SJ 1778-1981 ＣＫ－１００～６００超高真空金属油扩散泵试验方法 SJ1778-1981 标准下载解压密码：www.bzxz.net

中华人民共和国第四机械工业部部标准
CK-100600超高真空金属油扩散泵·试验方法
SJ1778—81
本标准适用于SJ1776-81《CK-100~600超高真空金属油扩散泵结构型式与参数系列》规定的超真高空金属油扩散泵（以下简称泵）的性能试验，
一、试验项目
1.按规定条件和试验装置对泵的以下性能进行试验：（1）极限压强（全压强）P：是指泵在特定条件下，经过充分烘烤除气所获得的最低稳定压强。（2）抽气速率（体积流率）S：是指泵在特定条件下，气体由测试罩上部流经小孔进入测试罩下部的流量Q对测试罩指定位置上的压强P的比，即S=Q/P。
（3）最大反压强（临界压强）：是指泵在规定负荷下工作，当前级管路压强增加到某一定值时，泵失去正常工作能力，此时所测得的前级管路压强称为最大反压强。
2.极限压强和最大反压强是指泵在带挡板时的测量值，而抽气速率则分别测出带挡板和不带挡板的数值。二、试验条件
3.试验时周围环境应无明显震动，环境温度为1525C，相对湿度不大于85%，
4.被试泵的加热功率、烘烤温度、冷却条件、工作介质牌号及用量，以及配用的前级泵等均应符合SJ177781《CK-100~600超高真空金属油扩散泵技术条件》和产品技术文件的要求。5.被试气体为用适当方法燥的空气。6.试验装置的漏气率不大于103.S·P（托·升/秒）。7.试验装置应能承受以下温度的烘烤：一九八一年八月一日实施
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超高真空测量规管：400~450℃。8.测量压强的真空测量规管及真空计应经过国家计量部门校准。三、试验装置
9.极限压强试验装置如图1所示。由测试罩、测量规管、被试泵、烘烤装置、前级管路和前级泵等组成。10.抽气速率和最大反压强试验装置如图2所示。由测试罩、微调阀、测量规管、被试泵、烘烤装置、前级管路和前级泵等组成。11.极限压强测试罩如图3所示。为不锈钢制平顶园简，内径与泵口直径相同，内径≤300毫米时，内径公差为士1.5毫米；内径>300毫米时，内径公差为士3毫米。测试罩法兰应符合被试泵法兰的密封连接要求。在测试罩上，距法兰1/2内径高的平面上，装有两个呈180°对称分布的，轴线垂直罩壁向外的测量管接头，其中一个接超高真空测量规管，另一个备用，接头导管对空气的流导不小于25升/秒。接头与测盘规管的连接为SJ1656—80《金属密封超高真空法兰结构型式》规定的铜垫密封连接。
12.抽气速率测试罩如图4所示。为不锈钢制平顶园筒，内径与泵口直径相同，内径≤300毫米时，内径公差为±1.5毫米；内径>300毫米时，内径公差为土3毫米。高度为内径的3倍。在罩内距法兰1/2罩高的平面上装有一薄隔板，隔板中心有一小孔，小孔直径为测试罩内径的测试罩及微调阀：350~400℃；
刘城望
真空限
赵汉泵
图1极限压强试验装蛋
空气感盟
充气险
奥空观整
前鑫蛋路
民止良
煎复菜
湖区车
美空重RbzxZ.net
真安规费
楚美育
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图2抽气邀率试验装置
微调商
空过盟
充气雕
真业规管
剪极蛋路
芷止门
前缇医
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测试罩上部（隔板以上），距隔板1/2罩内径高的平面上装有两个呈180°分布，轴线垂直罩壁向外的接头，其中一个接超高真空测量规管P1；另一个接控制充气流量的微调阅。接微调阀的接头，沿接头轴线02
图3极限压强测试罩
向罩内装有一根供充气用的直角弯管，弯管竖直部分沿测试罩轴线向0.05~0.1倍。测试罩法兰应符合被试泵法兰的密封连接要求。共7页第4回
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上，弯管出气口距罩项1/2罩内径，弯管内径不大于10毫米，测试罩下部（隔板以下）距法兰1/2罩内径高的平面上，装有两个与测试罩上部接头方向一致，轴线垂直罩壁向外的接头，其中一个接超高真空测量规管，另一个备用。Q
图4抽气速率测试率
连接测量规管的接头导管对空气的流导不小于25升/秒。接头与测量规管的连接为SJ1656—80《金属密封超高真空法兰结构型式》规定的铜垫密封连接。
13.极限压强和抽气速率试验装置用前级管路如图5所示。导管内径d不小于被试泵的出气口直径。测量前级压强的规管装在被试泵出气口附近，其开口平面与气流运动方向平行。调节前级压强的充气阀距测量规管的距离应大于2倍导管内径d。真空规
