JJG 56-2000 工具显微镜检定规程 JJG56-2000 标准下载解压密码：www.bzxz.net
本规程适用于万能工具显微镜和大、小型工具显微镜的首次检定、后续检定和使用中的检验。

中华人民共和国国家计量检定规程JJG56—2000
工具显微镜
Toolmaker's Microscope
2000-05-08发布
2000-10—01实施
国家质量技术监督局发布
JJG56—2000
工具显微镜检定规程
VerificationRegulationof
Toolmaker's Microscope
JJG56—2000
代替JJG56—1984
本规程经国家质量技术监督局于2000年05月08日批准，并自2000年10月01日起施行。
归口单位：全国几何量长度计量技术委员会起草单位：航空工业第三〇四研究所中国计量科学研究院
本规程委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释本规程主要起草人：
张玉文
参加起草人：
李景芳
JJG56—2000
（航空工业第三〇四研究所）
（中国计量科学研究院）
（航空工业第三〇四研究所）
概述·
3计量性能要求
JJGS6-2000
金属工作台面与纵横向滑板移动方向的平行度.3.1
玻璃工作台面与纵横向滑板移动的平行度，纵横向滑板移动的直线度和角摆·纵横向滑板移动的垂直度.
立柱位于零位时，光轴对工作台面的垂直度立柱位于零位时，主显微镜臂架沿立柱导轨移动方向与3.6
工作台面的垂直度
读数装置放大倍数的正确性
主显微镜放大倍数的正确性
测角显微镜处于零位时，测角目镜的十字线与滑板移动方向的平行度·测角显微镜的示值误差
读数装置的示值误差
读数装置的回程误差
仪器的示值误差
项针连同项针杆的径向跳动..
两顶针轴线与纵向滑板移动方向的平行度两顶针的重合性
测量刀垫板的上表面与项针轴线的高度差主显微镜光轴、立柱回转轴线与项针轴线的相对位置投影装置放大倍数的正确性
轮廊目镜零位的正确性
光学定位器
光学分度头
光学分度台
4通用技术要求
5计量器具控制
检定条件
检定项目.
5.3检定方法
5.4检定结果的处理
附录A检定证书的内页格式
（3）
1范围
JJG56—2000
工具显微镜检定规程
本规程适用于万能工具显微镜和大、小型工具显微镜的首次检定、后续检定和使用中的检验。
2概述
工具显微镜是一种多用途的光学机械式两坐标测量仪器。通常用影像法和轴切法测量精密机械零件的长度和角度；以直角坐标或极坐标方法测量机械零件的形状。3计量性能要求
3.1金属工作台面与纵横向滑板移动方向的平行度不大于表1的规定。
万能工具显微镜
纵向：0.01mm
横向：0.005mm
大型工具显微镜
在100mm长度上不大于0.02mm
3.2玻璃工作台面与纵横向滑板移动的平行度小型工具显微镜
在75mm长度上不大于0.02mm
万能工具显微镜不大于0.02mm；大小型工具显微镜不大于0.03mm。3.3纵横向滑板移动的直线度和角摆不大于表2的规定。
垂直方向
直线度
水平方向
万能工具显微镜
大型工具显微镜小型工具显微镜10
3.4纵横向滑板移动的垂直度
JJG56-—2000
万能工具显微镜不大于0.003mm/100mm。大型工具显微镜不大于0.005mm/50mm。小型工具显微镜不大于0.004mm/25mm。3.5立柱位于零位时，光轴对工作台面的垂直度用量块检定时，量块两工作面的影像应同等清晰。3.6立柱位于零位时，主显微镜臂架沿立柱导轨移动方向与工作台面的垂直度万能工具显微镜不大于0.06mm/100mm大小型工具显微镜不大于0.09mm/100mm
3.7读数装置放大倍数的正确性
不大于0.5μm。
3.8主显微镜放大倍数的正确性
不大于表3的规定。
目镜类型
物镜倍数
正确性
测角目镜
1×，1.5×，3x
轮廊目镜
1×，1.5x,3x
3.9测角显微镜处于零位时，测角目镜的十字线与滑板移动方向的平行度不大于1。
3.10测角显微镜的示值误差
不大于1。
3.11读数装置的示值误差
不大于0.6μm。
3.12读数装置的回程误差
万能工具显微镜：不大于0.3um。大、小型工具显微镜：不大于0.002mm。3.13仪器的示值误差
