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JB/T 2965-1992

基本信息

标准号: JB/T 2965-1992

中文名称:溅射离子泵 性能测试方法

标准类别:机械行业标准(JB)

标准状态:现行

发布日期:1992-01-01

实施日期:1992-01-01

出版语种:简体中文

下载格式:.rar.pdf

下载大小:162202

标准分类号

中标分类号:机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备

关联标准

替代情况:JB 2965-81

出版信息

页数:6 页

标准价格:12.0 元

相关单位信息

归口单位:沈阳真空技术研究所

发布部门:沈阳真空技术研究所

标准简介

本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。 本标准适用于抽速大于10Ls(-1)的离子泵。 JB/T 2965-1992 溅射离子泵 性能测试方法 JB/T2965-1992 标准下载解压密码:www.bzxz.net

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