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拔被试泵留气口
图5前级管路
真空规置充气间
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14.测量极限压强和抽气速率用的测量规管及超高真空计，测量范图应在5×10~4～1×10~10托。
15.调节抽气速率测试罩压强用的微调阀，对压强的调节范围为5×10-5～5×10-9托。微调阀前装有空气过滤器。四、极限压强测量
16.极限压强按图1规定的试验装暨和图3规定的测试罩进行测量。泵的极限压强充许用盲板法兰进行测量17.通过前级管路上的充气阀向泵内放入干燥空气1分钟，依次启动前级泵和被测泵，当压强低于5×106托时，按第7条规定的温度范围对真空测量规管、测试罩（或盲板法兰）、泵壳进行烘烤除气，在此温度下连续烘烤12小时。
18.停止烘烤后，当测试罩和泵壳温度降至15～25℃时，测量泵的压强。按照规定要求对真空测量规管加速极进行轰击除气。每两次轰击的时间间隔不少于30分钟。反复轰击除气后，压强在1小时内的波动值不超过5%，此压强值即视为泵的极限压强。测量极限压强时，压强读数取二位有效数字。
被试泵启动后，经过烘烤、降温、加速极除气、测量等程序，在24小时内极限压强应达到规定指标。19.烘烤前的压强值、烘烤温度及时间、降温后测得的压强值及其对应的时间等均应详细记录。
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五、抽气速率测量
20.抽气速率测试罩、测量规管、微调阀和前级管路等清洗后，按图2要求与被测试好极限压强的泵连接21.启动前级泵，当试验系统压强低于5×102托时，对测试罩进行予烘烤除气，烘烤温度为250300℃，烘烤时间为12小时。22.测试罩降温后启动被试泵，压强低于5×10-6托时，按第7条规定的温度范围对真空测量规管、测试罩、微调阀和泵壳进行烘烤除气，烘烤时间为24小时，
23.停止烘烤后，当测试罩，微调阀和泵壳温度降至15～25C时，按规定要求对真空测量规管加速极进行轰击除气，测量罩内压强。当压强低于2～3倍泵的极限压强，测试罩上部压强P1和下部压强P2之差小于10%，且1小时内P1及P2的波动值都在5%范围以内，此时即认为测试罩上部与下部压强已达到平衡。24.当测试罩压强平衡条件建立后，测量气体流动速率，通过微调阀向罩内充入干燥空气，使压强逐级升高，建立被测压强P2，P2的范围为1×105～~5×109托，且在每个数量级内至少建立4个测量点，每个测量点的稳定时间不少于15分钟，在稳定时间内，压强P1和P2的波动值不大于5%，如波动值超过5%，应延长稳定时间。为了使通过小孔的气体分子保持分子流状态，测试罩上部压强P1的最大值（P1max）不超过以下数值：Pimax=5×10-3/d（托）
式中：d一小孔直径（毫米）
气体流动速率应在同样条件下测量两次，两次测量值之差应在10%以内，且取其平均值。如两次测量值之差超过10%，应重复测量。.每次测量前都应重新烘烤除气4~8小时，测量罩内的平衡压强应低于2～3倍泵的极限压强。
25.根据测得的各点压强P1、P2值和小孔的流导U，按以下关系式计算各点的抽气速率。
S=U(-1)(升/砂）
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计算得出的抽气速率取二位有效数字，并列表填写各点的抽气速率对应的压强值。
26.绘制1×10-5~5×10-9托压强范围内的抽气速率特性曲线。纵座标（线性座标）表示抽气速率；横座标（对数座标）表示压强。27.泵的额定抽气速率，是指抽气速率下降值不大于10%部分的平均值。
六、最大反压强测量
28.按图2所示，将测试罩压强抽到1×10~7托以下，通过微调阀向罩内充入干燥空气。使测试罩下部压强P2稳定在5×10-6托，再由前级管路上的充气阀向前级管路充入干燥空气，使前级压强缓慢上升，同时观察压强P2的变化情况，当压强P2增加10%时所测得的前级压强即为被试泵的最大反压强。最大反压强取二位有效数字。七、试验报告
29.试验结束后应填写试验报告，其内容应包括：（1）极限压强：
（2）带挡板和不带挡板的平均抽气速率及抽气速率曲线图，（3）最大反压强；
（4）前级泵型号及抽速：
（5）油锅加热功率：
（6）烘烤温度及时间：
（7）工作介质牌号及用量：
（8）冷却水温度及压力：
（9）试验环境温度及相对湿度：（10）真空测量规管及真空计型号和校准情况：（11）试验日期及测试人。
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