QB/T 4540-2013
基本信息
标准号： QB/T 4540-2013
中文名称：超高压短弧汞灯
标准类别：其他行业标准
英文名称：Super high pressure short-arc mercury lamp
标准状态：现行
发布日期：2013-10-17
实施日期：2014-03-01
出版语种：简体中文
下载格式：.pdf .zip
下载大小：3291480
标准分类号
标准ICS号：电气工程>>电灯及有关装置>>29.140.30荧光灯、放电灯
中标分类号：电工>>电气照明>>K71电光源产品
关联标准
出版信息
出版社：中国轻工业出版社
页数：9页
标准价格：16.0
出版日期：2014-03-01
相关单位信息
起草人：徐琴玉、范建清、迮其坤、曹茂军等
起草单位：常州玉宇电光器件有限公司、常州凯凯照明电器有限公司、宁波亚茂照明电器有限公司、北京电光源研究所
归口单位：全国照明电器标准化技术委员会（SAC/TC 224）
提出单位：中国轻工业联合会
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
主管部门：全国照明电器标准化技术委员会（SAC/TC 224）
标准简介
本标准规定了超高压短弧汞灯的型号命名、主要尺寸、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输及储存。
本标准适用于光刻、光固化、老化试验等设备中的曝光用直流超高压短弧汞灯。
标准图片预览
标准内容
ICS29.140.30
分类号：K71
备案号：42347-2013
中华人民共和国轻工行业标准
QB/T4540-2013
超高压短弧汞灯
Superhigh pressure short-arc mercurylamp2013-10-17发布
中华人民共和国工业和信息化部2014-03-01实施
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。本标准由中国轻工业联合会提出。QB/T4540-2013
本标准由全国照明电器标准化技术委员会（SAC/TC224）归口。本标准起草单位：常州玉宇电光器件有限公司、常州凯凯照明电器有限公司、宁波亚茂照明电器有限公司、北京电光源研究所、
本标准主要起草人：徐琴玉、范建清、迮其坤、曹茂军、江娜、段彦芳。1范围
超高压短弧汞灯
QB/T4540-2013
本标准规定了超高压短弧汞灯（以下简称“灯”）的术语和定义、分类和型号命名、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于光刻、光固化、老化试验等设备中的曝光用直流超高压短弧汞灯。2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T191包装储运图示标志（GB/T19I-2008，1SO780：1997，MOD）GB/T2423.6电T电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Eb和导则：碰撞（GB/T2423.6—1995,IEC68-2-29:1987，IDT)第2部分：试验方法试验Ed：自由跌落（GB/T2423.8-GB/T2423.8电工电子产品环境试验1995，IEC68-2-32:1990,IDT)
GB/T2423.10电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Fc：振动（正弦）（GB/T2423.102008,IEC60068-2-6:1995，IDT）GB/T2829周期检验计数抽样程序及表（适用于对过程稳定性的检验）GB/T2900.65电工术语照明（GB/T2900.65—2004，IEC60050-845：1987，MOD）3术语和定义
GB/T2900.65界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1
初始光通量initial luminousflux灯老炼10h所测得的光通量。
寿命lifetime
在规定的条件下，当灯的光通量衰减至初始光通量极限值70%时所累计的时间。3.3
节average life
平均寿命
被试验灯寿命的算术平均值。个别灯的寿命不应低于平均寿命的50%，当灯点燃至规定平均寿命150%时，该灯寿命试验结束。
4分类和型号命名
4.1分类
灯按照使用时的不同点燃位置分为如下两种点燃形式：点燃时阳极在上方，阴极在下方：点燃时阴极在上方，阳极在下方。4.2型号命名
