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GB∕T 36477-2018

基本信息

标准号: GB∕T 36477-2018

中文名称:半导体集成电路 快闪存储器测试方法

标准类别:国家标准(GB)

标准状态:现行

出版语种:简体中文

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相关标签: 半导体 集成电路 存储器 测试方法

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GB∕T 36477-2018 半导体集成电路 快闪存储器测试方法 GB∕T36477-2018 标准压缩包解压密码:www.bzxz.net

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标准内容

ICS31.200
中华人民共和国国家标准
GB/T36477—2018
半导体集成电路
快闪存储器测试方法
Semiconductor integrated circuit-Measuring methods for flash memory2018-06-07发布
国家市场监督管理总局
中国国家标准化管理委员会
2019-01-01实施
GB/T36477—2018
规范性引用文件
3术语和定义
一般要求
设备和条件
4.2电参数测试向量
5详细要求
输出高电平电压和输出低电平电压输人高电平电压和输入低电平电压输人高电平电流和输入低电平电流输出高电平电流和输出低电平电流输出高电阻状态电流
电源电流和漏电流
传输时间
建立时间和保持时间
延迟时间
有效时间(适用时)
存储器的特定时间
存储单元0变1功能
存储单元1变0功能
特殊数据图形功能
快闪存储器测试流程:
附录A(资料性附录)
本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草GB/T36477—2018
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由中华人民共和国工业和信息化部提出、本标准由全国半导体器件标准化技术委员会(SAC/TC78)归口。本标准起草单位:中国电子技术标准化研究院、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,上海复且微电子集团股份有限公司、深圳市中兴微电子技术有限公司、北京兆易创新科技股份有限公司、复且大学、中兴通讯股份有限公司。
本标准主要起草人:营端端、陈大为、钟明琛、罗晓羽、冯光涛、倪昊、赵子鉴、董艺、田万廷、高硕、闵昊、刘刚。
1范围
半导体集成电路
快闪存储器测试方法
GB/T36477—2018
本标准规定了半导体集成电路快闪存储器电参数、时间参数和存储单元功能测试的基本方法。本标准适用于半导体集成电路领域中快闪存储器电参数,时间参数和存储单元功能的测试2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T17574一1998半导体器件集成电路第2部分:数字集成电路3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。3.1
快闪存储器flashmemory
一种非易失存储器,具有电可擦除可编程的特性,主要特点是可以对大区块进行快速的读写。3.2
最坏情况条件worstcasecondition把电源电压、输人信号、负载在标称范围内的最不利条件同时加到被测快闪存储器上构成的。4一般要求
4.1设备和条件
快闪存储器的电特性测试不限定具体方式和设备,宜在自动测试系统上进行,具体包括但不限于测试机、探针台、高低温冲击设备和示波器。在电参数测试时,应制定测试向量,使快闪存储器处于所需的工作状态后才能开始测试,关于测试向量的一般性要求应符合4.2的规定,测试流程参见附录A。除另有规定外,快闪存储器测试应在环境气压为86kPa106kPa,相对湿度为35%~80%的范围内进行。测试温度应符合GB/T17574一1998第IV篇第1节2.1.2的规定测试不同参数时的最坏情况可能是不一样的,如果并非全部测试条件都取最不利的数值。则用“部分最坏情况条件”加以区别,并应同时指明与最坏情况的偏离。2电参数测试向量
所用向量应为功能测试证明正确的向量,且输出逻辑状态符合设计指标要求1
