SJ/Z 2926-1988
基本信息
标准号： SJ/Z 2926-1988
中文名称：集成电路制版设备性能测试方法
标准类别：电子行业标准(SJ)
标准状态：现行
发布日期：1988-03-10
实施日期：1988-10-01
出版语种：简体中文
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下载大小：784532
标准分类号
中标分类号：医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理
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出版信息
页数：20页
标准价格：18.0 元
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标准简介
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标准内容
中华人民共和国电子工业部指导性技术文件SJ/Z2926-88
集成电路制版设备性能测试方法1988-03-10发布
1988-10-01实施
中华人民共和国电子工业部发布中华人民共和国电子工业部指导性技术文件SJ/Z2926-88
集成电路制版设备性能测试方法本指导性技术文件适用于自动刻（绘）图机、图形发生器、精缩照相机三类光学制版设备主要性能测试方法。测试目的在于检查设备的技术性能指标是否达到原设计或使用要求。本指导性技术文件未规定的性能测试方法，应在各类设备技术文件中另行规定。1自动刻（绘）图机测试方法
1.1测试环境
测试环境条件如下，特殊环境应在设备技术文件中另行规定。1.1.1环境温度
1.1.2环境相对湿度
1.1.3环境气压
供电电源电压
1.1.5供电电源频率
18~23°C
≤70%。
86~106千帕（650~800mmHg）
220V±10%，380V±10%.
50Hz1%。
1.1.6周围无强烈振动，无腐蚀气体及强磁场存在设备应避免阳光直射及其它冷热源影响。
1.2测试仪器
测试所使用的各种测试仪器，其精度不低于1/2被测参数的精度。所有测试仪器在测试前必须经有关法定计量机构校验合格，具有有效期内的检定证书。1.2.1标准线纹尺。
1.2.2读数显微镜。
1.2.3双频激光干涉仪。
1.2.4电感测微仪，
1.3测试项目与测试方法
1.3.1工作台重复精度和定位精度1.3.1.1测长仪器直接测量
在全行程内设定9个测量点，用仪器分别对×、Y向各点用正反两个方向重复定位测量5次，得出9组数据。将各组测量值分别代入式（1）计算，从中选取最大极限误差，即土30xmax和±3gymax（或2gmax）表示工作台重复精度n
gr=±ybzxZ.net
(YiY)2
中华人民共和国电子工业部1988-03-10批准1988-10-01实施
SJ/Z2926--88
将各组测量值分别代入式（2）计算，从中选取最大值，即△x增和△ymx表示工作台定位精度。
Xi--x,
1.3.1.2综合检测图测试
在有效刻图面积上，刻制出直线、斜线、圆弧线组成的各种图形，共刻制3层120个重复的套刻图。最小线宽为0.3mm，最小阅直径为2mm，套刻间隙为0.5mm。采用目测，完全套正，表示符合重复精度和定位精度的要求。1.32刻线质量测试
在红膜上刻制直线、斜线、圆狐线。周30X融微镜观察，不得有明显锯齿形、波纹及斯裂、毛刺等缺陷。
1,3.3速度测量
设定45＇斜线长度L1和L2，且L，>L2。各往复n次，分别测得所需时间t1和ts，代入式（3）计算，即得其最大速度。2n.(LI-La)
式中，V...最大速度，mm/S
L1、L-设定长度，mm：