万能工具显微镜应不大于（1+L/100）μm；L为被检刻度尺长度（mm）。大、小型工具显微镜的微分筒，其任意两点间的示值误差不大于0.003mm。使用量块时的示值误差不大于表4的规定。2
测量范围mm
示值误差mm
3.14顶针连同项针杆的径向跳动JJG56—2000
外顶项针不大于0.005mm：内顶针不大于0.007mm。3.15两项针轴线与纵向滑板移动方向的平行度万能工具显微镜在垂直和水平方向上均不大于0.015mm；大小型工具显微镜在垂直方向上不大于0.04mm。3.16两顶针的重合性
两项针在水平方向上的重合性，对于万能工具显微镜，当两顶针相距20mm时不大于0.01mm：相距200mm时不大于0.02mm。对于大、小型工具显微镜，当两顶针在量程内相距任意尺寸时不大于0.02mm。3.17测量刀垫板的上表面与顶针轴线的高度差不大于0.015mm。
3.18主显微镜光轴、立柱回转轴线与顶针轴线的相对位置当立柱自零位向左右各侧转12时，引起瞄准点的位移，在左右方向上不大于0.01mm。在前后方向上不大于0.002mm（万能工具显微镜），0.003mm（大、小型工具显微镜)。
3.19投影装置放大倍数的正确性放大倍数误差不大于0.6%。
3.20轮廓目镜零位的正确性
不大于3。
3.21光学定位器
3.21.1测量杆与工作台面的垂直度当测量杆与工作台面相垂直时，定位器的三段双线影像应处于测角目镜视场中间距最大的两虚线之间。
3.21.2定位的变动性
不大于0.001mm。
3.22光学分度头
3.22.1度刻度和分刻度的相对位置和相符性度、分刻线应平行且无目力可见的视差。度刻线应对称于分刻线。分刻线与度刻度的相符性应不大于12。
3.22.2顶针连同主轴的径向跳动3
不大于0.007mm
JJG56-—2000
3.22.3项针轴线与纵向滑板移动方向的平行度不大于0.015mm
3.22.4示值误差应不大于30。
3.23光学分度台
3.23.1度刻度和分刻度刻线相对位置和相符性分、度刻线应平行且无目力可见的视差，分刻线应对称于度刻线。度刻度和分刻度的相符性应不大于12\。
3.23.2玻璃工作台面与纵横向滑板移动方向的平行度不大于0.03mm。
3.23.3工作台定中心器中心与回转中心的重合性不大于0.005mm。
3.23.4示值误差
分度值为30\的，不大于30；分度值为10\的，不大于20。4通用技术要求
外观和各部分的相互作用：
a）在仪器上应注有制造厂名或厂标，出厂编号以及MC标志。b）在各工作面上，应无锈蚀、碰伤、明显划痕及影响使用准确度的缺陷。c）光学系统的成像应清晰。视场内应无显著的和影响测量的灰尘、水渍、油迹，亮度要均匀。
d）附件的安装应可靠。
e）各活动部分的作用应平稳，无松动和卡住现象；制动螺钉的作用应切实可靠。f）当测角目镜的十字线交点与顶针轴线重合时，横向读数装置的示值为（50土0.5)mm。
g）毫米刻线尺在全长上均应清晰，应无目力可见的倾斜。h）读数装置的指标线与微米刻线、0.1毫米刻线和螺旋线应无倾斜和视差。i）使用中和修理后的仪器，应无影响使用准确度的缺陷。i）数显式计数器和微机数显式计数器应具有清零功能，其最小分辨力应不大于0.5μm。
k）数显式计数器，在移动中不丢数，其示值稳定性4h内，变化量应不大于0.5μm。
5计量器具控制
包括：首次检定、后续检定和使用中的检验。5.1检定条件
5.1.1环境条件见表5。
仪器室的温度℃
室温每小时变化℃
仪器与标准器具的温度差
仪器在室内平衡温度的时间h
标准器具在室内平衡温度的时间h5.1.2检定用设备
a）自准直仪分度值<1\
b）测微表分度值≤0.001mm
JJG56—2000
万能工具显微镜
20 ±1
c）专用平尺平行度<0.002mm，平面度<0.5μmd）二等玻璃刻度尺±0.5um
e）刀口直角尺100×63（200×100）mm90±3f）宽座角尺100×60一级
g）三等量块、二级量块
h）12面棱体±1”
i）专用心轴、刻线心轴
i）电感测微仪分辨力0.1μm
5.2检定项目
工具显微镜检定项目列于表6。
检定项目
外观及各部分相互作用
