JB/T 6922-1993真空蒸发镀膜设备

中华人民共和国机械行业标准
真空蒸发镀膜设备
JB/T6922-93
1993-07-13 发布
1994-07-01 实施

1 主题内容与适用范围
本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型式与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存要求。本标准适用于极限压力在7×10⁻³～7×10⁻⁵ Pa范围的真空蒸发镀膜设备（以下简称设备）。

2 引用标准
GB191
GB6070
GB/T13306 包装储运图示标志
真空法兰标准
JB1090～1092 真空用橡胶密封圈型式及尺寸
ZBJ78019 型式与基本参数

3 型式与基本参数
3.1 结构形式
设备主要由镀膜室、真空机组、保护装置及电气控制装置组成，型号应符合 ZBJ78019 的规定。

3.2 基本参数
设备的基本参数应符合表1规定：
表1 主要参数
极限压力(Pa)：≤7×10⁻⁴ ～ ≤7×10⁻³
抽气时间(min)：≤20～30
升压率(Pa/min)：2×10⁻³～5×10⁻²
镀膜室直径(mm)：320, 400, 500, 630, 800, 1000, 1250, 1600, 2000
工件烘烤装置烘烤温度调节范围(℃)：0～200, 0～300, 0～350, 0～400
有效加热区加热均匀度(%)：≤5

4 技术要求
4.1 工作环境条件
温度：10～30℃；相对湿度不大于80%；冷却水出水温度不高于35℃；冷却循环用水采用城市自来水或等质量水；室内环境应整洁，空气中不应含有易引起电器短路或金属件腐蚀的尘埃或气体。

4.2 结构要求
设备结构布局合理、美观，操作及维修方便。静、动密封结构及尺寸应符合 GB6070 和 JB1090～1092 的规定。在低真空和高真空管道及镀膜室上应装设真空规管以测量各部位真空度。扩散泵为主泵时，应在其进气口装设冷阱。镀膜室应设观察窗，带工件烘烤装置应配备测温装置，工件架旋转机构转速应符合产品说明书。带离子轰击或宽束低能离子源装置的设备应在规定参数下稳定工作≥30min。采用钨丝加热器的设备应确保蒸镀材料正常蒸发，加热器几何变化不得影响蒸发。低压大电流电阻蒸发器应在电压4～20V、电流50～130A状态下正常工作。

4.3 制造要求
设备零部件机械加工及焊接、装配质量应符合制造厂技术文件规定。镀膜室内表面及密封面粗糙度 Rₐ ≤3.2 μm，真空状态表面应进行清洁并干燥。各转动件、升降机构动作应灵活，无卡滞、松动及异常声响，需润滑处应充满真空油脂。主要材料应符合相关材料标准。配套电气装置应符合技术文件要求，保证运行安全可靠，电气线路排布整齐清晰，绝缘电阻应符合表2规定。
表2 电气绝缘要求
电压(kV)：<0.5, 0.5～<1, 1～3, 3～<10
绝缘电阻(MΩ)：>2, ≥2.5, ≥3.5, >6
外观要求：无尖角、棱角、凸起或粗糙不平表面，零部件结合面整齐，金属零件镀层牢固，无脱落、生锈，紧固件有防锈层，涂漆表面光洁、美观、牢固。

4.4 安全防护要求
关键部位水冷系统应有断水或水压不足报警，并与电源、真空系统、传动系统联锁保护，动作灵敏可靠。装设电磁或气动阀门的设备，镀膜室充气阀与高真空阀及预抽阀应保持联锁，停电时阀门自动关闭。设备及附属电气装置均应有接地装置，接地处应有明显标记。