本标准评述了金属和非金属基体上的金属和其他无机覆盖层厚度的测定方法。这些方法仅限于在国家标准中已规定或待规定的试验，不包括某些特殊用途的试验。 GB/T 6463-2005 金属和其他无机覆盖层厚度测量方法评述 GB/T6463-2005 标准下载解压密码：www.bzxz.net
本标准评述了金属和非金属基体上的金属和其他无机覆盖层厚度的测定方法。这些方法仅限于在国家标准中已规定或待规定的试验，不包括某些特殊用途的试验。

ICS 25.220.20
中华人民共和国国家标准
GB/T 6463---2005/1S0 3882:2003代替GB/T 6463—1986
金属和其他无机覆盖层
厚度测量方法评述
Metallic and other inorganic coatings-Review of methodsof measurement of thickness
(ISO3882:2003(E),IDT)
2005-06-23发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
2005-12-01实施
GB/T6463—2005/IS03882:2003
本标推是对3/T6463—1986标准的修订，等同采用ISO3882：2003（E)金旗和其他无机覆盖层厚度测量方法评述》。
本标准按GB/T1.1的编辑要求，根据ISO3882标推重新起草。本标准对ISO3882作了如下修改：
取消了JSO3882前言,重新起草了本标准前言；一用“和标雅代替“本国际标准”一为便于使用，引用了部分采用国际标准的我国标准。本标准由中国机械工业联合会提出。本标准由全国金属与非金属覆盖层标推化技术委员会归口。本标准起草单位：机械工业表面覆盖层产品质量监督检中心。本标准主要起草人：钟立畅、姜新华、宋智玲。本标准所代替标准的历次版本发布情况为：-GB/T6463—1986。
GB/T6463--2005/IS03882:2003
本标准概达了用于测盘覆盖层厚度的各种方法，并叙述了它们的工作原理。测盘覆盖层厚度的方法可以是破坏性的或非破坏性的（见表1）。表2给出的信息在选择适合于特定用途的方法有助于厚度的测量。对所有方法起作用的仪器，制造商应在说明书中加以说明。使用不同方法测出的厚度，取决于覆盖层材料、覆益层厚度，基体和使用的仪器（见表3）例如，虽然用X射线光谱法能测最铬覆盖层的厚度，但如果厚度大下20um，测量则不准确。同样、用磁性法能测量磁性钢铁基体上金覆盖层的厚度，但大多数磁性测厚仪不能精确地测量厚度小于2Im1的金覆盖层。
适于覆盖层厚度测最的仲裁方法，应进行必要的商设。1范围
GB/T6463—2005/IS03882.2003
金属和其他无机覆盖层
厚度测量方法评述
本标评述了金属和非金属基体上的金属和其他无机盖层厚度的测量方法（见表1,表2,表3)。这些方法仅限于在国家标准中已经规定或待规定的试验，不包括基些特殊用途的试验。表1覆蓝层厚度测量方法
非被环法
双光束显微镜（光切)法(GB/T8015.2\)磁性法(GB/T4956和 GR/T 13744)涡流法（GB/T4957）
X射线光谱占法(GB/T16921)
日射线反向散射法（1S0）3543）在某些应用中可能是破坏的，
在某些应用中可能是非破坏的。规范性引用文件
溶解法：
皴坏法
显微镜（光学）法（GB/T6462)
裴索多光束F沙决（1SO3868）
轮廓仪（触针）法（GB/T11378*）扫描电子显微镜法（TSO9220）
夏最（剃离和称重）法和重盘（分析)法(IS010111)库仑法(GB/T455)
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标推达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。GB/T4955金属覆盖层覆盖层厚度测量阳极溶解库仑法(idlJSO2177）GB/T 4956磁性基体上非磁性覆盖层盖层厚度测量磁性法(1SO 2178,11)T)（R/T4957非磁性基体金属主非导电覆盖层覆盖层厚度测量涡流法（ISO2360，11)T）GB/T6462金属和氧化物覆盖层厚度测量鼎微镜法（ISO1463，IDT）GB/T8015.2铝及铝合金阳极氧化膜厚度的试验方法光束显微镜法(idl.ISO2128）GB/T 11378
GB/T 12334
GB/T 13744
GR/T 16921
金属覆盖层覆益层厚度测量轮廓仪法（ISO4518，II)T)金减和其他无机覆盖层关于厚度测量的定义和一般规则(idtISO2064）磁性和磁性基体L:电镜层厚度的测量(idt1S02361)金属覆蓝层厚度测量X射线光谱方法（e9VISC)3197）金風和非金属盖层覆盖层厚度测量β射线反向散射法ISO 3543
