氟乙烷”字样。5.1.8瓶装六氟乙烷的最大充装量按式（5)计算：m=F..V
式中：
m—-气瓶内六氟乙烷的质量，单位为千克（kg)；F，—六氟乙烷的充装系数，12.5MPa时，F，=1.06kg/L；8MPa时，F，=0.83kg/L；V
气瓶标明的内容积，单位为升（L）。5.1.9六氟乙烷的充装量按实际称量的质量计。六氟乙烷的保存期限按GB/T26571规定执行。5.1.10
5.1.11六氟乙烷出厂时应附有质量合格证，其内容至少应包括：一产品名称，生产厂名称、危险化学品生产许可证编号；生产日期或批号、充装质量（kg）一本标准编号及技术指标、检验员号。5.1.12六氟乙烷产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内，不应暴晒，远离热源。5.2安全警示
5.2.1六氟乙烷在常温常压下是情性的、无色，不燃和无毒气体。（5）
5.2.2装有六氟乙烷的钢瓶不应近火源或过度加热，若遇高热，容器内压力增大，有开裂和爆炸的危险。
5.2.3接触六氟乙烷可致冻伤，吸人可能导致不适如恶心、头痛，以及麻醉如头昏眼花、晕厥，反应迟钝、失去知觉；高浓度（大于20%）吸入可能导致心律不齐、心悸、供血不足，过多暴露可能导致原有的神经中枢系统疾病加剧。当出现上述症状时，应及时从现场撤离，就医5.2.4当环境中六氟乙烷浓度较高时，现场人员应佩戴自吸过滤式防毒面具。-iiKAoNi KAca
GB/T34091-2017
中华人民共和国
国家标准
电子工业用气体六氟乙烷
GB/T34091—2017
中国标准出版社出版发行
北京市朝阳区和平里西街甲2号（100029）北京市西城区三里河北街16号（100045）网址spc.net.cn
总编室：（010)68533533发行中心：（010)51780238读者服务部：（010）68523946
中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销
开本880×12301/16印张0.75字数12千字2017年7月第一版
2017年7月第一次印刷
书号：155066·1-57303定价16.00元
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中华人民共和国国家标准
GB/T34091--2017
电子工业用气体
六氟乙烷
Gas for electronic industry--Hexafluoroethane2017-07-31发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
2017-11-01实施
本标准按照GB/T1.1--2009给出的规则起草。GB/T34091—2017
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203)提出并归口。本标准起草单位：浙江省化工研究院有限公司、广东华特气体股份有限公司，四川中测标物科技有限公司、高麦仪器公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）、天津长芦华信化工股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司。本标准主要起草人：史婉君、廖恒易、杜汉盛、白占旗、方正、潘义、牛艳东、方华、王鸿、陈熔、林宇巍、邓建平、李健、周鹏云。
-iiKAoNi KAca
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1范围
六氟乙烷
电子工业用气体
GB/T34091—2017
本标准规定了电子工业用六氟乙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运及安全。本标准适用于工业用六氟乙烷经精制提纯而得的高纯六氟乙烷产品。主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或作为电子器元件清洗剂。分子式：C.Fs。
相对分子质量：138.0124（按2013年国际相对原子质量）。规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB190危险货物包装标志
GB/T3723
GB/T5099
工业用化学产品采样安全通则
钢质无缝气瓶
GB/T5832.1气体分析微量水分的测定第1部分：电解法
气瓶颜色标志
GB/T7144
GB/T14193
GB15258
液化气体气瓶充装规定
化学品安全标签编写规定
GB/T16804
GB/T26571
GB/T28726
气瓶警示标签
特种气体储存期规范
气体分析氨离子化气相色谱法
TSGR0006气瓶安全技术监察规程危险化学品安全管理条例（2002年版）特种设备安全监察条例（2009年版）技术要求
六氟乙烷的质量应符合表1的要求，表1技术指标
六氟乙烷（C.F）纯度（体积分数）/10-2氢（Hz）含量（体积分数）/10-6（氧+氩）(Oz+Ar)含量（体积分数）/10-氮（N,)含量（体积分数)/10-6
