ICS 23.160 J78 备案号：53529—2016 中华人民共和国机械行业标准 JB/T 12585—2016 真空技术 磁悬浮分子泵 Vacuum technology — Magnetic levitated turbomolecular pump 2016-01-15 发布 2016-06-01 实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 —— 前言 本标准按照 GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 起草单位：北京中科科仪股份有限公司、合肥智海光电技术有限公司、川北真空科技（北京）有限公司、东莞劲胜精密组件股份有限公司、沈阳真空技术研究所。 主要起草人：朱国精、邹蒙、李奇志、刘磊、胡眉、张晨光、陈林、张智明、郑荣禧、王长明、王玲玲。 本标准为首次发布。 —— 1 范围 本标准规定了磁悬浮分子泵的术语和定义、型式与基本参数、技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于具有前级泵的磁悬浮分子泵（以下简称磁浮泵）。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。 凡是注日期的引用文件，仅注日期版本适用；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有修改单）适用。 （包括GB/T191、GB/T2829、GB4793.1、GB/T4982、GB5226.1、GB/T6071、GB/T7774—2007、GB/T21271等相关标准） 3 术语和定义 GB/T 7774—2007界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 体积流率（volume flow rate，qy） 在理想条件下，单位时间从测试罩流过分子泵入口的气体体积。 注：体积流率单位为 m³/s 或 L/s，也可用“抽速 S”表示。 3.2 最低工作压力（minimum operational pressure，P0） 烘烤过程结束后48h测试罩中获得的压力。 3.3 压缩比（compression ratio，Keff） 磁浮泵出口压力 P2 与入口压力 P1 之比：Keff = P2 / P1。 3.4 启动时间（starting time，t） 从接通电源开始到磁浮泵转速达到额定转速90%所需的时间。 3.5 极限压力（ultimate pressure） 测试罩中逐渐趋近的最低压力值。 3.6 临界前级压力（critical backing pressure，Pe） 当泵能保持压缩比 P2/P1 ≥ 2 且吹扫气体保持流通时的最高前级压力。 3.7 最高工作压力（maximum working pressure，Pimax） 泵和驱动装置不发生损坏条件下可承受的入口最高压力。 3.8 最大流量（maximum throughput，Qmax） 分子泵能连续抽气而不损伤或毁坏的最高气体负荷，单位为 Pa·L/s。 —— 4 型式与基本参数 4.1 型号表示方法 4.2 基本参数（见表1） —— 5 技术要求 （略） —— 6 测试方法 6.1 最低工作压力测试 6.2 压缩比测试 6.3 体积流率测试 6.4 启动时间测试 6.5 振动测试 6.6 噪声测试 6.7 转速测试 —— 7 检验规则 7.1 一般要求 7.2 检验要求 —— 8 标志、包装、运输和贮存 —— （标准说明） 本标准规定磁悬浮分子泵的性能参数定义及测试方法，包括体积流率、压缩比、启动时间、极限压力等关键指标的测量与评价方法，为真空系统设备的设计、制造与检测提供统一技术依据。