SJ 3244.2-1989
基本信息
标准号： SJ 3244.2-1989
中文名称：砷化镓、磷化铟衬底与异质结外延层之间晶格失配的测量方法
标准类别：电子行业标准(SJ)
标准状态：已作废
发布日期：1989-03-20
实施日期：1989-03-25
作废日期：2010-01-20
出版语种：简体中文
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下载大小：KB
标准分类号
中标分类号：综合>>标准化管理与一般规定>>A01技术管理
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出版信息
页数：5页
标准价格：8.0 元
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标准简介
SJ 3244.2-1989 砷化镓、磷化铟衬底与异质结外延层之间晶格失配的测量方法 SJ3244.2-1989 标准下载解压密码：www.bzxz.net
标准图片预览
标准内容
中华人民共和国机械电子工业部部标准砷化镓、磷化铟衬底与异质结外延层之间晶格失配的测量方法
主题内容与适用范围
SJ3244.2—89
本标准规定了异质结外延层与衬底之间晶格失配的测量原理、步骤、计算方法。本标准适用于以下范围：外延层表面晶向偏差小于1.5。多层外延层总厚度不大于10μm。2顾理：
2.1双晶测角仪结构原理
双晶测角仪结构如图1所示。
图1双晶测角仪原理图
M一X射线管：S，S2一水平狭缝；S3一垂直狭缝，A一标准晶体，B样品晶体，G一计数管，N-记录系统。
X射线经过S，、S2、S3狭缝准直后，射到标准晶体A，调整标准品体A到衍射位置，然后固定。要求铜特征辐射CuKa中只有Kαi射线射到待测样品B，调整样品到其衍射位置然后使样品在其衍射位置自动旋转一个小角度（旋转轴为入射线和反射线构成的平面的法线）。随着样品的旋转，计数管将接收到强度变化的衍射线，送到记录仪，绘出X射线强度随着样品的转角α变化的曲线，叫作回摆曲线（见图2b）2.2晶格失配的测量原理
中华人民共和国机被电子工业部1989-03-20批准1989-03-25实施
SJ3244.2---89
外延良与衬底的晶格常数不同叫做晶格失配，若外延层品格常数为αep1，衬底的晶格常数为αsub，则晶格失配表示为aepl-csub-
束X射线射到外延片样品上，一般X射线将穿过外延层到达衬底，当外延层与衬底的晶格常数存在微小差异时，按照布拉格定律在回摆曲线上外延层与衬底将以不同的布拉格角分别产生各白的衍射峰，两峰之间的角度差△α由两部分构成：Aa=9
式中：△一外延层和衬底由于晶格常数的不同而产生的衍射角度差；△中一一外延层与衬底之间存在倾斜角时产生的衍射角度差，（2).
由样品处于不同位置两次测址的△（，α2可以计算出△0及△9，进而由△可以计算出晶格失配，由于回曲线的横坐标就是角度，所以计算出的△9实际上就是外延层与衬底的倾斜角。图2表示了测量的原理。1
外延层
（a）外延层与衬鸣时产主衍射
样品转角α
（b）双品回摆曲现
图2晶格失配测量原理图
3仪器设备、测量条件
3.1仪器
a，普通x射线发生器（主机）。b，X射线双晶测角仪。bZxz.net
3.2测量条件
用Cuka1辐射。点状焦点。双晶（+一）平行排列。标准晶体为无位错单晶经机械抛光和化学抛光成镜面。晶向偏差在10°以内。采用适当窄的狭缝与标准晶体相结合。使得只有Kα1射到样品晶体，双晶都取对称反射。4测试步骤
4.1按操作规程仔细调整双晶测角仪，将标准晶体准确调整到衍射位置并固定，用计数管检验Kαl、Kα2确已分开。
SJ3244.2-89
4.2将待测样品置于测角仪样品架上。调整样品使其处于衍射位置，然后自动旋转，绘出回摆曲线，测出衬底衔射峰与外延层衍射峰之间的角度差△α：。4.3将样品绕表面法线旋转180，重复4.2操作，测得△a2。注：如果不存在或不为虑衬底与外层之间的倾斜角，则只溉盘一次，此时么=么。5试验结果的计算
5.1由两次测量所得的α△α2按下式计算△及△：0=（Aα,+Aα2)/2.
=（αAα2)/2.
5.2由Ae计算品格失配会α：
△a=-（cote△0/弧度）
式中为样品晶体的布拉格角，可以从下表查出：表：砷化镓、磷化铟（体）一些低指数面的布拉格角CuKat,X=1.5705A
h、k、1
狮化铵
(a=5.6534A)
13°39
22°40
26°524
33°2-
41°52
(dm5,869A)
21°44
25°47
31°40°
34°53'
40°1°
（3）
5.3GaInAsP/InP异质结激光器计算举例：（100）磷化钢样品取（400）反射。imp=5.869A、Qimm=31°40。coto=1.6212.实际上1\5×10-6弧度，△0以秒代入则（5）式简化为：Aa=—8.1x10-6e（秒）
5.4典型回摆曲线如图3所示
SJ3244.2—89
样品转角α(秒)
(a)外延层与村底品格匹
配商衍射峰露合（两次测量）
样品转角a（秒
e）有两个异质外建层都失配出现三个峰（一次测五）
桦品转角α(秒）
(b)典型失配曲线
（两次器载）
样品转角4（秒)
（d）外延医存在纵向组分梯度，外延峰变宽（一次测假）
图3典回摆曲线
6报告
测试报告应包括以下内容：
a，样品来源及编号，
SJ3244.2—89
品格失配-α-的计算结果；
根据双晶回摆曲线形状分析外延层质量；c.