一氧化碳(CO)含量（体积分数)/10-6目
-iiKAoNiKAca
GB/T34091—2017
二氧化碳（CO,)含量（体积分数)/10-6甲烷(CH)含量（体积分数）)/10-5项
表1(续）
卤代烃（二氟甲烷、二氟一氯甲烷、三氟甲烷、三氟一氯甲烷、四氟甲烷、五氟一氯甲烷、五氟乙烷、1，1,1-三氟乙烷）（体积分数）/10-6水分（HO)含量（体积分数）/10-6酸度（以HF计）含量（质量分数）/10一杂质总含量（体积分数)/10-6
试验方法
抽样、判定和复验
供需双方商定
4.1.1六氟乙烷产品除酸度外的其他指标应逐一检验并验收，酸度每批次检一瓶。当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格。生产企业应确保每一包装六氟乙烷产品符合本标准技术要求。
4.1.2六氟乙烷采样安全应符合GB/T3723的相关规定。4.2六氟乙烷纯度
总杂质含量按式(1)计算：
Φ一，+Φ+Φ+Φ+Φ+Φ。+Φ十Φ式中：
Φ。——总杂质含量（体积分数），10-\；Φ，——氢含量（体积分数），10-；—（氧十氩）含量（体积分数），10-；2
氮含量（体积分数），10-；
一氧化碳含量（体积分数），10-；一二氧化碳含量（体积分数），10-\；甲烷含量（体积分数），10-；
卤代烃含量（体积分数），10-\，水分含量（体积分数），10-6
4.2.2六氟乙烷纯度按式（2)计算：Φ=100-Φ。×10-4
式中：
Φ六氟乙烷纯度（体积分数），10-2。4.3氢、氧十氩、氨、一氧化碳、二氧化碳、甲烷和卤代烃含量的测定......(1)
（2）
按GB/T28726规定的切割进样的方法测定六氟乙烷中的氢、氧十氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲2
-iiKAoNi KAca
烷和卤代烃含量。
GB/T34091—2017
预分离柱：长约2m、内径2mm的316L不锈钢柱，内装粒径为0.18mm~0.25mm的PorapakQ（高分子聚合物），或其他等效色谱柱。色谱柱I：长约2m、内径2mm的316L不锈钢柱，内装粒径为0.18mm~0.25mm的5A分子筛，或其他等效色谱柱，用于分析氢、氧十氩、氮、一氧化碳组分。色谱柱Ⅱ：长约2m、内径2mm的316L不锈钢柱，内装粒径为0.18mm~0.25mm的PorapakQ：或其他等效色谱柱，用于分析二氧化碳、甲烷组分。色谱柱Ⅲ：长约50m、内径0.53mm、内涂15μm厚度的Al.O，毛细柱，或其他等效色谱柱，用于分析卤代烃组分。
标准样品：组分含量的体积分数为1×10-～5×10-，或与样品其中的组分含量相近，平衡气为氮。
充许采用其他等效的方法测定六氟乙烷中的氢，氧十氩、氮。一氧化碳，二氧化碳，甲烷和卤代烃含量。当以上测定结果有异议时，以本标准规定的方法为仲裁方法。4.4水分含量的测定
按GB/T5832.1规定的方法或其他等效的方法测定六氟乙烷的水分含量。当以上测定结果有异议时，以GB/T5832.1规定的方法为仲裁方法。4.5酸度（以HF计)的测定
4.5.1方法提要
试样中的酸和酸性物质与过量的氢氧化钠标准溶液发生中和反应，以甲基红-漠甲酚绿为指示剂，用硫酸标准溶液滴定过量的碱，从而测定出试样的酸度。4.5.2试剂、溶液
4.5.2.1氢氧化钠标准溶液：c(NaOH)约0.01mol/L。由0.1mol/L标准溶液稀释制取。4.5.2.2
硫酸标准滴定溶液：c(1/2HzSO.）约0.01mol/L。由0.1mol/L标准溶液稀释制取。4.5.2.3混合指示剂：甲基红乙醇溶液与溴甲酚绿乙醇溶液按1：3体积比混合。4.5.3
仪器、设备
微量滴定管：5mL，分度值为0.02mL，或0.01mL。4.5.3.1
4.5.3.2多孔气体分布管：孔度为2号。4.5.3.3湿式气体流量计：量程为2L。4.5.4测定步骤
酸度测定的吸收装置如图1所示。缓冲瓶，吸收瓶均为300mL锥形瓶，吸收瓶内各装人100mL新煮沸过的蒸馏水和4.00mL氢氧化钠标准溶液。气体分布器管口距瓶底8mm，试样气体流速500mL/min，通气量约15L，由湿式气体流量计计量。通气完毕，从系统中取下吸收瓶，分别加人4滴～5滴混合指示剂，用硫酸标准溶液滴定，溶液由蓝绿色变为红色为终点。3
-iiKAoNiKAca
GB/T34091—2017
CF气体
说明：
缓冲瓶；
吸收瓶：
湿式气体流量计：
多孔气体分布管：
开口气体分布管。
试样体积的计算
试样体积按式（3)计算：
式中：
图1酸度吸收装置
(P,+P,)X293.1
101.3×273.1+
(ti+t2)
X(V-V)
-20℃，101.3kPa的试样体积的数值，单位为升（L）；PiP2
流量计始态与终态的大气压力的数值，单位为于帕（kPa）tlta
一流量计始态与终态的温度的数值，单位为摄氏度（℃）；V、V2——流量计始态与终态的读数值，单位为升(L)。4.5.6结果计算
酸度（以HF计)的质量分数w，数值以10-表示，按式（4)计算：[(V。-V)+（V。-V2)20XcX10-
式中：
空白试验消耗硫酸标准滴定溶液的体积，单位为毫升（mL）；V..
