JB/T 7463-2005
基本信息
标准号:
JB/T 7463-2005
中文名称:热阴极电离真空计
标准类别:机械行业标准(JB)
标准状态:现行
发布日期:2005-05-24
实施日期:2005-11-01
出版语种:简体中文
下载格式:.rar.pdf
下载大小:328900
标准分类号
标准ICS号:流体系统和通用件>>23.160真空技术
中标分类号:仪器、仪表>>实验室仪器与真空仪器>>N68真空检测仪表与装置
出版信息
出版社:机械工业出版社
页数:12 页
标准价格:16.0 元
相关单位信息
起草人:徐自勇、张雅静、王砚龄等
起草单位:沈阳真空技术所
归口单位:全国真空技术标委会
提出单位:中国机械工业联合会
发布部门:中华人民共和国国家发展和改革委员会
标准简介
本标准规定了热阴极电离真空计的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存等技术内容。 JB/T 7463-2005 热阴极电离真空计 JB/T7463-2005 标准下载解压密码:www.bzxz.net
标准内容
TCN23.iB0
中华人民共和国机械行业标准
IBT74632005免费标准下载网bzxz
代替B/7463—1994
热阴极电离真空计
Hotcathodeionizationgauge
2005-05-18发布
2005-11-01实施
中华人民共和国国家发展和改革委员会发布言
规范性引用文件
术语和定文
技术要..
工作环境
比参数的示快误片
张学计正为示值误差
电教稳定性
使用安全性能
箍山信号
输山接与通信按了
究运转环境性能
试验方送
外观站验
电意效数示低误差试验…
真空计压方值医差果片图3新示等我离子强微选行试验电多数稳定性减验.
健州安全比能示验
输出信号试验
按出接口与通信接口试验
抗运愉环境性能试验
检验现则
出!龄骄
型或检验
松志、包装、些存
标志,
7.3监存.--
系1发射电流的测试电路
函2加速摄对极内位的测试电
谢」真空计压刃示值误举测试电路图4发马流跑示力变化稳定兜的测试电路JB/T7463—2005
本标硅代智:JE/E74631994热码投电离点空计3.本标准与JHT7463一1994料比:十要变化如下:JB/T7463—20D5
由丁原标准的站用范围不包合数以止真变计存在缺陷,本软增历了数空计的相关条款,对标准中疫术要求、试验方法等,延行了相应的询整与登均.,·调整了规南性用文件内等::将标准5.3标志,包装和此存调整为独立的第了章、本标准虫权械业获合会据出。
本标泄力全函点空技述标谨化技术委质会(SAC汀C18)巨门。本标准达起草单:北京北议创新车空技术有限责任公、成都正华电了收器有限公、沈阳真空技求册济师。
本标准参起草单位:或都碳普电于仪器公司。本标准主要起卓人:徐白贡、张猎静、王砚龄、率国征、用祖政、陈健:本标准所行替际准的次版本发行崎况为:7BY227—1984、3B/T7463—994
1范围
热阴极电离真空计
JB/T7463—2D05
本标准规定了热阴极比离真空计(出商规管标准另计)的技术要求,试验方法、检验规则以及标志。包装和垃存等装术内容
本标准造报干与中真空、产真穿、超高真空热实圾电离规誉(以下简涤规管)配会使用的款极户离京空让(以下衍称真空计)。对于进口的同英点空计亦正参赋创用2规范性引用文件
下列文性一的条款道过本标准的引用门成为人标游的条款。凡无注日期的引用文件,其随后所有的改单(.不包括期误的内率)或您订版均不适后于本标强:然而,励技化本你准达成协设的各方矿究是否可使用这此文件的最影版本,凡意求注口满的用文件,其最新版本适用干车标准。包装微运图示标志191--:1S:199)GBT191
周斯检盒教抽样程序及衰(适用)对过理稳定惊的检验GB/T2829
GB/F3163
GRT3369
空长术未语
1业白动化仪表用模拟宜流电流信号)工业H动化投表用模微定流电三信号GB.T3370
GR/T6107
