基本信息

标准号： JB/T 4081-1991

中文名称：溅射离子泵 型式与基本参数

标准类别：机械行业标准(JB)

标准状态：现行

发布日期：1991-07-22

实施日期：1992-07-01

出版语种：简体中文

下载格式：.rar.pdf

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相关标签： 溅射 离子 基本参数

标准分类号

中标分类号：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备

关联标准

替代情况：JB 4081-85

出版信息

出版社：机械工业出版社

页数：2 页

标准价格：8.0 元

出版日期：1992-07-01

相关单位信息

起草人：冯玉国

起草单位：机械电子工业部沈阳真空技术研究所

归口单位：全国真空技术标准化技术委员会

提出单位：全国真空技术标准化技术委员会

发布部门：国家机械工业局

标准简介