GB/T 19921-2005
基本信息
标准号： GB/T 19921-2005
中文名称：硅抛光片表面颗粒测试方法
标准类别：国家标准(GB)
标准状态：现行
发布日期：2005-09-19
实施日期：2006-04-01
出版语种：简体中文
下载格式：.rar.pdf
下载大小：KB
标准分类号
标准ICS号：冶金>>金属材料试验>>77.040.01金属材料试验综合
中标分类号：冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法
关联标准
采标情况：SEMI M25-1995 NEQ SEMI M35-0299 NEQ SEMI M50-1101 NEQ ASTM F1620-1996 NEQ ASTM F1621-1996 NEQ
出版信息
出版社：中国标准出版社
书号：155066.1-26924
页数：16开， 页数：10， 字数：16千字
标准价格：10.0 元
计划单号：20000544-T-610
出版日期：2005-12-16
相关单位信息
首发日期：2005-09-19
起草人：孙燕、卢立延、董慧燕、刘红艳、翟富义
起草单位：北京有色金属研究总院
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
提出单位：中国有色金属工业协会
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门：中国有色金属工业协会
标准简介
本标准规定了应用扫描表面检查系统(SSIS)对硅抛光片表面颗粒进行测试、计数和报告的程序。本标准适用于硅抛光片，也可适用于硅外延片或其他镜面抛光片(如化合物抛光片)。本标准也适用于观测硅抛光片表面的划痕、桔皮、凹坑、波纹等缺陷，但这些缺陷的检测、分类依赖于设备的功能，并与检测时的初始设置有关。 GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法 GB/T19921-2005 标准下载解压密码：www.bzxz.net