d．测试日期及测试者。
7精度
本方法测量晶格失配的精度为0.005%。附加说明：
本标准由机械电子工业部第十三研究所起草本标准主要起草人：
孙碧云
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主题内容与适用范围
SJ3244.2—89
本标准规定了异质结外延层与衬底之间晶格失配的测量原理、步骤、计算方法。本标准适用于以下范围：外延层表面晶向偏差小于1.5。多层外延层总厚度不大于10μm。2顾理：
2.1双晶测角仪结构原理
双晶测角仪结构如图1所示。
图1双晶测角仪原理图
M一X射线管：S，S2一水平狭缝；S3一垂直狭缝，A一标准晶体，B样品晶体，G一计数管，N-记录系统。
X射线经过S，、S2、S3狭缝准直后，射到标准晶体A，调整标准品体A到衍射位置，然后固定。要求铜特征辐射CuKa中只有Kαi射线射到待测样品B，调整样品到其衍射位置然后使样品在其衍射位置自动旋转一个小角度（旋转轴为入射线和反射线构成的平面的法线）。随着样品的旋转，计数管将接收到强度变化的衍射线，送到记录仪，绘出X射线强度随着样品的转角α变化的曲线，叫作回摆曲线（见图2b）2.2晶格失配的测量原理
中华人民共和国机被电子工业部1989-03-20批准1989-03-25实施
SJ3244.2---89
外延良与衬底的晶格常数不同叫做晶格失配，若外延层品格常数为αep1，衬底的晶格常数为αsub，则晶格失配表示为aepl-csub-
束X射线射到外延片样品上，一般X射线将穿过外延层到达衬底，当外延层与衬底的晶格常数存在微小差异时，按照布拉格定律在回摆曲线上外延层与衬底将以不同的布拉格角分别产生各白的衍射峰，两峰之间的角度差△α由两部分构成：Aa=9
式中：△一外延层和衬底由于晶格常数的不同而产生的衍射角度差；△中一一外延层与衬底之间存在倾斜角时产生的衍射角度差，（2).
由样品处于不同位置两次测址的△（，α2可以计算出△0及△9，进而由△可以计算出晶格失配，由于回曲线的横坐标就是角度，所以计算出的△9实际上就是外延层与衬底的倾斜角。图2表示了测量的原理。1
外延层
（a）外延层与衬鸣时产主衍射
样品转角α
（b）双品回摆曲现
图2晶格失配测量原理图
3仪器设备、测量条件
3.1仪器
a，普通x射线发生器（主机）。b，X射线双晶测角仪。bZxz.net
3.2测量条件
用Cuka1辐射。点状焦点。双晶（+一）平行排列。标准晶体为无位错单晶经机械抛光和化学抛光成镜面。晶向偏差在10°以内。采用适当窄的狭缝与标准晶体相结合。使得只有Kα1射到样品晶体，双晶都取对称反射。4测试步骤
4.1按操作规程仔细调整双晶测角仪，将标准晶体准确调整到衍射位置并固定，用计数管检验Kαl、Kα2确已分开。
SJ3244.2-89
4.2将待测样品置于测角仪样品架上。调整样品使其处于衍射位置，然后自动旋转，绘出回摆曲线，测出衬底衔射峰与外延层衍射峰之间的角度差△α：。4.3将样品绕表面法线旋转180，重复4.2操作，测得△a2。注：如果不存在或不为虑衬底与外层之间的倾斜角，则只溉盘一次，此时么=么。5试验结果的计算
5.1由两次测量所得的α△α2按下式计算△及△：0=（Aα,+Aα2)/2.
=（αAα2)/2.
5.2由Ae计算品格失配会α：
△a=-（cote△0/弧度）
式中为样品晶体的布拉格角，可以从下表查出：表：砷化镓、磷化铟（体）一些低指数面的布拉格角CuKat,X=1.5705A
h、k、1
狮化铵
(a=5.6534A)
13°39
22°40
26°524
33°2-
41°52
(dm5,869A)
21°44
25°47
31°40°
34°53'
40°1°
（3）
5.3GaInAsP/InP异质结激光器计算举例：（100）磷化钢样品取（400）反射。imp=5.869A、Qimm=31°40。coto=1.6212.实际上1\5×10-6弧度，△0以秒代入则（5）式简化为：Aa=—8.1x10-6e（秒）
5.4典型回摆曲线如图3所示
SJ3244.2—89
样品转角α(秒)
(a)外延层与村底品格匹
配商衍射峰露合（两次测量）
样品转角a（秒
e）有两个异质外建层都失配出现三个峰（一次测五）
桦品转角α(秒）
(b)典型失配曲线
（两次器载）
样品转角4（秒)
（d）外延医存在纵向组分梯度，外延峰变宽（一次测假）
图3典回摆曲线
6报告
测试报告应包括以下内容：
a，样品来源及编号，
SJ3244.2—89
品格失配-α-的计算结果；
根据双晶回摆曲线形状分析外延层质量；c.
d．测试日期及测试者。
7精度
本方法测量晶格失配的精度为0.005%。附加说明：
本标准由机械电子工业部第十三研究所起草本标准主要起草人：
孙碧云
小提示：此标准内容仅展示完整标准里的部分截取内容，若需要完整标准请到上方自行免费下载完整标准文档。