tl、t.-测定时间，S：
n往复次数。
1.3.4加速度测遇
按照测速度方法，代入武（4）计算得其加遮度。【2VnKVLi-VLD
式j：a加速度，mm/s2
2图诊发生器测试方法
2.1测试环就
（4）
测试环境条件如下述，特殊要求应在设备技术文件中另行规定。21.1环境温度
2.1.2环境相对凝度
2.1.3环境净化
2.1.4环境气压
20~23C。
100~1000级。
86~106千帕（650800mmHg），
2.1.5具备拖模处理工艺条件
SJ/Z2926-88
2.1.6周无强烈振动、无腐独气体及强滋场存在。2.17供电电源电店
2.1.8供电电源频率
2.1.9地线接地电阻
2.2测试仪器
220V±10%,380V±10%。
50Hz±1%。
测试所使用的各种测试仪器，其精度不低于1/2被测参数的精度。所有测试仪器在测试前必须经有关法定计量机构校验合格，具有有效期内的检定证书。2.2.1测长仪器
2.2.1.1钢板尺、游标卡尺。
2.2.1.2电撼测微仪
2.2.1.3双频激光干涉仪。
读数显微镜。
2.2.1.5万能工具显微镜。
2.2.1.6电子显微镜。
2.2.2观察及比较仪器
2.2.2.1投影仪。
2.2.2.2显微镜，400X、600X、1000X。2.2.2.3掩模比较仪。
2.2.3其它仪器
2.2.3.1秒表。
2.2.3.2照度计、光强计、黑变计。2.3测试项目与测试方法
2.3.1工作台重复精度
2.3.1.1测长仪降直接测量
在全行虚内没定25个测元点，用仪器分别对X、Y向各点进行重复定位测量7次，得出25置数据，将咨阅量值分别代入式（1）计算、从中选取最大极眼误差，即±3ga，和土3g，1x（或±25ml：）表示工作台起度精度。2.3.1.2拍版方法刻量
a，护版方：在制版有效积内，选取3×3个测量点，即9个暖光区。每个光区均拍制如图1所示退条，其线宽为10μm，线长为1000um。每个感光区均按图1所标顺序拍制，先拍X同线条，尔拍Y向线条，在同一爆光区中X、Y的理忽值应相等。用所得到的检查版供测益。
SJ/Z2926--2928
图1重复精度检查版曝光区图形
b.测盘方法：将检查版用仪器测出X、Y向各9组数据，每组均有7个测量值供数据处c.数据处理：将各组测量值分别代入式（1）计算，从中选取最大极限误差，即±30...和±30，..（或±2g...）表示工作台重复精度。2.3.2工作台定位精度
2.3.2.1测长仪器直接测量
在全行程内X、Y向各任选7种理想距离，工作台分别重复移动测量5次，得出7组数据。将各组测量值、理想值分别代入式（2）计算，从中选取最大值，即△xm和△mx表示工作台定位精度。
2.3.2.2拍版方法测量
a.拍版方法：在制版有效面积内，以7×7个图形阵列分步曝光。其路线见图2，图2a为X向曝光路线，图2b为Y向曝光路线。按图中实线曝光虚线返回进行实际拍制，制出两块如图3所示的检查版供测量。
图2曝光路线
SJ/Z2926--88
图3定位精度检查版
b.测量方法：将检查版用仪器测出X、Y向各6组数据，每组均有7个测量值供数据处c.数据处理：将各组测量值分别代入式（2）计算，从中选取最大值，即△xs和Ay-ax表示工作台定位精度。
2.3.3工作台最高速度
工作台X、Y分别设定长度Lx1、Lx2，Ly1、Ly2且Lx1>Lx！，Ly1>Ly\。工作台按设定长度分别作往复运动n次，测出相应时间tx1、tx2，ty1、ty2。代入式（3）计算，即得Vxox和Vyax表示工作台最高速度。2.3.4工作台加速度
将2.3.3中设定长度、测出时间代入式（4）计算，即得ax和ay表示工作台加速度。2.3.5工作台垂直度
