HG/T 4559-2013.Ultra-clean and high-purity sulfuric acid.
1范围
HG/T 4559规定了超净高纯硫酸的要求,试验方法,检验规则及标志、包装、运输和贮存。
HG/T 4559适用于由工业硫酸或三氧化硫制得的超净高纯硫酸。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 190危险货物包装标志
GB/T 601 化学试剂标准滴定溶液的制备
GB/T 602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备
GB/T 603化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备
GB/T 605化学试剂色度测定通用方法
GB/T 8170数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T 9727化学试剂磷酸盐测定通用方法
GB/T 11446.1电子级水
GB 15346化学试剂包装及标志
GB 50073洁净厂房设计规范
HG/T 3921化学试剂采样及验收规则
3要求
3.1外观
超净高纯硫酸应为无肉眼可见杂质的无色透明液体。
3.2 规格
超净高纯硫酸按纯度分为EL级、VL级、UL级、SL级和XL级共5个等级,其产品质量应符合表1的要求。
4试验方法
4.1一般规定
本标准所用试剂在没有注明其他要求时均指优级纯试剂,所用水为GB/T11446.1规定的EW-I级电子级水。试验中所用标准滴定溶液、标准溶液、制剂及制品,在没有注明其他要求时，均按GB/T601、GB/T 602、GB/T 603的规定配制。
4.2外观的测定
量取50mL试样,注人50mL比色管中,沿比色管直径对光观察,与同体积水比较,应透明无肉眼可见杂质。
4.3硫酸质量分数的测定
4.3.1 原理
以甲基红为指示剂,用氢氧化钠标准滴定溶液中和滴定,测得硫酸的质量分数。
4.3.2试剂
4.3.2.1氢氧化钠标准滴定溶液:c(NaOH)= 1.0 mol/L。
4.3.2.2甲基红指示液。
4.3.3分析步骤
称取1.5g(约0.8 mL)试样,精确到0. 0001g,注入盛有50mL水的250mL具塞轻体锥形瓶中，冷却至室温。向试液中加人2滴~3滴甲基红指示液(4.3. 2. 2),用氢氧化钠标准滴定溶液(4.3.2.1)滴定至溶液呈黄色为终点。

ICS71.060.30
备号：41883—2013
中华人民共和国化工行业标准
HG/T4559—2013
超净高纯硫酸
Ultra-clean and high-purity suifuric acid2013-10-17发布
2014-03-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
本标准按照GB/T1.1--2009给出的规则起草。本标准由中国石油和化学工业联合会提出HG/T4559—2013
本标准由全国化学标准化技术委员会硫和硫酸分技术委员会（SAC/TC63/SC7）归口。本标准起草单位：南化集团研究院、浙江吉华集团股份有限公司、江阴江化微电子材料股份有限公司、江阴润玛电子材料股份有限公司、江阴市化学试剂厂有限公司、天津渤大硫酸工业有限公司、江苏省产品质量监督检验研究院，
本标准主要起草人：冯俊婷、邱爱玲、顾林建、股福华、何珂、李虎宝、刘强、王伟.徐萍。超净高纯硫酸
HG/T4559—2013
警告：本标准中使用的部分试剂具有毒性或腐蚀性，部分操作具有危险性。本标准并未揭示所有可能的安全问题，使用者应严格按照有关规定正确使用，并有责任采取适当的安全和健康措施。1范围
本标准规定了超净高纯硫酸的要求，试验方法，检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于由工业硫酸或三氧化硫制得的超净高纯硫酸。2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。GB190
危险货物包装标志
化学试剂标准滴定溶液的制备
GB/T601
GB/T602
GB/T603
化学试剂杂质测定用标准溶液的制备化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备色度测定通用方法
GB/T605
化学试剂
GB/T8170
GB/T9727
数值修约规则与极限数值的表示和判定化学试剂磷酸盐测定通用方法
GB/T11446.1电子级水
GB15346
化学试剂包装及标志
3洁净厂房设计规范
GB50073
HG/T3921化学试剂采样及验收规则3要求
3.1外观
超净高纯硫酸应为无肉眼可见杂质的无色透明液体。3.2规格
超净高纯硫酸按纯度分为EL级、VL级、UL级、SL级和XL级共5个等级，其产品质量应符合表1的要求。
iiKAoNiKAca
HG/T4559—2013
硫酸(HzSO）w/%
色度/黑曾
