本方法适用于电子级氢、氮、氧、氩、氦中颗粒测定，也适用于普通氢、氮、氧、氩、氦及其他无腐蚀性气体中颗粒的测定。 SJ 2798-1987 电子级气体中颗粒的测定方法 光散射法 SJ2798-1987 标准下载解压密码：www.bzxz.net
本方法适用于电子级氢、氮、氧、氩、氦中颗粒测定，也适用于普通氢、氮、氧、氩、氦及其他无腐蚀性气体中颗粒的测定。

中华人民共和国电子工业部部标准SJ2798—87
电子级气体中颗粒和痕量
杂质测定方法
1987-05-18发布
中华人民共和国电子工业部批准1988-01-01实施
中华人民共和国电子工业部部标准电子级气体中颗粒的测定方法
光散射法
SJ2798—87
本方法适用于电了级氢、氮、氧、、氧中颗粒的测定，也适用丁普通氢、氮、氧，氢、氨及其他无腐蚀性气体中颗粒的测定。1名词术语及方法原理
1,1名间术诺
1.1.1粒径一-题粒物质出某种测定方法测出的长度名义尺寸。本标准是指与聚苯乙烯标推粒子作散射光强度的等效比较而得的综合效果，代表看菜个尺寸的范围，单位为m。1.1.2颗粒度一一选指单位体积气体中含有比特定粒径大的题粒的个数。本标准是指单位体积气体中含有粒径等于或大予0,5μm的颗粒的个数，单位为个／升。.1.2方法原理
在一定范围内单个粒子的散射光强度与其粒径的平方成正比，光线经聚光透镜和狭缝形成细小光束，投影在散射腔内形成一个光亮均勾的感光区。当含有颗粒的气体经散射腔通过敏感测量区时，颗粒物把入射光微射，散射光由吸收透镜组接收昼，经光电倍增管转换为一个正比于散射光强度的电脉冲信号。电脉冲借号经过处理，最后出计数器显示出各种大小的颗粒和数最。当采样流量和采样时间固定后，便可以计算出该固定的体积内大于此粒径的颗粒总数，并换算成颗粒的数值。2仪器和设备
2.1测量系统的仪器和设务应由减压调节阀，缓冲瓶，光散射法粒子计数器和连接管道等组成。如图1所示：
拉了计数器
题粒测量系统装置
藏压阀
被测气
2.2减压调节阀，如气体检测口原有减压调节阀，可不再安装，否卿应专门安装，以保证缓冲瓶内具有稳定的低气压。2.3缓冲瓶而采用2～51玻璃上口瓶，使用前必须经过清洁处现，2.4连接替道应采用内壁光滑于净，不吸尘、不掉生、不气的管道，如四氟乙烯、案电子工业部1987-05-18发布
1988-01-01实施
SJ279887
乙烯软管或内壁经抛光处理过的不锈钢管和铜管。连接管道应尽可能短。2.5光散射法粒了计数器由气路素统，光学系统和范路系统三天部分组成。2.5.1气路系统由采样泵，流谢节阀，高效过滤器，缓冲盆，散射晾，气套部分和气体管道等组成。当一定流量的被测气体由采伴口抽入被干净的空气气套包住。道过嫩感测量区时，被测气体中的颗粒应不会向四周扩散而全部被检测出来。气路系统应保持气密，以防止外部粒侵入。气路系统应保证采样流量稳定一般流量为500ml／min，在1h之内，流量随时间变化不得超过主2%。
2.5.2光学系统包括自炽灯，聚光透镜纽，狭缝，接收透镜组，投影透镜组喷孔遗镜，光电倍增管，光导管，遮光盘、斩被电动机等。如图2斯示。2
解设海
$J2798-87
统系学北散射光学系统
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由聚光透镜、获缝、投影透镜把白炽灯发出的光形成照度样的敏感测量区。而由案光透镜、获缝、喷孔透镜把通过该敏感测量区的粒子散射光，在光电倍增管上骤光。由光导管避光，新波电动机产牛断续光束。供给集光用的光学系统脉冲状的散射光，调整这部分的工作状态，保持粒子计数器的粒径选择能力经常稳定。整个北学系统的构造在机械冲击等握动下不引起变形。光源的电压要用稳压电源。2.5.3电路系统应由电源，光电转换部分、粒子借号放大测量部分显示部分组成。2.5.3.1仪器的电落供给电源，应采用稳压电路，电压稳定性要高，并能在外部电压波动主10%时正常L作。
