本方法适用于氢、氮、氧、氩、氦、压缩空气、磷烷、硼烷、六氟化硫等电子工业工艺用气体中微量水份露点的测定，测定范围0～90℃。 SJ 2799-1987 电子级气体中痕量水分子的测定方法 目视露点法 SJ2799-1987 标准下载解压密码：www.bzxz.net
本方法适用于氢、氮、氧、氩、氦、压缩空气、磷烷、硼烷、六氟化硫等电子工业工艺用气体中微量水份露点的测定，测定范围0～90℃。

中华人民共和国电子工业部部标准电子级气体中痕量水分子的测定方法月视露点法
SJ2799-87
本标准适用于、氮、氧、氟、氮、压缩空气、磷烷、孵烷、六氟化硫等电子工业工艺用体中微量水份露点的测定，测范间：>90℃。1定义和方法原理
1.1露点　
在恒定的压力下，辉渐冷却气体，气体中的水蒸气达列饱和时的湿度称为露点。1.2方法原理
当被测气体在恒定压力下，以一定的流速流经露点测定室中，可降低精确地测量温度的金属镜面，气体中的水蒸汽随省镜温度的降低而达到饱和，镜面上开始出现磷，此时所测到的镜面渴度即划露点
测景出气体中水份的露点后，就可以确定其水份含量。2仅器
2.1仪器的般要求
可根据测试需要选择不同方法设计的任何仪器，但应满足下述基术要求：2.1.1被测气袜进出露点测定室的流量可调。2.1.2测定室中镜面温度的下降速度可调，并能冷却到足以使水然汽在镜面凝结。2.1.3能观察露的出观并精确地测量出露点温度。2.1.4气路系统中死体认小，气续性好，露点测定索内气体应接近气压。2.1.5在-70～—90℃范围内，仪器准谛度为小于±1℃。注：要尽叫能的政慢降温速度（小于i）。2.2仪器构选
般日视露点仪器由测定案，制冷装置，温度测量系统流量调节和测量装置等组成（见附录A），分别毅述姬下：
2.2.1测定室
为了便于肉眼观察露的拍现，測定室采用选明破瑙烧削，容识约为33mm3。喷气口内径为2～2.Gm31。测定室与镜体采用螺纹联接，测定空的死休积应尽小2.2.2制冷装置
采用液氮作制冷剂，将导热性能好的金属材料如铜制成的导热摔直接插入液氮中来冷御镜面。镜体采用高导热性的金属材料，如无氧铜制，镜体过镜而部分需镀络并经抛能获得北。妇测腐蚀性较强的气体应采用谢金。错面与气体惜口的期离为2.5~3mm。如多级联足够低温时，也可采用半导体制冷。2.2.3温度测量系统
电子工业部1987-05:18发布
1988-01-01实施
S2799-87
应尽可能准确地测量出出露时镜面的温度。为了避免温度差异的影响，感温元件应尽量接近镜面并与镜体焊接牢固。
2.2.3.1感温元件
测盈露点温度，使用精密水银温度计，热电偶，热敏电阻，或铂电阻感温元件。现采用铜一糜铜热电偶。
2.2.3.2测量仪器
根据不同的感温无件采用不同的测量仪器。采用热电偶时应采用测最范为0～5m。分度值小于 0.03mv的毫伏计。
必要时应对温度测量系统进行校核。2.2.4流量调节和测堂装骨
2.2.4.1流量调节装置
测定室进气流量可以采用取样阀调节。2.2.4.2流量测量装置
应针对不同的气体，采用不同的浮子流量计。可用皂膜流盘计标定气样的测量流量。注*却压得学院率导求所究新生产的KBS—2型现露点义组够满冠测试娶求，3分析前准备
3.1取释设备
3.1.1取样阀：用死体积小的调节阀，如针形阔。3，12取样管：原则上裘用尽可能短的小口径算子。一般用长度不超过2m，内径不大于4mm的不锈钢皙，紫铜替或厚壁聚四氟乙烯管，并尽可能硬接。使用前將管道洗干净，再吹下或烘下。不允许用橡皮誉或乳胶管。3.2测试系统的联按
按附录B所示，将量系统进行联接。3.3试溺
测试系统所有接头处应无澈漏，否则会由于空气中水份的渗入而使测量结果偏高。试滑方法如下
将盛有水的匕型压力计接在仪器气体出口处，调节路压力，便U型管内压差为9.8kPa关气源，等5mir水柱1降不超过5mm，说明系统气密性良好。可燃性气体还可用膜敏仪来检查气性。
如发现系统漏气，卿应分段检查解决。3.4症度测量系统的检查
当采用热电偶测量露点时应将热电偶的冷端置于冰水混合物中。按规定校对好毫伏计零点。
4操作步媒
4.1打开取样阀，让样品气吹洗售道和测量室。一般每次测量前应吹洗1h左右。对放置后又进行应用的仪器，当待测气体中水份露点低于-60C时，应吹洗2正后才能逊行测定。SJ 2799-87
4.2调节样澳，使气休流速达到规定范围。4.3将波氮套在导热格上，整计会友映出热电偶的温差电数势。调节液面高低，控制镜面温度下降述度为2~5℃/min
4，4注意观察镜面，记下镜面刚出露麟时的mV数。4.5停止测量时，要担测量系统密封，避免空气中水份和灰尘进入。4.6热偶温差电动务与露点值的换算4.6.1热偶温差电动势露点值的计觉公式如下，Et=atr+bti+et?