颗粒≥1.0μm/（个/mL）
颗粒≥0.5μm/（个/mL）
颗粒≥0.3μm/（个/mL）
颗粒≥0.2μm/（个/mL）
氯鼠化物（Cl)w/（mg/kg）
硝酸盐（NO）w/（mg/kg）
磷酸盐（PO-）/（mg/kg）免费标准bzxz.net
铵盐（NH+）w/（mg/kg）
还原高锰酸钾物质（以SO.计）w/(rmg/kg）≤铝（Al)w/(μg/kg)
神(As)w/(μg/kg)
钡（Ba)w/(μg/kg)
硼(B)w/（μg/kg)
铺(Cd)w/(μg/kg)
钙(Ca)w/(μg/kg）
铬(Cr)w/(μg/kg)
钻(Co)w/(μg/kg)
铜（Cu）w/(μg/kg)
金（Au)w/(μg/kg)
铁(Fe)w/(μg/kg)
铅（Pb）w/（μg/kg)
锂(Li)w/(μg/kg)
镁（Mg)w/(μg/kg)
锰（Mn)w/(μg/kg)
镍（Ni)w/(μg/kg)
钾(K)w/(μg/kg)
银（Ag）w/（μtg/kg）
销（Na)）w/（μg/kg）
铠（TI)w/（μg/kg)
锡（Sn）w/（μg/kg）
钛(Ti)u/(μg/kg)
钒(V)w/(μg/kg)
锌（Zn）w/(μg/kg）
铂（(Pt)/(μg/kg)
梯（Sb）w/(μg/kg）
注：指标中的*
95.0~98.0
\表示该类别产品的技术要求中没有此项目。指
95.0~98.0
95.0~~98.0
95.0~98.0
HiiKAoNiKAca
4试验方法
4.1一般规定
HG/T4559—2013
本标准所用试剂在没有注明其他要求时均指优级纯试剂，所用水为GB/T11446.1规定的EW-I级电子级水。试验中所用标准滴定溶液、标准溶液、制剂及制品，在没有注明其他要求时，均按GB/T601、GB/T602,GB/T603的规定配制。4.2外观的测定
量取50mL试样，注人50mL比色管中，沿比色管直径对光观察，与同体积水比较，应透明无肉眼可见杂质。
4.3硫酸质量分数的测定
4.3.1原理
以甲基红为指示剂，用氢氧化钠标准滴定溶液中和滴定，测得硫酸的质量分数。4.3.2试剂
4.3.2.1氢氧化钠标准滴定溶液：c(NaOH)=1.0mol/L。4.3.2.2甲基红指示液。
4.3.3分析步骤
称取1.5g（约0.8mL）试样，精确到0.0001g，注人盛有50mL水的250mL具塞轻体锥形瓶中，冷却至室温。向试液中加人2滴～3滴甲基红指示液（4.3.2.2），用氢氧化钠标准滴定溶液（4.3.2.1）滴定至溶液呈黄色为终点。
4.3.4结果计算
硫酸（H2SO4）的质量分数W1，按公式(1)计算：VeM
式中：
V.—一滴定时耗用氢氧化钠标准滴定溶液（4.3.2.1)体积的数值，单位为毫升（mL）；c—一氢氧化钠标准滴定溶液浓度的准确数值，单位为摩尔每升（mol/L);M—-硫酸摩尔质量的数值，单位为克每摩尔（g/mol)（M=98.08）；m—--试料质量的数值，单位为克（g）。.. (1)
取平行测定结果的算术平均值为测定结果，两次平行测定结果的绝对差值应不大于0.20%。4.4色度的测定
量取50mL试样，注人50mL比色管中，在白色背景下，沿比色管轴线方向观察，样品颜色不得深于GB/T605规定的色度标准10黑曾单位。4.5颗粒的测定
4.5.1原理
液体样品通过激光通道时，试样中粒子就会造成光束的散射，散射的光转化为电脉冲，电脉冲在振幅上与光量成正比，也与粒子的尺寸成正比。4.5.2仪器
激光液体颗粒计数仪：检测范围为0.2m~1.0μm。4.5.3环境条件
实验室的空气洁净度等级应不低于GB50073中规定的2级。4.5.4分析步骤
根据仪器和分析要求选择仪器工作条件，按照仪器操作规程设定仪器清洗程序和测定程序。根据分析要求进行通道设置：0.2μm.0.3μm.0.5um或1.0μm。3
HiiKAoNiKAca
HG/T4559—2013
待测试样的温度应与室温相同。将待测试样放在工作台上静置不少于5min后进行颗粒测定，同时记录测量结果。
4.6氯化物质量分数的测定
4.6.1原理
在硝酸介质中，氯离子与银离子生成难溶的氯化银。当氯离子含量较低时，在一定时间内氯化银呈悬浮体使溶液浑浊，不同浓度的氯化银悬浮体所呈的浊度不同，由此可用目视比浊法测定试液中氯化物的质量。
4.6.2试剂
4.6.2.1硝酸溶液：25%。
4.6.2.2硝酸银溶液：17g/L。
4.6.2.3氧化物（以Cl-计）标准溶液：0.1mg/mL。4.6.2.4氯化物（以Cl-计)标准溶液：0.01mg/mL量取10.00mL氯化物标准溶液（4.6.2.3）置于100mL容量瓶中，用水稀释至刻度，摇匀。此溶液使用时现配。
4.6.3分析步骤
量取27.2mL（50g）试样，注人20mL水中，稀释至50mL，冷却至室温，加4mL硝酸溶液（4.6.2.1）和1mL硝酸银溶液（4.6.2.2），摇匀，放置10min，溶液所呈浊度不得大于标准比浊溶液。标准比浊溶液的制备是取下列数量的氧化物标准溶液（4.6.2.4)：EL级.....