将标准直角尺放在工作台上，用电感测微仪将直角尺一边与工作台X向校正成一致。令工作台Y向运动，测直角尺另一边，测出Y向运动范围内之偏差△，代入式（5）计算，即得表示工作台垂直度。△=±±L·tga…（5）式中：△1-一测量值，正号表示垂直度大于90°时，负号表示垂直度小于90时，μm；L-—测量长度，μm；
△α标准角尺实际误差，其正号表示标准角尺原始误差大于90°时，负号表示角尺原始误差小于90°时，度。
2.3.6孔径重复精度和定位精度
采用拍版方法检查。
2.3.6.1拍版方法
在制版有效面积内，拍制7×7个变化的方块图形，见图4。拍版时先拍第I排，尔后拍第Ⅱ、…亚，每排均按图示顺序拍制，每排中同一序·号的理想尺寸必须相等。拍制的检查版供测量。
SJ/Z2926---88
图4孔径精质检查版
2.3.6.2测量方法
将检查版用仪器测量每个图形w、h向尺寸，名排同一序号为一组，共得7组数据，每组数居均有7个测最值供数据处理。2.3.6.3数据处理
将各组测量值分别代入式（1）算，从中选政最大圾限误差，即土3gwmax和±3ghx（或±2gax）表示孔径重复精度。将各组测量值和理想值代入式（2）计算，从中选取晟大值，即△和4x表示孔径定位精度。
2.3.7孔径刀口垂直度与平行度
采用拍版方法检查。
2.3.7.1拍版方法
按图5拍制检查版，以图示顺序曝光每两次骤光接成一直笔，绍条尺寸可任选，但相互拼接线条尺寸应和等。制出检查版供测量。图5孔径垂直度与平行度检查版
2.3.7.2测量和分析
SJ/Z2926-88
用400X显微镜观察估计测量或读数显微镜观察量、测量各接缝情况、供分析计0
图6：拼接线条接缝情况
图6险查版经放大情况。当接缝出现图6a情况时，孔径刀口垂直/和平行度均为零；当接缝出现图Gb情况时，其平行度为零，垂直度为△x=arctgo/w；当接缝出现网6c情况时，其平行度为△南垂直度为△，x=arctg△/h；当接能出现图6d情况时，其平行度为△=△十△2，而垂直度为△x=arcig△/w。2.3.8孔径转动同零真复性
2.3.8.1测长仪直接测量
孔径转动回零重复测质5次，将测量值代入式（1）计翁，以象面上的最大极限误差，即1
·3gax（K为缩小倍数）表示孔径转动同零重复性。2.3.8.2拍版方法测量
a，拍版方法：按图7顺序拍制拼接线条，共拍7组。所拍线条可任选，但相互拼接线条尺寸应相当，转动角度任选，拍出检查版供测量分析。b.测量与分析：用400X读显微镜测量各组接缝。当出现离8所示情况，分别测出图示中的△1、△%：81、82。以（△1+△/2、（81+8，）/2为测量值，得到两组各7个测量值，代入式（1）计算，从中选取最极限误差，即土3α表示孔径转动国零重复性。图了孔径转动回零重复性
2.3.9孔径转动对中性
采用拍版方法检查。
2.3.9.1拍版方法
SJ/Z2926-88
图8回零重复性测量图
用孔径最大高和最大宽（h品x×W。ax）、5
（huax×-1Wmax）和
一Wmx）分别在工作台不运动时，让孔径处在零位和孔径转到45°，分别制出两个方4
块，见图9，图中0为孔径中心，0为转动中心，供测量分析。dy
图9孔径转动对性检瓷
2.3.9.2测量和分析
用400X读数显微镜测量图9中8.1、8.2、0h1、8h2。当8.1=8w9、8h=8m2时，孔径转动对中性无误差：当8.1≠8，2或8m1≠8时，孔径转动对中性误差为8.和%。2.3.10孔径与工作台运动直线平行性采用拍版方法检套。
2.3.10.1拍版方法
用孔径最大高和10μm宽，由工作台Y向运动拼接长线，用孔径最大宽和10μm高，由工作台X向运动拼接长线，制出检查版供测量分析。8
2.3.10.2测量和分析
SJ/Z2926-88