式中：Et.--温差电动势，mv;
t—露点值，C;
u--3.9486876x10--
5-4.8374058×10-;
c=-1.961548X10-3,
a、b、c为铜一康铜热偶的校正蒸数。5注意事项
5.1评扰物质
固体颗粒或灰尘，以及除水蒸汽外的其他蒸汽对露点的测定有一定影响。5.1.1固休杂质和油污
如果固休杂质哦欠生不溶于水，它就不会改变露点值，但是会防碍出露的观察。此时可用脱脂棉髓上无水乙离或丙清洗镜面。必要时，对被测气体进行过滤，而过滤器对气体中水份应无吸附和解吸。
如果被测气体中有洲污，在气体逊入测定室前应该除去。5.1.2以蒸汽形式存在的杂质
碳的有机物，如经类在镜面上冷，如果烃类凝固点低于水蒸汽露点，不会影响测定反之，烃类会先与水然汽面结露。因此，水蒸汽冷凝前必须分离出烃的冷凝物。如果被测气体中含有甲醇，“它将与水起在镜面上凝结，这时得到的是甲醇和水其同的露点。
5.2冷壁效应
除麓面外，仪器其余部分和管道的溢度应至少高于气体中水份露点2C。否则，水蒸汽将在最冷点凝结，改变了气体样品中水份含量。5.3降温速度
气体样品中水份含量较低时，镜面的降溢速度应慢。因为这时水的凝结过程比较缓慢，降温速度过烘，在冰屏长和达到稳定之前，还没有观察到出露，温度以大大低于露点，这就是过冷现滚。网此，“接近露点时，镜面的冷却連度应尽司能慢。6结果处理
6.1分析结果
至小三次测定结果的算术平均值为分新结果。6,2露点和水份含最的换算
SJ 2799--87
露点换算为PpM（V／V）或绝对湿度（g/m3）可套阅附录C。报告
报告应包括下列内容：
分析期，室，大气压。
取样地点，编号，窖内压力；
样品名称：
分析结果：水份在样品气中的浓度：d.
测定时观察到的任何异常现象；该标准中来包括的即白已选择的其他操作；分析人员签名。
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瞄录A
镶面露点仪
（补充件）
1、钾罩2喷气口3镜面4.氟塑料垫围5.法兰6.橡皮垫圈7、螺丝8。热偶9，法兰盖
10.橡皮垫圈11．出口
12。热偶接线
附录B
露点测试装置圈
（补充件）
13.馨蜡
14，卡禁　
1，分析气源2.镜面露点仪3，热偶4.感温棒5，转子流盘计6。卡套接头5
含湿盘
PPm(V/V)
SJ27987
附录C
蛋点一PPm 一绝对湿度换算表
（补究件）
绝对泥度
：—30
含凝量
PPm(V/V)
绝对凝度
含显量
PPm(V/V)
$J2799--87
续上表
绝对湿度
0,06734
含显量
PPm(V/V)
绝对混度
含显量
$J2799-87
绝对湿度bzxz.net
0.0009326
0.0007717
0.0006585
0.0005610
0.0004051
0.0003434
0.0002906
0.0002455
0.0002070
0.0001742
含凝量
0,06611
0,01699
绝对度
0.0001464
0.0001228
0.0001028
0.00008582
0.00007161
9.00005960
Q,00004950
0.00004103
0.00003394
.00002802
000002308
0.00001897
0.00001555
0.00001272
0,00001039
0.0000074
0.0000046
附加说明;
—108
—114
sJ2799-87
缺上表
绝对湿度
0.0000033
0.0000016
0.0000012
0.0000008
000000052
0,00000016
本标准由中国电子学会洁净技术学会提出。由电子工业部标准化研究所主办，本标准由中国科学院半导体研究所尹恩华、郎文卉、于风来和电了工业部标准化研究所越长春趣章和峰订。
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