EIA/TIA-232-E)
使印率行“进制数据交换的数据终端设备和数据电路终接设备之间的接口(山(H核87.1中子测学闵器环境试验总罚G/个11014平淘电数字接口电路的电气特比(enVEIARS-422A:197%?CB/1544仪器仪变包装通片装术案列B0320仪器仪表运摘,运箍存基小还境条件试验法TIATA5住用启进背数据交换的数据约端改新和数电路终接没备之间的9插计非司禁接二
3术语知定文
GB/131确立的换及下列术落利定义滑用于本标温、3.1
真驾计cuungnnge
测量低一一个人气压的气休或热汽压力的仪器。:与些常用真空升实网三不按测量压力,而两生注观定系件下注!有关的莱些其他物理盘3.2
灵敏度系数sensitivitycoeffisien.t对于一给定压小点空计指示的或数变化,除以对应压方变化注:果些间空计灵数度系数与气体性质有关,本这种滑况下实款设通带指激气而自。3.3
热阴极单离真空计hotcathadeionizationgaug通过熟阅极发册电子气俗电离的一种电商真空计。1
JB/T7463—2005
4技术恶求
4.1工作环境
京空计在下逆环境下能正带工作:环境温度:0%--40%:
—格对滤度:不大于5%
电源电压:220V22V、50Hz交流电。4.2外观
4.2.1产穿的指示器减无引起测空误差的外观缺陷。如电表机械等位失调、指针弯曲,卡针以及我项刻度不清、数字显示尤模糊字,峡字,缺划利乱跳等现象:4.22开关、椎钮,指示灯、插头(坐),熔断器、电缆和附件等均应齐全,灯。4.2.日机箱表面应平整、光洁、无明显涂层刹落、锈蚀等现象4.7电整数的示值误差
4.9.1发射电流示信误差不应超过标称值的二3%。4.3.2证连极对阴电位不应超过标我值的工5免。4.3.3极中心点对地电拉不应超过标称值的士%,4.4真空计压力示值误差
a)等效于离予流大于10时,正力示值误差不应过士≤:b)等效于离子流盒10°A~10-\A时,压力示值谋差不超过10%G等效于离了流在JO17A时,正力示值误差不成超过±20%。4.5电参数接定性
4.5.1当源电压为220V土22V时
)发豹电流变化不虚超过工的::6)加速报对所报电位变化不应超过+%:c)车变计指示在最大程档的50%附近一个点的示值变化不应超过+2%。4.5.2电源电乐230V危定不变时,真空计终预热30min后的1h内:)发射电流变化不成赔过2冕:
)请投对阴圾电位变化不应超过士%:)高书计压力最大盈程50%近一个点的示值变化个应超过士2%。4.5.3当下力从上限开始变化两个级时,发射电流的变化不应整过土3%4.6使用安全性能
4.6.1真穿计供电电源带了与折箱外考之问应能绝泛频案为50H,电医为1kV的正弦交流电历对1m内的耐我验使无击穿和破惑象。4.62点空计供电电额端了与机箱外壳之间的绝缘电附,在电凝开关阅争情况下不应小于2DM1:4.7输出信号
当真空计有输出信号币,成满出下列要求:实空计换款直流电上信号范特会B33证的薪定,真宣计模控点流流信号范固应料合GB/T3369的定
4.8输出拨口与通信接口
当真空计有输出接口时,应满足下述要求:真空龄山数产的耐应优先采用B它D妈,并列出逻算“1“利“0”状态的电直及负戴能方,点空计的数字调借接口,独优先采用RS232和RS422接口:采用25计利K232C接门1应将合B/16[07,采用9什RS232C接1应符合IATTA-574的现定,采用RS422装口成符合GB/T11U14的划定。
4.9抗运撤环境性能
仪器·企包装的条件下,按BT9329的要求殊行。其中a)高益试选用:55C±2%;
b)信消试验选用:一40℃±2℃,湿热试验迷用:码对湿度(25)05%:d)跌将选用:白由默落高度2.50mm5试验方法
5.1外观试验
JBT74632005
外观是否符含4.2射费炎,用日测根成的测年工具进行检食。共中卡让,数字显示模概,缺效和乱路等现象在测试以程中检查。5.2电参数示值遇差满验