VL级、UL级
SL级，XL级
.....1.0mL.
.0.25mL.
稀释至50mL，与同体积试样溶液同时、同样处理。4.7硝酸盐质量分数的测定
4.7.1原理
硝酸根对靛蓝二磺酸钠的氧化作用使靛蓝二磺酸钠发生褪色反应，而且褪色程度与硝酸根含量呈线性关系。
4.7.2试剂
4.7.2.1氯化钠溶液：100g/L。
4.7.2.2靛蓝二磺酸钠溶液：0.001mol/L。4.7.2.3无硝酸盐的硫酸：将优级纯硫酸按1+1的比例用水稀释后，加热蒸发至冒强烈的硫酸蒸气，冷却。重复处理一次。
4.7.2.4硝酸盐（NO）标准溶液：0.1mg/mL。4.7.2.5硝酸盐（NO）标准溶液：0.01mg/mL量取10.00mL硝酸盐标准溶液（4.7.2.4)置于100mL容量瓶中，用水稀释至刻度，摇勾。此溶液使用时现配。
4.7.3分析步骤
量取15mL水，加人1mL氯化钠溶液（4.7.2.1）、1mL靛蓝二磺酸钠溶液（4.7.2.2），摇匀，在摇动下加人27.2mL(50g）样品，冷却，所呈蓝色不得浅于标准比对溶液。标准比对溶液的制备是取下列数量的硝酸盐标准落液（4.7.2.5）：EL级、VL级、UL级
SL级.XL级..
....1.0mL.
.... 0.5mL.
用水稀释至约15mL.再加入1mL氧化钠溶液，1mL靛蓝二磺酸钠溶液，在摇动下加人27.2mL无硝酸盐的硫酸（4.7.2.3）。
-iiKAoNi KAca
4.8磷酸盐质量分数的测定
4.8.1原理
HG/T4559—2013
在浓度c(HNOs）为0.4mol/L～1.4mol/L的硝酸溶液中，正磷酸能定量与钼酸铵作用，生成磷钼杂多酸（磷钼黄），磷钼黄可被乙酸丁酯从1.0mol/L~1.4mol/L的硝酸溶液中定量萃取，从而与干扰化合物砷酸盐及过量试剂钼酸铵分离。加人氯化亚锡-抗坏血酸溶液，将磷钼黄还原为磷铝蓝。根据磷钼蓝颜色的深浅，可用目视比色法测定磷酸盐含量。4.8.2试剂
4.8.2.1乙酸丁酯。
4.8.2.2无水乙醇。
4.8.2.3盐酸溶液：20%。
4.8.2.4盐酸溶液：5%。
硝酸溶液：13%。
4.8.2.6钼酸铵溶液：100g/L
4.8.2.7氯化亚锡-抗坏血酸溶液。4.8.2.8磷酸盐（PO-）标准溶液：0.1mg/mL。4.8.2.9磷酸盐（PO3-）标准溶液：0.01mg/mL。量取10.00mL硝酸盐标准溶液（4.8.2.8）置于100mL容量瓶中，用水稀释至刻度，摇匀。此落液使用时现配。
4.8.3分析步骤
量取5.5mL(10g）试样，注人石英血中，置于低温电炉上加热至硫酸蒸气逸尽，加5mL水及2mL盐酸溶液（4.8.2.3）溶解残渣，蒸干，用10mL水分次溶解残渣，移至50mL分液漏斗中。后续操作按照GB/T9727中“加10mL硝酸溶液（13%）.有机相所呈蓝色与标准比色溶液比较”的规定进行。溶液所呈蓝色不得深于标准比对溶液。标准比对溶液的制备是取下列数量的磷酸盐标准溶液（4.8.2.9）：EL级、VL级、UL级
SL级.XL级......