2.5.3.2光电转换部分的作用是把光学系统案焦的散射北，转换成和光强度相对应的电信号。一般采用光电筱增管作光电转换嚣。2.5.3，3粒子信号放大测量部分，是把光电转换部分送米的电信号放火，处理、比较、鉴别出分别大十,3μm,1um、jm等的坐埃粒子信号，然后送至显求部分。2.5.3.4用计方式作显示部分时，是由累积选定粒径大的粒子个数的计数器或表示计数值和颗粒度的显示器纽成。带有时控电路的显示部分，可选择不同的采样时间。3测试条件
3.1环境温度5~40℃；
3.2环境相对湿度小于80%；
3.3电源电压变化小于基准值的±10%：3.4仪器周围磁场强度小于397A/m3.5仪器工作台握动小于5m/S2;
3,5被测气体中不应有油污，腐蚀性气体等有害杂质。4量步
4.1測量前的准备
4.1.1按图1所示接好测量系统，打开调节阀，通气一定时间，使测量系统内的粒子达到乎衡状态。
4.1.2接通电源，让粒子计数器经过一段规定的予热时间，使粒了计数器下作稳定。4.1.3检套采样管和自净管闭合慰否完好，按下采样显亦开关，调节采样阅，使采样流为规定的数值。
4.1.4按下检验显示开关，进行仪器白校，并调整合格。4,1.5再按下采样显示开关，经过充分自净后，所有计数器计数应为零。4.2测量
4.2.1接通测量系统，调节采样阀，控制采样流量为规定值。调节减压调节阀，维持缓冲瓶内具有稳定的较低的正乐。4.2.2为捉尚谢量准确度，加大测摄计数的采样量，一般每次测量计数的采样量至少应于 11。
4.2.3采样时间按下式计算：
式中：
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一采样时间，单位，imirit
Q-一采样量，单位，},
R——采样流量，单位，1/min。4.2.4为确保统计误差小于土10%（统计误差随粒子数平方根的倒数而变化），样品至少应含有100颗大于0.5μm的颗粒，但是，实际上不能获得100颗大于0.5μm的颗粒时，可以认为颗粒度较低。为了提离大量计数的统计准确度，必须重复三次以上测定，取读数相接近的连续三次的平均值。
5计算
按下列公式计算颗粒度：
P颗粒度，单位，个升：
N·显示个数平均值，单位，个。R采样流量，单位，1/mint
t-—--采样时间，单位，min。
6准确虚和精密度
为了确保统计误差小于10%，应至少计数有100颗大于0.5μm的题粒。统计误差随粒了数目平方根的倒数而变化。
7检测报告
检测报告应包括下列内容：
检测点t
检测气体名称；
检测目期：
检测者签名：
使用的尘埃粒子计数器型号；
采样流量：
测蛋计数采样量：
计数粒径：
捡測中出现的问题
颗粒度，单位为个／升。
8注意事项下载标准就来标准下载网
8.1粒子计数器需具有出厂合格证。必须时应由有关单位对粒子计数器的粒径选择精度，和粒子计数精度进行校准。
日.2在粒子计数器工作的状态下，期膜流量计测定取样口入的被测气流量，进行流最的调整或者流量计的校正。在1h内，先后测定两次的误差不超过2%时，取其平均值为5
校正值。
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在各种气体对应于粒子计数器的采样流量处，有不同额色的避标记。B.3维持缓冲瓶内稳定的，较低的正压。是保证测试准确的重要撒施。压力过高，不仅流量不准而且会给粒子计数器带来损害；压力过低，容易形成负压，使测试数据偏高。附加说明
本标推由中国电子学会猜净技术学会提出。出电子工业部标准化研究所主办。本标准由北京市半导体器件试验中心周定华、杜俊英、电子工业部标准化研究所赵长春起草箱修订
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