5.2.1发新电流尔值资差采用图1所示线路进行试验:2
图rf1:
一安流说生擎(下间):—避真空计(下同,心一规管(下同:够总不1-0.5绞的有流自流表,V精确逆不低于1.5级的0V~504电压表:下序国1发射电液的测试电路
将真落电流衰串接在如建极问路中,调节发射电流到规定的示值位宽,规察直流电流成与真空计的示值,进行比较。验电流示值误差下式计算:1,-1起×100面
-.一发射电的示值误差,元
直病电销表低、单查为A:
f--:点空计示值,单证为A。
5.2.2加速极对阴极电位示值误差火率2示绒略进行测试:C
图力:
拍确成不低于0级拍直流本数来:均衔毛阻,丑佰为1X5误不超过±:%。图2加逆极对阴极电位的测试电路3
/T7463—2005
加速极对阴报序位的误登接下式计算:U-Ugx100%
武中:
加速毅对阴极电垃的示值误差,%;E'g
V所示的被测真空计加速极对队极电处的测量值,单位为7:U
配套规算速被对阴极自位的标整值,单位办V,5.2.3限被中心点对地电位采行图2所示线临进行测试:其误差接下式算:U,Um×100%
武中:
容,“一阴极中心点对地出位的示值认差,%:…V所示的教测点空计极中心点对地电位的测盘值单实火:配变规管阳极中心点对地电位的标称值,单位为V。6.3真空计压力示值误采用图3所示等效离子疏法进行试险-226
图中:
精离电用(;:R,为成大拍人阳片,当10\0时,实挤确度向优于=1%:当10\2:实精确送应伤+5%
精确度不于额的直究/不:E—可调直流稳下心源(录下出他.图3点空计压力示值误差测试电路72
调真空证函子流效大器的零点利满度(京计设有从利私满离调节时),输人等效离了流开改变等效离子流的大小,百空计乐力示情P为U3、0.6和0.9的借数,懿后分别谈最出止值U,则等效离子流自下式算,等效离子流馆也可以采用富接在收集崧回路工的标游电流表谢定:.
式中:
等救丧子流范(下同单位为;
电止表V,的指示值,单位为V:R一梢逆自阻的实测值,单使。
根据已迎的等效案了覆即可得出点空计放显示压力值:Px\s.f。
式宁:
真空计应显示造力值,单位为Pai4
一真空计配食用规管的系数,单位为Pa-,真空计配套用规管的发时出流,单位为A:丙此,点空计压力示值误差按下式计算84- P4二F*效 ×100%:
式中:
再空计压力示值说章,%。
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对点空计共测量扫重复上述步骤,分别户各挡的压力示值误差:年挡各点的示值误差内不应超或4.4的要求。
5.4电垂数稳定性试验
5.4.1发射电流随电源电压220V+22V的变化量采用图1线路进行视试。分别测出电源电正准98V,220V租242V的发射电就1::5则发射电流随源压的变化量接下次计算:8s-l(或a-1a 100%-
武中:
发射也流随也派也正的变化至,多。5.4.2发射电流1内的变化置
采用图1载路迹行测试。宾空计在保逆电源压为220V情况下经预热30mm和调书发射电说到规定整值所:出15内发射电流量大的李化值1,发时电流随时间的变化量按下式计算:g-'8-t ×100%
一发身牙且流理时问的变化量,%:5.4.3剂速极对明极电位随电源电压220V+22V的变化量(8)
来利图2线路进行测试。分别测H直源电压在198V,220V利242V时的加理极对朗极电位为gl利心:则加速被对期被电位随电源电业的变化量按下式计算:\g减gl-100%
武中:
5,一加速极对阴锻电随电源电压的会化域,张5.1.1加速板对阴极电位11内的变化量19
累用原2线路进行巡试。真空计在保证电源比压220V情况下纤项热3m后,分别测评始时,加速极阳极电位,内的最人的变化值,速极对谢极电位随时回的变化臣按下式:S
式中:
速轻对极电位随时问的变化量,条。Sg
5.4.5再空计示值随电源电压220V+22V的变化盘1o:
采用图3线路谢测试。调价直温稳下电源,他点空计指示在最大至程格的50%准近一个点上5
