GB/T 11446.9-1997
基本信息
标准号： GB/T 11446.9-1997
中文名称：电子级水中微粒的仪器测试方法
标准类别：国家标准(GB)
英文名称： Instrumental test method for particles in electronic grade water
标准状态：现行
发布日期：1997-09-01
实施日期：1998-09-01
出版语种：简体中文
下载格式：.rar.pdf
下载大小：112018
标准分类号
标准ICS号：31.030
中标分类号：电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料
出版信息
出版社：中国标准出版社
页数：2页
标准价格：8.0 元
相关单位信息
首发日期：1989-06-22
复审日期：2004-10-14
起草单位：中国科学院半导体研究所
归口单位：信息产业部（电子）
发布部门：国家技术监督局
主管部门：信息产业部（电子）
标准简介
本标准规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。本标准适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数，测定的粒径大于或等于0.5μm，微粒的浓度为(0～10 000)个/mL。 GB/T 11446.9-1997 电子级水中微粒的仪器测试方法 GB/T11446.9-1997 标准下载解压密码：www.bzxz.net
标准图片预览
标准内容
GB/T 11446. 3-11446. 10—1997言
GB/T11446.3~11446.10—1997是分别对GB11446.3—89电子级水测方法通则》、GB11446.4—89《电子级水电阻率的测试方法》、GB11446.5--89电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法》,GB11446.6-89《电子级水中痕量二氧化硅的分光光度测试方法》，GB11446.7—89“电子级水中痕量离子的离子色谱测试方法》，GB11446.8—89《电子级水中总有机碳的测试方法》、GB11116.9:89电子级水中微粒的仪器测试方法》.GB11446.10—89《电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法》进行修订。
由于GB/T11446.1增加了金属镍、硝酸根离子、磷酸根离子、硫胶根离厂的技术指标，在本标准中增加了原子吸收分光光度法测定金属镍以及用离下色谱法测定硝酸根，磷酸根，硫酸根的测试方法。细菌的测试方法只用滤膜培法，对测总有机碳方法也作了全新改写，对测试方法通则，测电阻率的方法，全硅的测定\方法等都作了些修订并重新改写。本标推从实施之日起，同时代弊G13 11446.3~11446.1089.
本标准由中华人民共和国电子工业部提出。本标小电子工亚部标准化研究所问口。本标准起草单位：中国科学院半导体研究所，电工业部标准化研究所。本标准主要起草人;闻瑞梅、李晓英,王在忠、徐学敏、有盼、刘任重、许秀欣。..com1范围
中华人民共和国国家标准
电子级水中微粒的仪器测试方法Test method for particles in electronicgrade water hy instrument
本标推规定『电子级水中微粒的仪器测定方法。GB/T 11446.9—1997
代替 G 11446. 9—89
本标准适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数，测定的粒径人于或等于0.5μm，微粒的浓度为(0~10 000)个/mL。
2引用标准
下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应操讨使下列标准最新版本的可能性。GB/T11446-1—1997电子级水
GB/T11446.3—1997电了级水测试方法通则3定义
3.1微粒 particle
除气体以外，分散在水中并和水形成一个均勾液相的物质。高纯水中所说的微粒是指小于1m的胶体颗粒,也包括微生物及其户体、碎片等。4原理
一束经聚焦的激光垂直于水样流向方问入射，水中的微粒将产生光散射效应，散射光的强度与微粒的大小具有一定的关系，散射光经骤光镜会骤到光电倍增，将光信号变成电脉冲，电脉冲的数目和幅度分别与水中微粒的数目和直径成正比；电脉冲信号经放大后，输入微机，再经微机处理后，显示或打印出检测结果。
本方法的原理方框图如下；
He-Ne瞰光光源
聚光系貌
微机输出
国家技术监督离1997-09-01 批准散射腺
蔡光系统
电转换系统
放大系统
倍号处理系统
1998-09-01实施
5试剂
GB/T 11446.9---1997下载标准就来标准下载网
空白用水应符合GB/T11446.1电子级水T级。6仪器
带有微机的激光散射式亚微米级液体中粒子计数和检测仪器。7测试步骤
7.1仅器測试前的准备
按仪器说明书开房电源，使仪器进入准备工作状态。7.2测试方式选择
7.2.1连续梯：先用去油洗涤剂清洗管道，再通EW-I级电子水冲洗30111，按仪器连续测试的操作规程进行测试。
7.2.2单次采样：采样瓶先去油洗涤剂清洗，再用EW.级电子级水清洗，然后取样瓶4/5体积的水样并加盖置于洁净室中备用。采样瓶在取样前,用孔径 0. 2 um 微孔滤膜过滤过的水冲洗数次。取样时应正外界的污染。然后接仪器单饮测试的操作规程进行测量。8检测结果的计算
按下式计算每毫升水中的微粒数：F