用400X显微镜观察长线接缝当长线成一直线，则孔径与工作台运动直线平行性无误差。当长线出现图1o情况，可测量图中?值，其误差为Aα=arctg/h或Aa=arctg8/w。2.3,11曝光均匀性和一致性
对于具有超高压汞灯常开光源的机器：在其成像面上（或物面上）用照度计或光强计源图11所示的9点光强，每隔30分钟测量一次。共测量5次分别代入式（6）计算，从中选取最大值表示曦光均匀性。
图1，孔径与工作台运动直线平行性均匀性一±最大值一最小值
最大值+最小值
·（6)
图11测量点分布
对于具有闪光灯类光源的机器，在制版有效面积内，实拍5×5个黑块图形，用黑度计测量单个黑块图之差异，代入式（6）计算，即为嗪光均勾性。2.3.12自动调焦精度
按图12所示方法测量。在工作台面安放六块标准量块，标准量块厚度按自动调焦范围的六分之一挡次制作，其长和宽大于镜头视场、计量标准量块厚度尺寸。测量仪按图示安装。测量开始，移动工作台使第一标准块处在镜头正下方调焦。调测量仪为零。然后依次移动工作台，使标准块2、3……·6分别处在镜头正下方，从测量仪中读出测量值，如此重复测量7次，得到6组数据，每组数据均有7个测量值，分别代入式（7）计算，从中选取最大值表示自动调焦精度。
式中，—自动调焦精度，μm；
8.一测量值，um；
9——理想值，μm
2.3,13综合测试
SJ/Z2026--88
图12白动调焦蒂度测量示篇图
测量仪
自动调焦
称准量块
工教会
综合测试是采用拍制检版或实用版方法，综合检查设备各技术性指标。2.3.13.1综合检查版测试
图13综合检查版
SJ/Z2625--88
按图13所标的顾序拍制检查版，用400X显微错观察各处接继，参照上述各单项检查分析得出单项检查数据。测量图中序号3和28拼接情况，可检查设备的综合精度。2.3.13.2目测检查版测试
按图14在制版有效面积内制作检查版。整个图形由外框、内框、中间十字叉线及四个象限中的图形所组成，Ⅱ、耳、W象限网彩山1绿限中的图形旋转得到。各图块可以等宽或不等宽，医块之间及内外框、叉线闻设定问隙。制版时作弱显影。用400X显微镜观察，估读各间隙变化，得出其误差，此误差包括谈每各系统的综合误差。工
图14目测检查版
2.3.13.3孔径与固定图形检查测试按图15拍制检查版。在制版有效函积内，设3×3个图形M。图形M中A1--A6由孔径制作，B1一B6出固定图形制作。制版附作弱显影。用400X显微镜观察各接缝，当各图块无搭接或脱开现象则其误差为零；当图块育搭接或脱开间隙，则估读其误差，此误差包括孔径与固定图形等各系统的综合误差。%
图15孔径与固定图形检查版
2.3.13.4同心矩形检查版
M放大
按图16拍制检查版。在制版有效面积内设3×3个图形M，每个图形均由外框，中框、！框组成，各框之间均设定闻虞。首先拍制各图外框、内框，尔后拍制中框，组成同心矩形
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集成电路制版设备性能测试方法1988-03-10发布
1988-10-01实施
中华人民共和国电子工业部发布中华人民共和国电子工业部指导性技术文件SJ/Z2926-88
集成电路制版设备性能测试方法本指导性技术文件适用于自动刻（绘）图机、图形发生器、精缩照相机三类光学制版设备主要性能测试方法。测试目的在于检查设备的技术性能指标是否达到原设计或使用要求。本指导性技术文件未规定的性能测试方法，应在各类设备技术文件中另行规定。1自动刻（绘）图机测试方法
1.1测试环境
测试环境条件如下，特殊环境应在设备技术文件中另行规定。1.1.1环境温度
1.1.2环境相对湿度
1.1.3环境气压
供电电源电压
1.1.5供电电源频率
18~23°C
≤70%。
86~106千帕（650~800mmHg）
220V±10%，380V±10%.