金属工作台面与纵横向滑板移动方向的平行度
玻璃工作台面与纵横向滑板的移动方向的平行度
首次检定
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后续检定
使用中检验
检定项目
纵横向滑板移动的直线度
纵、横向滑板的垂直度
JJG56—2000
表6(续）
首次检定
立柱位于零位时光轴对工作台面的垂直度
立柱位于零位时，主显微镜臂架沿立柱导轨移动方向与工作台面的垂直度
读数装置放大倍数的正确性
主显微镜放大倍数的正确性
测角目镜处于零位时，其十字线与滑板移动方向的平行度
测角目镜的示值误差
读数装置的示值误差
读数装置的回程误差
仪器的示值误差
项针连同顶针杆的径向跳动
两顶针轴线与纵向滑板移动方向的平行度
两顶尖的重合性
测量刀垫板的上表面与顶针轴线的高度差
主显微镜光轴，立柱回转轴线与顶针轴线的相对位置
后续检定
使用中检验
检定项目
投影装置放大倍数的正确性
轮廊目镜零位的正确性
光学定位器
测量杆与工作台的垂直度
定位的变动性
光学分度头
JJG56—2000
表6（续）
首次检定
分刻度与度刻度的相对位置和相符性
顶针连同主轴的径向跳动
顶针轴线与纵向滑板移动方向的平行度
示值误差
光学分度台
分刻度与度刻度的相对位置和相符性
玻璃工作台面与纵横向滑板移动方向的平行度
工作台定中心器中心与回转中心的重合性
示值误差
注：表中“+”表示应检定；“_”表示可不检定后续检定
使用中检验
5.3检定方法
5.3.1外观及各部件相互作用
以观察和试验的方法检定。
JJG56-2000
5.3.2金属工作台面与纵横向滑板移动方向的平行度用表架将测微表固定在仪器的主显微镜上。调整测微表，使其测量轴线垂直于工作台面。升降主显微镜臂架，使测微表的测量头与放置在工作台面上的专用平尺测量面相接触，并使表的示值于零位或邻近的某一值。移动纵向或横向滑板，观看测微表的示值变化。
检定万能工具显微镜时，专用平尺放置的位置：检纵向时，将平尺按纵向行程放置在工作台的前后二个位置；检横向时，将平尺按横向行程放置在工作台左中右三个位置。所有位置上测得的示值变化均不大于要求。检定大、小型工具显微镜时，在工作台的前后和左右四个方位上进行。对于大型工具显微镜，还应将回转工作台每转90°方位时按上述方法检定。上述检定结果应不大于3.1的要求。
5.3.3玻璃工作台面与纵横向滑板移动的平行度检定时，先将测微表用表架固定在主显微镜上，并调整其测量轴线垂直于工作台面。升降主显微镜臂架，使表的测量头与工作台面相接触，并使表的示值于零位或邻近的某一值。然后移动纵向或横向滑板，观看测微表的示值变化。检定万能工具显微镜时，当测微表测量头分别与工作台面的前后和中间三个纵向方位以及左中右三个横向方位接触情况下进行。检定大、小型工具显微镜时，是在测微表测量头分别与工作台面的平行于纵横向的直径位置上接触时进行。对于大型工具显微镜，还应在回转工作台每转90方位时进行检定，上述检定结果应不大于3.2的要求。5.3.4纵横向滑板移动的直线度
用自准直仪检定角摆时：将平面反射镜安置在仪器的滑板或工作台面上，自准直仪安装在仪器的基座上。检大、小型工具显微镜时，应将仪器和自准直仪安装在同一基体（如平板）上。调整自准直仪和反射镜，使其平行于滑板行程方向。将滑板以正向和反向移动全行程，按自准直仪读数。最大与最小读数的差值即为滑板移动的直线度。纵向和横向滑板移动的角摆，在水平和垂直两个方向上应不大于3.3的要求。用测微表和平尺检定直线度时：将测微表用表架固定在仪器的主显微镜上。平尺安装在仪器的工作台上，并调整至与滑板移动方向平行。调整测微表，使其测量轴线垂直于平尺测量面。升降主显微镜臂架或移动滑板，使测微表的测量头与平尺测量面接触，同时使表的示值于零位或其邻近的某一值。以正向和反向移动滑板全行程，观看测微表上示值的变化。用测微表和平尺检定纵横向滑板移动的直线度，也应在水平和垂直两个方向上进行，应不大于3.3的要求。5.3.5纵横向滑板移动的垂直度
检定时，将200mm×100mm宽面直角尺安装在仪器的工作台上。测微表借助表8
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