IS0 3868
I$O9220
IS0 10111
3术语和定义
金属和其他无机覆盖层覆盖层厚度测量裴索多光束干沙法金属覆盖层潢盖层埠度翘量扫描电子显微镜法金属和其他儿机覆盖层单位面积质景的测量重量法和化学分析法的评述本标推采用 GB,T 12334规定的术语和定义。GB/T 64632005/1S0 3882:2003
4非被坏法
4.1双光束显徽镜(光树)法(GB/T 8015.2)本仪器原为测量表面粗糙度而设计的，但世可用来测量透明和半遮明覆盖层的序度，尤其是铝的阳极氧化膜。一光.以45角投射到表面上，光束的一部分从覆盘层表面反射，另一部分则穿透覆盖层并从覆盖层与基体金属的界面反射，从显微铺目镜可以观察到两条分离图像，其距离与覆盖层厚度成正比。此方法仅适于能从观盖层与基体金属界面有足够光线反射回来，并在显微镜中显示清晰图像的灌盖层。对于透明或半透明的覆盖层，如阳极氧化膜，此方法是非破坏性法。为了测最不透明覆盖层的厚度，要去掉一小块覆盖层，因此，此方法是破坏性的，利用覆盖层表面与基体金履之间形戒一台阶产生光束的折射，测量出覆盖层厚度的绝对值。此方法不适合测量硬的阳极覆盖层、非常游（<2um)或非常厚（>100μm)的覆盖层以及糙的覆盖层。也不适合测量基体经过度喷砂处理的覆盖层。在不能使用双光束显微镜测厚法的情况下，可选用其他的方法，如：涡流法（GB/T4957)、干涉显微镜法（ISO3868）和显微镜法（GB/T6462）。此方法的测量不确定度一般小于厚度的10%。4.2磁性法(GB/T 4956和 GB/T13744)这类方法的器是测量磁体与基体金属之间受覆盖层影响的磁弓力变化，或测量通过瘦盖层和基体金属间磁通露的磁阻。
用于磁性法的所有仪器对磁性条件和试样的特征，如表面曲率，表面清洁度、表面粗糙魔、基体金属的厚度和无盖层都是敏感的。
实际上，这些方法仅限于测量磁性基体上非磁性覆益层（见GB/T4956）和磁性或非磁性基体上电镀镍层的厚度（见GB/T13744)。此方法的测量不确定度一般小于厚度的10%或1.5rm,取其中较大的值。4.3涡流法（GB/T4957）
此方法描述了一种根据覆盖层与基体之间电导率的差异而广泛应用的方法。该方法主要用于测景非磁性金属基体上非导电覆盖层和非导体上单层金属覆盖层的厚度。如巢用此方法衡最金旗基体上金旗疆益层的厚度，须特别注意所得结果的适用性。该方法是测定铝和铝合金上阳极氧化膜厚鹿的理想快速的方法，并能很好地用于现场测量。对于自催化镍覆盖层，该方法提出的测量不稳定是由于金属覆益层的导电性与磷含量的变化而引起的此方法的测不确定度一般小于厚度的10%或 0.5 μm,取其中较大的值。4.4X射线光话（GB/T16921)
此方法是利用发射和吸收X射绒光谱的装置测定金属覆盖层的厚度。使×射线发射到覆盖层表面一固定面积上，测量由覆盖层发射的二次射线蕴度或由基体发射而被覆盖层减弱的二饮射线强度。X射线强度与覆盖层厚度具有一定的关系，由校准标样确定。该方法在下列情况下精度会降低：~当基体金属中存在覆盖层的成分或者疆层中存在基体金属的成分时一当疆盖层多于两层时：
当覆盖层的化学戚分与校准标样的化学成分有大的差异时。该方法不适用于超过由相关材料的原子序数和密度确定的饱和厚度的测量。对于自催化镍覆益层，此方法仅在电键条件下的沉积层中推荐，必须知道覆盖层中的磷含量才可计算沉积层的厚度，覆盖层中群的分布也会影响测量的不确定度，须在相同生产条件下制作校准标样。市场上可购到的测厚仪的测量不确定度小于厚度的10%。4.5β射反向散射法（ISO3543）此方法采用效射性同位发射β射线并测量由试样反射的β射线反散射强度。β射线反向散射强GB/T 6463—2005/IS0 3882:2003度值应在覆盖层反向散射强度值和基体金属反散射强度值之间，只有当覆盖层材料与基体金属的原子序数相差足够大时才可测量。使用与待测试样具有相同覆盖层和基体的校推标准片校准仪器。试样测得的β射线反向散射强度用以计算覆盖层单位面积的质最，如果覆盖层的密度是均匀的，则β射线反向散射强度值与厚度成正比。
此方法可用于测量薄的覆盖层，其最大厚度是盖层原子序数的函数。该方法在较大度范围内获得的测量不确定度小于厚度的10%。5破坏法
