ICS 81.040 Q35 YS 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T1164-2016 硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 Test method for the content of impurities in high purity quartz used for silicon material Inductively coupled plasma atomic emission spectrometry method 2016-07-11发布 中华人民共和国工业和信息化部 2017-01-01实施 前言 本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归口。本标准起草单位：亚洲硅业（青海）有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、新特能源股份有限公司。本标准主要起草人：王体虎、魏东亮、蔡延国、宗冰、季静佳、陈英、张云晖、张园园、邱艳梅。 1 范围 本标准规定了多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定方法。 本标准适用于多晶硅用高纯石英制品中上述元素含量的测定，测定范围见表1。 表1 测定范围（μg/g） 铝 1.00～50.00 钙 1.00～50.00 钾 0.10～50.00 钠 1.00～50.00 铜 0.10～5.00 镁 1.00～5.00 磷 0.10～10.00 砷 0.10～10.00 锌 0.10～10.00 镍 0.10～10.00 硼 0.10～10.00 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有修改单）适用于本文件。 GB/T6682-2008 分析实验室用水规格和试验方法 GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 3 方法提要 称取一定量试样，用氢氟酸溶解，使二氧化硅转化为四氟化硅除去，残渣用盐酸溶解。试样溶液引入电感耦合等离子体原子发射光谱仪，在选定条件下测定各元素含量。 4 试剂 4.1 实验用水应符合GB/T6682-2008一级水要求。 4.2 氢氟酸（ρ≈1.14g/mL），杂质元素含量低于100ng/L。 4.3 盐酸（ρ≈1.12g/mL），杂质元素含量低于100ng/L。 4.4 盐酸（1+1）。 4.5 单元素标准贮存溶液（1000μg/mL）。 4.6 混合标准溶液：由铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼标准溶液配制，各元素浓度为10μg/mL。 5 仪器与设备 5.1 电感耦合等离子体原子发射光谱仪。 5.2 电子天平（感量0.1mg）。 5.3 烘箱（105℃～110℃）。 5.4 振动磨样机。 5.5 电加热板（150℃）。 5.6 聚四氟乙烯（PTFE）烧杯（50mL）。 5.7 全氟烷氧基树脂（PFA）容量瓶。 6 干扰因素 6.1 使用铬钢料钵时需检查是否光洁，有无麻点，如有应更换。 6.2 用少量样品研磨2～3次清洗料钵，避免污染。 7 试样