50Hz1%。
1.1.6周围无强烈振动，无腐蚀气体及强磁场存在设备应避免阳光直射及其它冷热源影响。
1.2测试仪器
测试所使用的各种测试仪器，其精度不低于1/2被测参数的精度。所有测试仪器在测试前必须经有关法定计量机构校验合格，具有有效期内的检定证书。1.2.1标准线纹尺。
1.2.2读数显微镜。
1.2.3双频激光干涉仪。
1.2.4电感测微仪，
1.3测试项目与测试方法
1.3.1工作台重复精度和定位精度1.3.1.1测长仪器直接测量
在全行程内设定9个测量点，用仪器分别对×、Y向各点用正反两个方向重复定位测量5次，得出9组数据。将各组测量值分别代入式（1）计算，从中选取最大极限误差，即土30xmax和±3gymax（或2gmax）表示工作台重复精度n
gr=±ybzxZ.net
(YiY)2
中华人民共和国电子工业部1988-03-10批准1988-10-01实施
SJ/Z2926--88
将各组测量值分别代入式（2）计算，从中选取最大值，即△x增和△ymx表示工作台定位精度。
Xi--x,
1.3.1.2综合检测图测试
在有效刻图面积上，刻制出直线、斜线、圆弧线组成的各种图形，共刻制3层120个重复的套刻图。最小线宽为0.3mm，最小阅直径为2mm，套刻间隙为0.5mm。采用目测，完全套正，表示符合重复精度和定位精度的要求。1.32刻线质量测试
在红膜上刻制直线、斜线、圆狐线。周30X融微镜观察，不得有明显锯齿形、波纹及斯裂、毛刺等缺陷。
1,3.3速度测量
设定45＇斜线长度L1和L2，且L，>L2。各往复n次，分别测得所需时间t1和ts，代入式（3）计算，即得其最大速度。2n.(LI-La)
式中，V...最大速度，mm/S
L1、L-设定长度，mm：
tl、t.-测定时间，S：
n往复次数。
1.3.4加速度测遇
按照测速度方法，代入武（4）计算得其加遮度。【2VnKVLi-VLD
式j：a加速度，mm/s2
2图诊发生器测试方法
2.1测试环就
（4）
测试环境条件如下述，特殊要求应在设备技术文件中另行规定。21.1环境温度
2.1.2环境相对凝度
2.1.3环境净化
2.1.4环境气压
20~23C。
100~1000级。
86~106千帕（650800mmHg），
2.1.5具备拖模处理工艺条件
SJ/Z2926-88
2.1.6周无强烈振动、无腐独气体及强滋场存在。2.17供电电源电店
2.1.8供电电源频率
2.1.9地线接地电阻
2.2测试仪器
220V±10%,380V±10%。
50Hz±1%。
测试所使用的各种测试仪器，其精度不低于1/2被测参数的精度。所有测试仪器在测试前必须经有关法定计量机构校验合格，具有有效期内的检定证书。2.2.1测长仪器
2.2.1.1钢板尺、游标卡尺。
2.2.1.2电撼测微仪
2.2.1.3双频激光干涉仪。
读数显微镜。
2.2.1.5万能工具显微镜。
2.2.1.6电子显微镜。
2.2.2观察及比较仪器
2.2.2.1投影仪。
2.2.2.2显微镜，400X、600X、1000X。2.2.2.3掩模比较仪。
2.2.3其它仪器
2.2.3.1秒表。
2.2.3.2照度计、光强计、黑变计。2.3测试项目与测试方法
2.3.1工作台重复精度
2.3.1.1测长仪降直接测量
在全行虚内没定25个测元点，用仪器分别对X、Y向各点进行重复定位测量7次，得出25置数据，将咨阅量值分别代入式（1）计算、从中选取最大极眼误差，即±3ga，和土3g，1x（或±25ml：）表示工作台起度精度。2.3.1.2拍版方法刻量
a，护版方：在制版有效积内，选取3×3个测量点，即9个暖光区。每个光区均拍制如图1所示退条，其线宽为10μm，线长为1000um。每个感光区均按图1所标顺序拍制，先拍X同线条，尔拍Y向线条，在同一爆光区中X、Y的理忽值应相等。用所得到的检查版供测益。
SJ/Z2926--2928
图1重复精度检查版曝光区图形