分别为滴定两个吸收瓶溶液消耗的硫酸标准滴定溶液的体积，单位为毫升（mL）；氢氟酸(HF)的摩尔质量，单位为克每摩尔（g/mol)；硫酸（1/2H,SO.）标准滴定溶液的浓度，单位为摩尔每升（mol/L）；-20℃，101.3kPa时六氟乙烷的密度，单位为克每升（g/L)；-20℃，101.3kPa时试样体积，单位为升（L）。取平行测定结果的算术平均值为测定结果。两次平行测定结果的相对偏差应不大于40%。4.5.7其他等效的方法
（3）
允许采用其他等效的方法测定六氟乙烷中的酸度含量。当以上测定结果有异议时，以本标准规定4
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的方法为仲裁方法。
5包装、标志、贮运及安全
5.1包装、标志及贮运
GB/T34091—2017
5.1.1六氟乙烷的充装及贮运应符合TSGR0006、《危险化学品安全管理条例》（2002年版）和《特种设备安全监察条例》（2009年版）的相关规定。5.1.2包装六氟乙烷的气瓶应符合GB/T5099的规定。5.1.3推荐使用进行内表面处理的气瓶，处理后的气瓶应满足本标准的要求。瓶阀出气口连接方式推荐使用CGA320。
5.1.4应防止泄漏和瓶口被污染。5.1.5六氟乙烷的充装应符合GB/T14193的相关规定。5.1.6六氟乙烷的包装标志应符合GB190的相关规定，颜色标志应符合GB/T7144的规定，标签应符合GB/T16804.GB15258规定的要求。5.1.7
包装容器上应标明“电子级六氟乙烷”字样。5.1.8瓶装六氟乙烷的最大充装量按式（5)计算：m=F..V
式中：
m—-气瓶内六氟乙烷的质量，单位为千克（kg)；F，—六氟乙烷的充装系数，12.5MPa时，F，=1.06kg/L；8MPa时，F，=0.83kg/L；V
气瓶标明的内容积，单位为升（L）。5.1.9六氟乙烷的充装量按实际称量的质量计。六氟乙烷的保存期限按GB/T26571规定执行。5.1.10
5.1.11六氟乙烷出厂时应附有质量合格证，其内容至少应包括：一产品名称，生产厂名称、危险化学品生产许可证编号；生产日期或批号、充装质量（kg）一本标准编号及技术指标、检验员号。5.1.12六氟乙烷产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内，不应暴晒，远离热源。5.2安全警示
5.2.1六氟乙烷在常温常压下是情性的、无色，不燃和无毒气体。（5）
5.2.2装有六氟乙烷的钢瓶不应近火源或过度加热，若遇高热，容器内压力增大，有开裂和爆炸的危险。
5.2.3接触六氟乙烷可致冻伤，吸人可能导致不适如恶心、头痛，以及麻醉如头昏眼花、晕厥，反应迟钝、失去知觉；高浓度（大于20%）吸入可能导致心律不齐、心悸、供血不足，过多暴露可能导致原有的神经中枢系统疾病加剧。当出现上述症状时，应及时从现场撤离，就医5.2.4当环境中六氟乙烷浓度较高时，现场人员应佩戴自吸过滤式防毒面具。-iiKAoNi KAca
GB/T34091-2017
中华人民共和国
国家标准
电子工业用气体六氟乙烷
GB/T34091—2017
中国标准出版社出版发行
北京市朝阳区和平里西街甲2号（100029）北京市西城区三里河北街16号（100045）网址spc.net.cn
总编室：（010)68533533发行中心：（010)51780238读者服务部：（010）68523946
中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销
开本880×12301/16印张0.75字数12千字2017年7月第一版
2017年7月第一次印刷
书号：155066·1-57303定价16.00元
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