GB/T36477—2018
向量发生器应提供足够的向量数量和长度,保证被测快闪存储器能按功能表建立输入条件,并且在测试时输出逻辑状态不发生变化。向量发生器输出高电平电压的最小值应大于被测快闪存储器的输人高电平电压的最小值,低电平电压最大值应小于被测快闪存储器的输入低电平电压最大值。除非另有说明,向量发生器输出的上升时间和下降时间应小于被测快闪存储器的上开时间和下降时间,输出向量波形的上冲和下冲幅度应小于其高电平电压和低电平电压的算术平均值。端接电阻应符合规定向量采集器应保证提供足够的存储深度,能够采集到期望的逻辑状态。适用时,应施加最坏情况条件下的电源电压和输人信号电平。功能测试的向量包含以下内容,但是不限于这些内容:a)存储单元数据0到数据1写功能验证;b)存储单元数据1到数据0写功能验证;存储单元读出功能验证;
d)快闪存储器接口功能验证。
用于功耗测试的向量应满足快闪存储器不同状态的要求。在功耗测试时,应确保快闪存储器在整个过程中不脱离指定的状态或者应用5详细要求
输出高电平电压和输出低电平电压5.1.1直接测量法(静态法)
按GB/T17574—1998第IV篇第2节测试输出高电平电压Von和输出低电平电压VoL。宜先使用直接测量法(静态法)测试输出高电平电压和输出低电平电压。5.1.2比较验证法(动态法)
5.1.2.1目的
测试规定条件下的输出高电平电压和输出低电平电压。5.1.2.2
测试原理图
使用动态法测试输出高电平电压和输出低电平电压的原理如图1所示。2
引线和设备:
向量发生器;
双电平比较器;
向量采集器;
被测输入
其他输入端
被测电路
元件:
电压源输出的高电平比较阈值;电压源输出的低电平比较阔值
被测输出
参考点
动态负载。
图1动态法测试输出高电平电压和输出低电平电压的原理图测试条件
以下条件应在测试时明确给出并详细记录:环境温度或参考点温度;
测试向量和测试顺序;
电源电压;
输人电压;
输出电流;
电流方向。
5.1.2.4测试程序
GB/T36477—2018
将被测快闪存储器接到图1所示的电路中,电源电压和输人电压调整到最坏情况条件,并给双电平比较器的值电平施加规定的输出高电平和输出低电平电压值。温度调整到规定值,并在测试前后立即检查。向量发生器施加激励向量,向量采集器顺序采集输出逻辑并和期望的输出逻辑序列进行比较不断调整双电平比较器高电平的比较阈值,使其逐渐下降(或上升),当输出逻辑关系与期望逻辑序列相符时,最小和最大的高电平比较阈值即为输出高电平电压VoH的最小和最大值。同理可测试输出低电平电压VoL的最小和最大值。5.2输入高电平电压和输入低电平电压5.2.1直接测量法
5.2.1.1目的
测试输出电压为规定值时,输人端所施加的最小高电平电压和最大低电平电压。3
GB/T36477—2018
宜先使用直接测量法测量输人高电平电压和输人低电平电压5.2.1.2测试原理图
使用直接测试法测试输人高/低电平电压的原理如图2所示。电源
被测输入
被测电路
其他输入端
参考点
引线和设备:
向量发生器;
电压表:
电压源输出到被测输人引脚的电压:电压表测量到被测输出引脚的电压。被测输出
图2直接测试法测试输入高/低电平电压的原理图测试条件
以下条件应在测试时明确给出并详细记录:环境温度或参考点温度;
测试向量和测试顺序;
电源电压;
输入电压;
输出电压。
测试程序
将被测快闪存储器接到图2所示的电路中,电源电压和输入电压调整到规定值并给输出端施加适当的负载。
温度调整到规定值,并在测试前后立即检查。施加建立规定逻辑状态所需的激励向量。被测输人端输人电压V由电源电压值逐渐下降,使输出端电压V。为规定的电压值时,该输人电压最小值即为输入高电平电压ViH。被测输入端输入电压V由参考点电压值逐渐上升,使输出端电压V。为规定的电压值时,该输人电压最大值即为输入低电平电压VL。4
5.2.2间接验证法
5.2.2.1目的
GB/T36477—2018
测试输出电压为规定值时,输人端所施加的最小高电平电压和最大低电平电压。5.2.2.2
测试原理图
测试原理图如图2所示。
测试条件
以下条件应在测试时明确给出并详细记录:环境温度或参考点温度;
测试向量和测试顺序;
电源电压;
输入电压;
输出电压;
输出电流。
测试程序