JH/T7463.2005
分别测山电源电压在98V、22DV和242V时这个点的系值为M,M1、M:则真实计压力示随肯源电压的变化职按下式计尊:
5。-,(或83-M2×100%-
一真空让原志示慎随电源电程的变化平:案。5.4.6真定计示值1内的变北觉
零用图3线路近行测试点空让车保证自源电压220V况下预热30mim.按5..5方达将真空升系锐调在总大年整当的50%附近一个点上,分别融出开始对刻的示值M和内的最大变化值M,则点空让示值随贴问的变化盘按式计算:S
武中,
5批一点空计示追降打间的变化量,%5.4.7发导电流随力变化的魏定度采用图4所示装光行试验。
敲到克计:D,“·真G
微测规售:G监测规咨:Y--真空客率针网:N—
气源(能气F—真空机年,
图4发射电筑随压力变化稳定童的测试电路112
效测支空计和案独真空计处丁正带工作状能,调节:阅改变系统压力(用监测真空计指示),在被彻点空计上保发射市流:出公式(2)法行计算发射中流压万的变化费,其中是低力变化两个世级时发射电流实测值:以归发射电疏车压力二限的实谢值5.5使用安全性能逆验
空电气让用安全性能应在常环境下进行试验:所压验的试验点性从零始途续增加到规定直,乐持1(试验见的误单不如过上10%:绝源正的测试500V绝综电用表光行。5.6输出信号试验
前空计是否符合4.的要求,应采用下控方法进行谢试:直流也速表:0.5级)对的让模款直流良压信号进行检遵:历自流电统表(5级)对拍图模拟点流电流信号造行检测
5.7输出接口与通信接口试验
出计是否符价4.8的要求:成深用下述方法进与测试6
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对采出BC卫码教据输出,用电压表格否电压消号和返辑电平是香正带。用五册表欧够档检配能通信接口接线是否正确,用七压表和示被器或逻辑分析仪检查接门电压信利设电平是正带。5.8抗运输环境性能试验
抗运输环境坐能宗验按J/T9329—1州9及4标涯4.9的规定进行。6检验规则
6.1通则
产品检验分为出」检验和型式检验检验万议器仪在须经计盘部门检定合格,具有合格证明,并在使用和效期内。
6.2出厂检验
综负点空计必须经生产厂质盘检验部门按4.1--4.8的要求进行检险,并附为产品含格证方能厂。
6.3型式检验
8.3.1型式格验生产广质盘检验部门或委托有关部门控4.I~4.9的试验方法,对5.1~5.38的要求进行检验:
6.3.2在下列标况之一时,进行型式检验:)新产品设定型时
b)小批生产时:
C)止式投产后,每商年一次的周期性检查时:山)产品长划停产后,恢左牛产时出广检验结果与上型式检验有较大差别时。6.3.3型式检验的样本,抽样法接GB/T2R29有关规定执行,6.3.4产品的型式检验项日除括出厂检验的全部内睿外,还成要GB6587.1中的极限作温度,工作范再湿度、抵动、透检试跑及电源频率与电压试验的规定进行环境试验:了标志、包转、贮疗
7.1标志
产显个下列酬日的耐久性标志,)制造单优:
b)产品监号和名:
心)产品主要给数:
d)制适口期:
e)出!编孕。
72包装
7.2.1每台点穿计包装对应附右装效,使用说明书和严品合格证。使用说明书内案为:a:制造厂名称成商标
b!产品多格和型号:
c)产品用途
)产品主要技充指标,
e)产品结哟和工作原理:
约产品使用行法和继护:
g)产品成变性,
7.2.2点究计包装应符合GBT15464标准的成定,其中弱护包装应选用防宽、防潮和抗压他装,色装.IB/T 7463-2005
箱上的文字应筛,[内容包括制造厂名、产品型号,名称、包装日期,并有小心轻放,防潮、向上等符合GET191规定的有关图示标志。7.3存
产品原箱存在还境温度0℃~40,相对湿度不越过以%的通风以好的室内,不应有可能起腐谢的够、碳气体存在,不能有强避域存在。
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