型号表示为：
QB/T4540-2013
示例：
点燃位置：A表示阳极在上方，K表示阴极在上方工作状态：Z表示直流型
功率：用数字表示，单位为瓦（W）灯的代号：GCQ表示超高压短弧汞灯GCQ5000Z/A表示点燃时阳极在上方的5000W直流型超高压短弧录灯：GCQ5000Z/K表示点燃时阴极在上.方的5000W直流型超高压短弧汞灯。5要求
5.1外形及主要尺寸
灯的外形及主要尺寸应符合图1和表1的要求。a)
灯的型号
GCQ200Z/K
GCQ250Z/K
GCQ350Z/K
GCQ500Z/K
GCQ1000Z/K
全长L
图1灯的外形
灯的主要尺寸
主要尺寸/mm
安装长度L
基本尺寸
光中心高度a
基本尺寸公差
灯头形式
SFc10-4
SFe13-5
SFc10-4
SFc13-5
SFe15-6
SFc10-4
SFc13-5
SFc10-4
SFe13-5
SFe15-6
灯的型号
GCQ2000Z/A
GCQ3500Z/A
GCQ5000ZIA
全长L
表1（续）
主要尺寸/mm
安装长度L2
基本尺寸
注：灯头形式，根据需求，可作调整。5.2
电参数及平均寿命
灯的光、电参数及平均寿命应符合表2的要求。光中心高度α
基本尺寸
电参数及平均寿命
灯的光、
灯的型号
GCQ200Z/K
GCQ250Z/K
GCQ350Z/K
GCQ500Z/K
GCQ1000Z/K
GCQ2000Z/A
GCQ3500Z/A
GCQ5000Z/A
5.3外观质量
工作电流/A
92~108
工作电压N
额定值
5.3.1灯的球泡部分应清洁，无发黑、失透等玻璃缺陷。5.3.2灯头银焊头应光洁、圆滑，无影响使用的焊接缺陷。5.3.3灯两端的保温涂层应无斑脱和发黑现象。5.4灯头牢固度
在1N·m的扭力矩作用下，灯头不应有松动现象。5.5同轴度
灯的同轴度应符合表3要求。
表3灯的同轴度
灯的安装长度
≤215
216~322
323~380
QB/T4540-2013
灯头形式
SFc27-8
SFc28-10
SFax33.5-8
初始光通量/m
额定值
158000
225000
极限值
135000
200000
同轴度
SFc27-8
SFc28-10
SFc33.5-14
寿命/
点燃位置
垂直，阴极在上
垂直，阴极在上
垂直，阴极在上
垂直，阴极在上
垂直，阴极在上
垂直，阳极在上
垂直，阳极在上
垂直，阳极在上
单位为毫米
QB/T4540-2013
5.6启动性能
接通电源，触发器工作后2s内灯应能正常点燃。5.7耐振动性能
灯包装后应有良好的耐振动性能，经振动试验后，灯应完整无损，并能正常点燃。5.8耐碰撞性能
灯包装后应有良好的碰撞性能，经碰撞试验后，灯应完整无损，并能正常点燃。5.9耐跌落性能
灯包装后应有良好的耐跌落性能，经跌落试验后，灯应完整无损，并能正常点燃。6试验方法
6.1试验条件
6.1.1灯应置于有金属罩壳防护的专用灯箱中进行试验。6.1.2试验用电源应是恒功率电源，其电流纹波系数应优于0.5%，所配用触发器的触发电压幅值应在15kV～25kV，且震荡的中心频率应在5MHz。6.1.3试验时，功率小于500W的灯可自然冷却；500W及以上的灯应对其灯头部位进行风冷，但风冷部位不应为泡壳部分。
6.1.4灯的点燃位置应满足表2所示要求。6.2外形及主要尺寸
用通用或专用的量具进行检验。6.3光、电参数及平均寿命
6.3.1工作电压
灯的工作电压的测量在图2所示测试线路中进行。正
恒功率控制器
S一触发器：V-直流电压表：W-
—功率表：A一直流电流表：R一可变电阻：L一被测灯。图2测试线路
6.3.2光通量
灯的光通量在标准积分球中进行测量。为保证测量精度，500W以下的灯在1m积分球中进行测量，500W及以上的灯在2m积分球中进行测量，测量误差应小于5%。6.3.3平均寿命
在专用的灯箱中将灯调试在额定功率下进行平均寿命试验，每点燃8h关闭一次，每次关闭时间不少于30min。至光通量衰减至表2所对应灯功率极限值的70%时，所累计的时间为灯的寿命。在寿命试4
QB/T4540—2013
验过程中由于机械或电路故障等引起灯的损坏不应计算在内，可换灯测试。整批灯试验结束后，可根据3.3计算出灯的平均寿命。寿命试验过程中，在平均寿命值的50%及70%时间时应对受试灯的光通量进行测试。
6.4外观质量
用目视法或标样对比法检验。
6.5灯头牢固度
采用专用的工具进行检验，扭力矩从零逐渐增加至规定值，目测检验灯头是否出现松动。6.6同轴度
