基本信息

标准号： GB/T 11073-2007

中文名称：硅片径向电阻率变化的测量方法

标准类别：国家标准(GB)

标准状态：现行

发布日期：2007-12-18

实施日期：2008-02-01

出版语种：简体中文

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标准分类号

标准ICS号：冶金>>金属材料试验>>77.040.01金属材料试验综合

中标分类号：冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法

关联标准

替代情况：替代GB/T 11073-1989

采标情况：MOD ASTM F 81-1901

出版信息

出版社：中国标准出版社

页数：16页

标准价格：16.0 元

计划单号：20031799-T-610

出版日期：2008-02-01

相关单位信息

首发日期：1989-03-31

起草人：梁洪、覃锐兵、王炎

起草单位：峨嵋山半导体材料厂

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

提出单位：中国有色金属工业协会

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会

主管部门：中国有色金属工业协会

标准简介