稀释至10mL与同体积试液同时，同样处理4.9铵盐质量分数的测定
4.9.1原理
..0.1ml.
以游离的氨或铵离子等形式存在的铵氮与纳氏试剂反应生成黄棕色络合物，该络合物的色度与铵氮的含量成正比，可用目视比色法测定。4.9.2试剂
4.9.2.1无氨的水。
4.9.2.2无氨的氢氧化钠溶液：320g/L。4.9.2.3硫酸溶液：0.5%。
4.9.2.4纳氏试剂。
4.9.2.5铵（NH+）标准溶液：0.1mg/mL。4.9.2.6
铵（NH）标准溶液：0.01mg/mL
量取10.00mL铵标准溶液（4.9.2.5）置于100ml容量瓶中，用水稀释至刻度，摇勾。此溶液使用时现配。
4.9.3分析步骤
量取5.5mL（10g）试样，注人盛有15mL无氨的水的支管蒸馏瓶中，用无氨的氢氧化钠溶液(4.9.2.2）调节试液pH值为6~7（约24mL），用水稀释至约140mL。沿壁加人5mL无氨的氢氧化钠HiiKAoNiKAca
HG/T4559—2013
溶液，加热蒸馏出75mL，用盛有5mL硫酸溶液（4.9.2.3）的100mL比色管接收。向比色管中加人3mL无氨的氢氧化钠溶液及2mL纳氏试剂（4.9.2.4），用水稀释至100mL，摇匀，所呈黄色不得深于标准比对溶液。
标准比对溶液的制备是取下列数量的铵标准溶液（4.9.2.6)：EL级.VL级.UL级....
SL级.XL级.
...0.5mL.
用水稀释至约140mL，与同体积试样溶液同时、同样处理。4.10还原高锰酸钾物质质量分数的测定4.10.1试剂
高锰酸钾标准滴定溶液：C
4.10.2分析步骤
KMnO)=0.01mol/L.
量取35.0mL(64g）试样，缓缓注人90mL水中，冷却至25℃，加人下列数量的高锰酸钾标准滴定落液，摇勾，5min内粉红色不得消失。EL级.VL.级
UL级.SL级.
..0.4mL
..0.2mL.
4.11铝、砷、钡、硼、镉、钙、铬、钴、铜、金、铁、铅、锂、镁、缸、镍、钾、银、钠、、锅、钛、钢、锌、铂和梯质量分数的测定
4.11.1通则
所有器血均要用（5十95）硝酸溶液浸泡12h以上，然后用超纯水反复冲洗干净后使用。所用容量瓶、样品瓶和样品管应为全氟烷氧基树脂（PFA)或全氟乙烯丙烯共聚物（FEP)材质。4.11.2原理
电感耦合等离子体质谱仪由高子源和质谱仪两个主要部分构成。试样溶液经过雾化由载气送人等离子体炬焰中，经过蒸发、解离、原子化和电离等过程，转化为带正电荷的正离子，经离子采集系统进人质谱仪，质谱仪根据质荷比进行分离。对于一定的质荷比，质谱积分面积与进人质谱仪中的离子数成正比，即试样的浓度与质谱的积分面积成正比，通过测量质谱的峰面积来测定试样中元素的浓度。4.11.3试剂
4.11.3.1硫酸溶液：10%，使用金属离子含量不大于1μg/L的超纯硫酸配制。量取5.5mL(10g）硫酸，缓缓注人90g水中，混勾，冷却至室温。4.11.3.2硝酸溶液：1+99，使用金属离子含量不大于1μg/L的超纯硝酸配制。4.11.3.3多元素标准储备液：100g/mL，或选用其他浓度持证混合标准溶液或单标溶液。4.11.3.4多元素标准工作液：1μg/mL。用硝酸溶液（4.11.3.2)将多元素标准储备液（4.11.3.3）准确稀释至一定体积而得。4.11.4仪器
4.11.4.1精密取样枪：量程分别为100μL，1mL.5mL4.11.4.2电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS)。4.11.5环境条件
进行溶液配制及样品处理的实验室空气洁净度等级应不低于GB50073中规定的2级，操作电感耦合等离子体质谱仪的实验室空气洁净度等级应不低于GB50073中规定的4级。4.11.6分析步骤
4.11.6.1试液的制备
根据不同仪器的性能要求，选择下述方法制备试液：HiiKAoNiKAca
HG/T4559—2013