用目视法检验。遇到争议时可在图3所示的测量装置上进行。测量时将灯头的一端垂直安装在夹具中，将灯缓慢绕轴转一圈，由指示量具上显示出最大读数和最小读数之差的1/2，即为灯的同轴度值。千分表
旋转装置
图3灯的同轴度测量装置
6.7启动性能
在触发器高频、高压输出导线与周围环境和机壳的绝缘性保持良好的状态下接通电源。6.8耐振动性能
按GB/T2423.10的规定，采用试验Fc方法进行试验，试验频率50Hz，振动幅度1mm（单振幅），在相互垂直的轴线上各持续振动10min。6.9耐碰撞性能
按GB/T2423.6的规定，采用试验Eb方法进行试验，峰值加速度100m/s2，持续时间16ms，按包装运输方向碰撞1000次。
6.10耐跌落性能
按GB/T2423.8的规定，采用试验Ed方法进行试验，跌落高度250mm，共跌落2次。7检验规则
7.1检验分类
产品检验分出厂检验和型式检验。7.2出厂检验
7.2.1出厂检验见表4。
QB/T4540-2013
检验项目
外形尺寸
光中心高度
灯电压
同轴度
启动性能
表4出厂检验
7.2.2灯的出厂检验应按出厂检验项目进行全检，剔除不合格品。7.3型式检验
试验方法
7.3.1型式检验应按GB/T2829要求，从出厂检验合格的灯中随机抽取。型式检验前，所有样品应按出厂试验的项目进行100%的检验，若发现不合格品，则以合格品换取，同时应分析原因，记入型式检验报告中，但不作为型式检验结果的鉴定依据。7.3.2型式检验应符合表5规定。表5
型式检验
检验项目
初始光通量
灯头牢固度
振动试验
磁撞试验
跌落试验
平均寿命
试验方法
抽样方案
按GB/T2829
次抽样方案
判别水平
样本数
判别数组
[0,1][2,2]
每个规格不少于3只，按照3.3判别型式检验每12个月不少于1次，或在出现下列情况中任意一项时进行：a）新产品试制定型时：
材料有较大改变时；
b）正式投产后在结构、工艺、
c）停产12个月以上恢复生产时。8标志、包装、运输和贮存
8.1标志
8.1.1每只灯的灯头上应有以下清晰的标志：a）灯的规格、型号；下载标准就来标准下载网
b）制造厂商标：
c）制造日期（年、季或月）。
8.1.2灯的包装盒上应有以下清晰的标志：a）灯的名称、型号：
b）标准编号：
c）制造商商标及名称、地址。
8.1.3灯的外包装箱上，除应符合8.1.2的规定外，还应注明：a）灯数量；
b）包装日期：
c）符合GB/T191规定的包装储运图示标志。8.2包装
QB/T4540-2013
灯的包装应牢固并具有良好的耐振性能。每只包装盒应附有产品说明书和合格证。8.3运输
产品运输过程中应防止雨雪淋袭和强烈的震动及冲击购存
灯应贮存在相对湿度不超过85%的干燥、通风，且没有腐蚀性气体的室内。7
QB/T4540-2013
中华人民共和国
轻工行业标准
超高压短弧汞灯
QB/T4540-2013
中国轻工业出版社出版发行
地址：北京东长安街6号
邮政编码：100740
发行电话：（010)65241695
网址：http：/www.chlip.com.cnEmail:club@chlip.com.cn
轻工业标准化编辑出版委员会编辑地址：北京西城区下斜街29号
邮政编码：100053
电话：(010)68049923/24/25
版权所有1
侵权必究
书号：155019·4133
印数：1-200册
定价：16.00元
小提示：此标准内容仅展示完整标准里的部分截取内容，若需要完整标准请到上方自行免费下载完整标准文档。
分类号：K71
备案号：42347-2013
中华人民共和国轻工行业标准
QB/T4540-2013
超高压短弧汞灯
Superhigh pressure short-arc mercurylamp2013-10-17发布
中华人民共和国工业和信息化部2014-03-01实施
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。本标准由中国轻工业联合会提出。QB/T4540-2013
本标准由全国照明电器标准化技术委员会（SAC/TC224）归口。本标准起草单位：常州玉宇电光器件有限公司、常州凯凯照明电器有限公司、宁波亚茂照明电器有限公司、北京电光源研究所、
本标准主要起草人：徐琴玉、范建清、迮其坤、曹茂军、江娜、段彦芳。1范围
超高压短弧汞灯
QB/T4540-2013