5.1显微镜（光学）法（CB/T6462）在这种方法中，覆盖层厚度是在覆蓝层横断面放大的图像上测得的。当有0.8m的最小误差时，此方法的測量不确定度小于厚度的10%。如果精心制备试样并使用适当的仪器，该方法在重复测量时，其测量不确定度可达到0.4μm。5.2装索多光束于涉法（IS03868)完全溶解一小块覆盖层而不腐蚀基体或在电镀前掩蔽·-块，从覆层表面到基体形成·台阶，用台多光束干泌仪测量台阶的高度。此方法特别适用于测量很薄的不透明的金属覆盖层的厚度。它不适用于塘瓷覆盖层的测豆。此方法是一种实验室方法，用于测量标准片上覆盖层的厚度，以校准无损测厚仪，如β反向散射仪和X射线仪。尤其适用于测垦相当薄（微米以下)覆盖层的标准片。该方法规定了用,显微镜垂直于试样表而测量，其厚度在 0.002m～0.2 μm范围内的题盖层厚度绝对值。此方法的测量不确定度为二0.001μm。5.3轮廊仪（触针）法（GB/T11378）在制备覆盖层时掩蔽--块，或不魔蚀基体溶解---小块覆盖层，使基体与覆盖层表面形成一台阶。触针通过台阶，由电子仪器测试并记录触针的移动来测量台阶的高度。适用的商品仪器允许的测量范国为0.00002mm20nm）~0.01mm。此方法的测量不确定度小于厚度的10%。5.4扫描电子显微镜法（ISO9220）在这种方法中，覆盖层厚度是用一台扫描电了显微镜在覆盖层横截面放大的图像上测量的。此测量是在一张普通显像图或单向扫描横断层的视波信号照片工进行的。图像放大可能在整个视场上不·致，如果校准和测量不在间·切片视场.上进行，购会发生误差。在厚度测量中，放大的图像常会随时间而变化，产生进步的测量误差
此方法的测量不确定度小于厚度的10%或0.1um,取其中较大的值。5.5溶解法
5.5.1库仑法(GB/T4955)
在适当的条件下，试件作为阳极，用适当的电解液从精确限定的面积上溶解覆盖层，通过所消耗的电盘测定金属盖层的厚度
当溶解到底层材料时电位发生变化，以此表示溶解的结束点。本方法可用于测量金属和非金属基体上的金属覆盖层，
此方法的测量不确定度小于厚度的10%。5. 5.2置量(剩离和称置)法(ISO 10111)此方法在溶解摔覆盖层而不侵蚀基体的情况下，对溶解题盖层前后的试样称重，或者在溶解掉基体而不侵蚀疆盖层的情况下，对覆盖层进行称重，以测定覆盖层的质量。盖层的密度应是均匀的。覆盖层的质量除以覆盖层的面积和密度得到覆盖层厚度的平均值。该方法的局限性是不能指出存在的裸露点盖层厚度小于规定的最小值的部位。另外，每一次3882:2003
-2005/ISO
GB/T 6463-
XAXAXR
GB/T 6463--2005/IS0 3882:2003锌
GB/T6463—2005/ISO3882:2003
的测量值是整个测量区城内的平均值：这里不能进行更多的数学处理，如统计步骤的控制。此好法的测量不确定度在很大的厚度范围内小于5%。5.5.3置量（分析）法（1$010111)在此方法中，无论基体材料是否溶解，采用化学分析法测定溶解的覆虚层金底的含量，以测定题盖层的质量。
覆盖层的质量除以覆盖层的面积和密度得到疆盖层厚度的平均值。本方法规定如下：
一如果在覆盖层和底层或基体金属中存在相同的金属，用此方法是不可靠的；不能指山测量区域内存在的裸露点或覆益层厚度小于规定的最小值的部位，每一次的测量值是整个测量区域内的平均值：这里不能进行更多的数学处理，如统计步骤的控制。
此方法的测量不确定度在很大的厚度范围内一般小于5%。表3夏益层厚度测量必的典型厚度范围器类型www.bzxz.net
避性法(用于钢铁上非磁性覆盖层）磁性法（用于锦薇盖芸）
涡流法
X射线光谱法
β射线反向散射法
双光束显微镜法
库仑法
显微镜法
轮离仪法
扫摘电子显微镜法
注1：规定的厚度范围代表以下情况：市场出警的标准型号器！
一使用大的，平的和光滑的试样；典型厚度范围*/μm
5-7500
5~-2000
0.25 ~~25
0. 1～1000
0. 25~100
4～数百
0.002-100
1～数直
采用普通电镀、白继化镀、阻极氧化或糖瓷的覆盖层；……小心细致的操作。
有关标准
GB/T4956
GB/T13744
GB/T 4957
GB/T16921
1SO9543
GB/T 8015.2
GB/T4955
GB/T 6462
GB/T 11378
ISO9220
实际范闻值取决于试样的基体材料、覆荒层材料、形状、尺寸和仪器的制作与型号等齿素，已规定的范固值常常由于避量技术和仪器的改进而扩宽，任何一台仪器都不可能包括各类仪器所测出的全部范图值。注 2:通常,当厚度在范围似下限的1/10 时,其测量不确定度大约可达 100%,因此显微糖法的测量术确定度为 4 μm的 1/1G,即 0. 4 μm。表中的数值是由仪器制造厂提供的。L厚度范围含有小于厚度10%的不确定度。穆考文献
GB/T6463—2005/ISO3882:2003
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[7]BIKULCIUS,G.,Plating and surface finishing，August 1997,84(8),30
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