a）称取5g试样，精确到0.01g，缓缓注入盛有少量超纯水的25mL容量瓶中，用水稀释至刻度，摇勾：
b）称取15g试样，精确到0.01g，置于洁净的石英血中，在加热板上缓慢蒸发至干，同时避免液体飞溅带来损失。用5mL硝酸溶液（4.11.3.2）溶解残渣，放在电热板上低温加热数分钟。冷却至室温后，将溶液转移到样品瓶中，用硝酸溶液稀释至15mL，摇匀。4.11.6.2工作曲线的绘制
标准溶液系列的配制应根据试液制备方法的不同选择下面的一种方法：a）取四只100mL容量瓶+分别加人多元素标准工作液（4.11.3.4）0mL0.10mL0.50mL1.00mL，用硫酸溶液（4.11.3.1）稀释至刻度，摇匀；b）取四只100mL容量瓶，分别加入多元素标准溶液（4.11.3.4）0mL、0.10mL、0.50mL、1.00mL，用硝酸落液(4.11.3.2)稀释至刻度，摇匀。注：也可根据超净高纯硫酸中杂质的实际含量调整工作曲线的线性范围，但配制的溶液中各元的最高浓度不宜超过10μg/L。
按照仪器操作规程，调整仪器的各项指标达到测定要求后，翰人各参数，测定上述标准系列溶液中各元素的信号强度，绘制工作曲线，计算回归方程。4.11.6.3测定
在与标准落液系列同样的分析条件下测定试中各元素的信号强度。同时进行空白试验，依据仪器说明书的操作要求扣除空白。4.11.7结果计算
根据标准溶液系列和试液中各元素的信号强度值，由计算机计算并输出试液中各元素的质量分数(μg/kg)
取平行测定结果的算术平均值为测定结果。待测元素的质量分数>1g/kg时，两次平行测定结果的相对偏差应不大于30%：待测元素的质量分数为0.01μg/kg～1μg/kg时，平行测定结果的相对偏差应不大于50%。
5检验规则
5.1超净高纯硫酸应由生产企业的质量监督检验部门负责按批检验，生产厂应保证每批出厂的产品符合本标准的要求。每批出厂的产品都应附有质量证明书或产品合格证，内容包括：生产企业名称，地址，产品名称，产品等级，生产日期或批号，本标准编号等。5.2产品按批检验，以同一条产品生产线、同一原料、同一工艺生产的产品视为一批，最大批量不超过30t。按照HG/T3921的规定进行采样，其中取样总量不得少于500mL；留样时间应不少于1年。5.3检验结果按GB/T8170中规定的修约值比较法判定是否符合本标准。若检验结果有一项指标不符合本标准的要求，应从同一批产品中加倍采样，重复检验全部项目。如复验结果有一项不符合本标准的要求，则整批产品为不合格。5.4使用单位有权按照本标准的规定对收到的超净高纯硫酸进行验收，核准其质量是否符合本标准的要求。当供需双方对产品质量发生异议时，可协商解决或委请有资质的第三方检验机构进行仲裁检验。6标志、包装、运输和贮存
6.1超净高纯硫酸产品的包装容器上应有清晰的符合GB190规定的“腐蚀性物质”标志。6.2按GB15346的规定对超净高纯硫酸产品进行包装，包装材质可为高密度聚乙烯（HDPE）或其他不会对超净高纯硫酸产生二次污染的材料：也可按用户要求包装。6.3严格遵守国家有关消防、危险品的安全条例。超净高纯硫酸在运输过程中应加遮篷，不得与易燃7
iiiKAoNiKAca
HG/T4559—2013
和可燃物、还原剂、碱类、金属粉末等混装，远离热源，不与明火接近。6.4产品应贮存于阴凉、干燥、通风处，保质期为一年。BZ002103066
中华人民共和国
化工行业标准
超净高纯硫酸
HG/T45592013
出版发行：化学工业出版社
（北京市东城区青年潮南街13号邮政编码100011)
化学工业出版社印尉厂
880mm×1230mm1/16印张头
字数18千字
2014年2月北京第1版第1次印刷
书号：155025+1649
购书咨询：010-64518888
售后服务：010-64518899
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