b.测盘方法：将检查版用仪器测出X、Y向各9组数据，每组均有7个测量值供数据处c.数据处理：将各组测量值分别代入式（1）计算，从中选取最大极限误差，即±30...和±30，..（或±2g...）表示工作台重复精度。2.3.2工作台定位精度
2.3.2.1测长仪器直接测量
在全行程内X、Y向各任选7种理想距离，工作台分别重复移动测量5次，得出7组数据。将各组测量值、理想值分别代入式（2）计算，从中选取最大值，即△xm和△mx表示工作台定位精度。
2.3.2.2拍版方法测量
a.拍版方法：在制版有效面积内，以7×7个图形阵列分步曝光。其路线见图2，图2a为X向曝光路线，图2b为Y向曝光路线。按图中实线曝光虚线返回进行实际拍制，制出两块如图3所示的检查版供测量。
图2曝光路线
SJ/Z2926--88
图3定位精度检查版
b.测量方法：将检查版用仪器测出X、Y向各6组数据，每组均有7个测量值供数据处c.数据处理：将各组测量值分别代入式（2）计算，从中选取最大值，即△xs和Ay-ax表示工作台定位精度。
2.3.3工作台最高速度
工作台X、Y分别设定长度Lx1、Lx2，Ly1、Ly2且Lx1>Lx！，Ly1>Ly\。工作台按设定长度分别作往复运动n次，测出相应时间tx1、tx2，ty1、ty2。代入式（3）计算，即得Vxox和Vyax表示工作台最高速度。2.3.4工作台加速度
将2.3.3中设定长度、测出时间代入式（4）计算，即得ax和ay表示工作台加速度。2.3.5工作台垂直度
将标准直角尺放在工作台上，用电感测微仪将直角尺一边与工作台X向校正成一致。令工作台Y向运动，测直角尺另一边，测出Y向运动范围内之偏差△，代入式（5）计算，即得表示工作台垂直度。△=±±L·tga…（5）式中：△1-一测量值，正号表示垂直度大于90°时，负号表示垂直度小于90时，μm；L-—测量长度，μm；
△α标准角尺实际误差，其正号表示标准角尺原始误差大于90°时，负号表示角尺原始误差小于90°时，度。
2.3.6孔径重复精度和定位精度
采用拍版方法检查。
2.3.6.1拍版方法
在制版有效面积内，拍制7×7个变化的方块图形，见图4。拍版时先拍第I排，尔后拍第Ⅱ、…亚，每排均按图示顺序拍制，每排中同一序·号的理想尺寸必须相等。拍制的检查版供测量。
SJ/Z2926---88
图4孔径精质检查版
2.3.6.2测量方法
将检查版用仪器测量每个图形w、h向尺寸，名排同一序号为一组，共得7组数据，每组数居均有7个测最值供数据处理。2.3.6.3数据处理
将各组测量值分别代入式（1）算，从中选政最大圾限误差，即土3gwmax和±3ghx（或±2gax）表示孔径重复精度。将各组测量值和理想值代入式（2）计算，从中选取晟大值，即△和4x表示孔径定位精度。
2.3.7孔径刀口垂直度与平行度
采用拍版方法检查。
2.3.7.1拍版方法
按图5拍制检查版，以图示顺序曝光每两次骤光接成一直笔，绍条尺寸可任选，但相互拼接线条尺寸应和等。制出检查版供测量。图5孔径垂直度与平行度检查版
2.3.7.2测量和分析
SJ/Z2926-88
用400X显微镜观察估计测量或读数显微镜观察量、测量各接缝情况、供分析计0
图6：拼接线条接缝情况
图6险查版经放大情况。当接缝出现图6a情况时，孔径刀口垂直/和平行度均为零；当接缝出现图Gb情况时，其平行度为零，垂直度为△x=arctgo/w；当接缝出现网6c情况时，其平行度为△南垂直度为△，x=arctg△/h；当接能出现图6d情况时，其平行度为△=△十△2，而垂直度为△x=arcig△/w。2.3.8孔径转动同零真复性
2.3.8.1测长仪直接测量
孔径转动回零重复测质5次，将测量值代入式（1）计翁，以象面上的最大极限误差，即1
·3gax（K为缩小倍数）表示孔径转动同零重复性。2.3.8.2拍版方法测量
a，拍版方法：按图7顺序拍制拼接线条，共拍7组。所拍线条可任选，但相互拼接线条尺寸应相当，转动角度任选，拍出检查版供测量分析。b.测量与分析：用400X读显微镜测量各组接缝。当出现离8所示情况，分别测出图示中的△1、△%：81、82。以（△1+△/2、（81+8，）/2为测量值，得到两组各7个测量值，代入式（1）计算，从中选取最极限误差，即土3α表示孔径转动国零重复性。图了孔径转动回零重复性