式中，P——每毫升水样中的微粒数.个/mL，>./
P,—→第i次测最的水样中的微粒数-个/m1.tn—-测量的次数(本标推规定 n25)。9分析误差
本方法的相对偏差小于20%。
10试验报告
试验报告的格式按GB/T 11446.3—1997第6章要求。11注意事项
11.1采样及测试过程中防止外界污染采样过程，容器,环境及检测腔的污染，水中的气泡和测显过程的振动，水流速度的变化也会影响测量，因此，应在100级的洁净室内进行测量。水流速度必须稳定。11.2实验室和环境的温度必须稳定，最好在10℃~30C之间。11.3水样不能搅动.应静止30m1n活再测定。11.4本方法使用的仪器应定期进行校正。..com
小提示：此标准内容仅展示完整标准里的部分截取内容，若需要完整标准请到上方自行免费下载完整标准文档。
GB/T11446.3~11446.10—1997是分别对GB11446.3—89电子级水测方法通则》、GB11446.4—89《电子级水电阻率的测试方法》、GB11446.5--89电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法》,GB11446.6-89《电子级水中痕量二氧化硅的分光光度测试方法》，GB11446.7—89“电子级水中痕量离子的离子色谱测试方法》，GB11446.8—89《电子级水中总有机碳的测试方法》、GB11116.9:89电子级水中微粒的仪器测试方法》.GB11446.10—89《电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法》进行修订。
由于GB/T11446.1增加了金属镍、硝酸根离子、磷酸根离子、硫胶根离厂的技术指标，在本标准中增加了原子吸收分光光度法测定金属镍以及用离下色谱法测定硝酸根，磷酸根，硫酸根的测试方法。细菌的测试方法只用滤膜培法，对测总有机碳方法也作了全新改写，对测试方法通则，测电阻率的方法，全硅的测定\方法等都作了些修订并重新改写。本标推从实施之日起，同时代弊G13 11446.3~11446.1089.
本标准由中华人民共和国电子工业部提出。本标小电子工亚部标准化研究所问口。本标准起草单位：中国科学院半导体研究所，电工业部标准化研究所。本标准主要起草人;闻瑞梅、李晓英,王在忠、徐学敏、有盼、刘任重、许秀欣。..com1范围
中华人民共和国国家标准
电子级水中微粒的仪器测试方法Test method for particles in electronicgrade water hy instrument
本标推规定『电子级水中微粒的仪器测定方法。GB/T 11446.9—1997
代替 G 11446. 9—89
本标准适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数，测定的粒径人于或等于0.5μm，微粒的浓度为(0~10 000)个/mL。
2引用标准
下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应操讨使下列标准最新版本的可能性。GB/T11446-1—1997电子级水
GB/T11446.3—1997电了级水测试方法通则3定义
3.1微粒 particle
除气体以外，分散在水中并和水形成一个均勾液相的物质。高纯水中所说的微粒是指小于1m的胶体颗粒,也包括微生物及其户体、碎片等。4原理
一束经聚焦的激光垂直于水样流向方问入射，水中的微粒将产生光散射效应，散射光的强度与微粒的大小具有一定的关系，散射光经骤光镜会骤到光电倍增，将光信号变成电脉冲，电脉冲的数目和幅度分别与水中微粒的数目和直径成正比；电脉冲信号经放大后，输入微机，再经微机处理后，显示或打印出检测结果。
本方法的原理方框图如下；
He-Ne瞰光光源
聚光系貌
微机输出
国家技术监督离1997-09-01 批准散射腺
蔡光系统
电转换系统
放大系统
倍号处理系统
1998-09-01实施
5试剂
GB/T 11446.9---1997下载标准就来标准下载网
空白用水应符合GB/T11446.1电子级水T级。6仪器
带有微机的激光散射式亚微米级液体中粒子计数和检测仪器。7测试步骤
7.1仅器測试前的准备
按仪器说明书开房电源，使仪器进入准备工作状态。7.2测试方式选择
7.2.1连续梯：先用去油洗涤剂清洗管道，再通EW-I级电子水冲洗30111，按仪器连续测试的操作规程进行测试。
7.2.2单次采样：采样瓶先去油洗涤剂清洗，再用EW.级电子级水清洗，然后取样瓶4/5体积的水样并加盖置于洁净室中备用。采样瓶在取样前,用孔径 0. 2 um 微孔滤膜过滤过的水冲洗数次。取样时应正外界的污染。然后接仪器单饮测试的操作规程进行测量。8检测结果的计算
按下式计算每毫升水中的微粒数：F
式中，P——每毫升水样中的微粒数.个/mL，>./
P,—→第i次测最的水样中的微粒数-个/m1.tn—-测量的次数(本标推规定 n25)。9分析误差
本方法的相对偏差小于20%。
10试验报告
试验报告的格式按GB/T 11446.3—1997第6章要求。11注意事项
11.1采样及测试过程中防止外界污染采样过程，容器,环境及检测腔的污染，水中的气泡和测显过程的振动，水流速度的变化也会影响测量，因此，应在100级的洁净室内进行测量。水流速度必须稳定。11.2实验室和环境的温度必须稳定，最好在10℃~30C之间。11.3水样不能搅动.应静止30m1n活再测定。11.4本方法使用的仪器应定期进行校正。..com
小提示：此标准内容仅展示完整标准里的部分截取内容，若需要完整标准请到上方自行免费下载完整标准文档。