将被测快闪存储器接到图2所示的电路中,电源电压调整到规定值,双电平比较器的高电平比较阀值和低电平比较阀值应施加最坏情况条件。温度调整到规定值,并在测试前后立即检查。向量发生器施加激励向量,向量采集器顺序采集输出逻辑并和期望逻辑序列进行比较不断调整被测输端电压,使输出逻辑关系与期望输出的逻辑序列相符,该输人电压值作为高电平时的最小值即为最小输人高电平电压VH,该值作为低电平时的最大值即为最大输人低电平电压ViL。
输入高电平电流和输入低电平电流5.3车
按GB/T17574—1998第IV篇第2节测试输入高电平电流I和输人低电平电流Im。5.4输出高电平电流和输出低电平电流5.4.1目的
输人端施加规定的条件,测试输出为高电平时流出快闪存储器的电流,以及输出端为低电平时流人快闪存储器的电流
5.4.2测试原理图
各输出端应分别测试,非被测输出端应开路。输出高/低电平电流测试的原理如图3所示。5
GB/T36477—2018
引线和设备:
向量发生器;
电流表;
被测输入
其他输入端
电流表测到被测输出引脚的电流被测输出引脚的电压。
被测电路
参考点
被测输出
图3输出高/低电平电流测试原理图5.4.3测试条件
以下条件应在测试时明确给出并详细记录:环境温度或参考点温度;
测试向量和测试顺序;
电源电压;
输入电压;
被测输出端施加的电压。
5.4.4测试程序
将被测快闪存储器接到图3所示的电路中,电源电压和输入电压调整到规定值并给输出端施加适当的负载
温度调整到规定值,并在测试前后立即检查。适用时,根据输出高/低电平电流施加建立规定逻辑状态所需的激励向量。被测输出端施加规定的电压值,其余输出端开路。在被测输出端测得输出高电平电流IoH或输出低电流IoL。5.5输出高电阻状态电流
按GB/T17574—1998第IV篇第2节测试输出高阻态电流Ioz。5.6电源电流和漏电流
分别测试快闪存储器在读、写、擦除操作下的电源电流,以及待机状态下的漏电流。按GB/T17574-1998第IV篇第2节测试静态条件下的电源电流和漏电流,按GB/T17574一1998第IV篇第3节测试动态条件下的电源电流。6
5.7传输时间
5.7.1直接测量法
按GB/T17574一1998第IV篇第3节4.1.2测试传输时间。宜优先使用直接测量法测量传输时间。GB/T36477—2018
读出数据传输时间的测试应覆盖数据位从“0\变到“1”以及从“1”变到“0”的过程,并以最差情况作为最终测试结果。
5.7.2扫描验证法
5.7.2.1目的
在规定输入驱动条件和输出负载条件的情况下,验证快闪存储器输出状态由规定的高电平变化到规定的低电平或由规定的低电平变化到规定的高电平时的传输时间。测试原理图
输出负载网络建议由无源线性元件所组成如图4所示,负载电容应包括试验夹具和测试仪器的所有杂散电容,但不包括被测快闪存储器的寄生电容。采样比较器的阻抗应高于被测快闪存储器的输人和输出阻抗,可以用等效的具有采样比较功能的设备来替代,采样比较器的采样时间点的精度应优于被测量值的1/10。当连接线的长度可能引起电感效应时,应给出其详细的布线结构。元件:
电阻器;
电容器。
图4建议负载形式
测试条件
以下条件应在测试时明确给出并详细记录:环境温度或参考点温度。
电源电压。
输出负载网络的结构和元器件值,包括杂散电容。输入向量条件:
·高/低电压电平值;
·宽度;
·上升时间;
·下降时间;
·重复频率;
GB/T36477—2018
端接电阻。
传输时间。
其他端的条件。
5.7.2.4测试程序
将被测快闪存储器接到图5所示电路中,电源和输入电压调整到规定值并给输出端施加适当的负载。
温度调整到规定值,并在测试前后立即检查。向量发生器施加建立规定逻辑状态所需的激励向量,使被测输出端输出期望的电平转换状态,记录输人波形驱动沿的激励时刻t和输出端最靠近被测转换沿的采样比较沿的采样时刻t2。将采样时刻t?的比较电平设置为V,采样时刻逐步向转换沿靠近进行采样比较,在保持功能正确和采样比较结果正确的情况下,采样比较沿所能移动到离电平转换沿最近的采样时刻为t3。t:滞后t,的时间即为传输时间,如图6所示也可以按照相关规定中的参数条件,设定采样时刻并在规定的时刻采样,验证功能是否正确,如正确则认为该参数满足要求。这种判别方法不需要得到相关参数的实际值,仅用于判断快闪存储器的参数是否满足规定的要求
被测电路
设备:
向量发生器。
输出负载电路
采样比较
图5扫描验证法测试原理
a (rs)
电平和时间参数
t2(tg)
比较电平;
波形驱动沿(点):
采样比较沿(点)。此内容来自标准下载网
图6传输时间测试原理
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