2.3.9孔径转动对中性
采用拍版方法检查。
2.3.9.1拍版方法
SJ/Z2926-88
图8回零重复性测量图
用孔径最大高和最大宽（h品x×W。ax）、5
（huax×-1Wmax）和
一Wmx）分别在工作台不运动时，让孔径处在零位和孔径转到45°，分别制出两个方4
块，见图9，图中0为孔径中心，0为转动中心，供测量分析。dy
图9孔径转动对性检瓷
2.3.9.2测量和分析
用400X读数显微镜测量图9中8.1、8.2、0h1、8h2。当8.1=8w9、8h=8m2时，孔径转动对中性无误差：当8.1≠8，2或8m1≠8时，孔径转动对中性误差为8.和%。2.3.10孔径与工作台运动直线平行性采用拍版方法检套。
2.3.10.1拍版方法
用孔径最大高和10μm宽，由工作台Y向运动拼接长线，用孔径最大宽和10μm高，由工作台X向运动拼接长线，制出检查版供测量分析。8
2.3.10.2测量和分析
SJ/Z2926-88
用400X显微镜观察长线接缝当长线成一直线，则孔径与工作台运动直线平行性无误差。当长线出现图1o情况，可测量图中?值，其误差为Aα=arctg/h或Aa=arctg8/w。2.3,11曝光均匀性和一致性
对于具有超高压汞灯常开光源的机器：在其成像面上（或物面上）用照度计或光强计源图11所示的9点光强，每隔30分钟测量一次。共测量5次分别代入式（6）计算，从中选取最大值表示曦光均匀性。
图1，孔径与工作台运动直线平行性均匀性一±最大值一最小值
最大值+最小值
·（6)
图11测量点分布
对于具有闪光灯类光源的机器，在制版有效面积内，实拍5×5个黑块图形，用黑度计测量单个黑块图之差异，代入式（6）计算，即为嗪光均勾性。2.3.12自动调焦精度
按图12所示方法测量。在工作台面安放六块标准量块，标准量块厚度按自动调焦范围的六分之一挡次制作，其长和宽大于镜头视场、计量标准量块厚度尺寸。测量仪按图示安装。测量开始，移动工作台使第一标准块处在镜头正下方调焦。调测量仪为零。然后依次移动工作台，使标准块2、3……·6分别处在镜头正下方，从测量仪中读出测量值，如此重复测量7次，得到6组数据，每组数据均有7个测量值，分别代入式（7）计算，从中选取最大值表示自动调焦精度。
式中，—自动调焦精度，μm；
8.一测量值，um；
9——理想值，μm
2.3,13综合测试
SJ/Z2026--88
图12白动调焦蒂度测量示篇图
测量仪
自动调焦
称准量块
工教会
综合测试是采用拍制检版或实用版方法，综合检查设备各技术性指标。2.3.13.1综合检查版测试
图13综合检查版
SJ/Z2625--88
按图13所标的顾序拍制检查版，用400X显微错观察各处接继，参照上述各单项检查分析得出单项检查数据。测量图中序号3和28拼接情况，可检查设备的综合精度。2.3.13.2目测检查版测试
按图14在制版有效面积内制作检查版。整个图形由外框、内框、中间十字叉线及四个象限中的图形所组成，Ⅱ、耳、W象限网彩山1绿限中的图形旋转得到。各图块可以等宽或不等宽，医块之间及内外框、叉线闻设定问隙。制版时作弱显影。用400X显微镜观察，估读各间隙变化，得出其误差，此误差包括谈每各系统的综合误差。工
图14目测检查版
2.3.13.3孔径与固定图形检查测试按图15拍制检查版。在制版有效函积内，设3×3个图形M。图形M中A1--A6由孔径制作，B1一B6出固定图形制作。制版附作弱显影。用400X显微镜观察各接缝，当各图块无搭接或脱开现象则其误差为零；当图块育搭接或脱开间隙，则估读其误差，此误差包括孔径与固定图形等各系统的综合误差。%
图15孔径与固定图形检查版
2.3.13.4同心矩形检查版
M放大
按图16拍制检查版。在制版有效面积内设3×3个图形M，每个图形均由外框，中框、！框组成，各框之间均设定闻虞。首先拍制各图外框、内框，尔后拍制中框，组成同心矩形
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