本标准规定了超高压短弧汞灯（以下简称“灯”）的术语和定义、分类和型号命名、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于光刻、光固化、老化试验等设备中的曝光用直流超高压短弧汞灯。2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T191包装储运图示标志（GB/T19I-2008，1SO780：1997，MOD）GB/T2423.6电T电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Eb和导则：碰撞（GB/T2423.6—1995,IEC68-2-29:1987，IDT)第2部分：试验方法试验Ed：自由跌落（GB/T2423.8-GB/T2423.8电工电子产品环境试验1995，IEC68-2-32:1990,IDT)
GB/T2423.10电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Fc：振动（正弦）（GB/T2423.102008,IEC60068-2-6:1995，IDT）GB/T2829周期检验计数抽样程序及表（适用于对过程稳定性的检验）GB/T2900.65电工术语照明（GB/T2900.65—2004，IEC60050-845：1987，MOD）3术语和定义
GB/T2900.65界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1
初始光通量initial luminousflux灯老炼10h所测得的光通量。
寿命lifetime
在规定的条件下，当灯的光通量衰减至初始光通量极限值70%时所累计的时间。3.3
节average life
平均寿命
被试验灯寿命的算术平均值。个别灯的寿命不应低于平均寿命的50%，当灯点燃至规定平均寿命150%时，该灯寿命试验结束。
4分类和型号命名
4.1分类
灯按照使用时的不同点燃位置分为如下两种点燃形式：点燃时阳极在上方，阴极在下方：点燃时阴极在上方，阳极在下方。4.2型号命名
型号表示为：
QB/T4540-2013
示例：
点燃位置：A表示阳极在上方，K表示阴极在上方工作状态：Z表示直流型
功率：用数字表示，单位为瓦（W）灯的代号：GCQ表示超高压短弧汞灯GCQ5000Z/A表示点燃时阳极在上方的5000W直流型超高压短弧录灯：GCQ5000Z/K表示点燃时阴极在上.方的5000W直流型超高压短弧汞灯。5要求
5.1外形及主要尺寸
灯的外形及主要尺寸应符合图1和表1的要求。a)
灯的型号
GCQ200Z/K
GCQ250Z/K
GCQ350Z/K
GCQ500Z/K
GCQ1000Z/K
全长L
图1灯的外形
灯的主要尺寸
主要尺寸/mm
安装长度L
基本尺寸
光中心高度a
基本尺寸公差
灯头形式
SFc10-4
SFe13-5
SFc10-4
SFc13-5
SFe15-6
SFc10-4
SFc13-5
SFc10-4
SFe13-5
SFe15-6
灯的型号
GCQ2000Z/A
GCQ3500Z/A
GCQ5000ZIA
全长L
表1（续）
主要尺寸/mm
安装长度L2
基本尺寸
注：灯头形式，根据需求，可作调整。5.2
电参数及平均寿命
灯的光、电参数及平均寿命应符合表2的要求。光中心高度α
基本尺寸
电参数及平均寿命
灯的光、
灯的型号
GCQ200Z/K
GCQ250Z/K
GCQ350Z/K
GCQ500Z/K
GCQ1000Z/K
GCQ2000Z/A
GCQ3500Z/A
GCQ5000Z/A
5.3外观质量
工作电流/A
92~108
工作电压N
额定值
5.3.1灯的球泡部分应清洁，无发黑、失透等玻璃缺陷。5.3.2灯头银焊头应光洁、圆滑，无影响使用的焊接缺陷。5.3.3灯两端的保温涂层应无斑脱和发黑现象。5.4灯头牢固度
在1N·m的扭力矩作用下，灯头不应有松动现象。5.5同轴度
灯的同轴度应符合表3要求。
表3灯的同轴度
灯的安装长度
≤215
216~322
323~380
QB/T4540-2013
灯头形式
SFc27-8
SFc28-10
SFax33.5-8
初始光通量/m
额定值
158000
225000
极限值
135000
200000
同轴度
SFc27-8
SFc28-10
SFc33.5-14
寿命/
点燃位置
垂直，阴极在上
垂直，阴极在上
垂直，阴极在上
垂直，阴极在上
垂直，阴极在上
垂直，阳极在上
垂直，阳极在上
垂直，阳极在上
单位为毫米
QB/T4540-2013
5.6启动性能
接通电源，触发器工作后2s内灯应能正常点燃。5.7耐振动性能
灯包装后应有良好的耐振动性能，经振动试验后，灯应完整无损，并能正常点燃。5.8耐碰撞性能
灯包装后应有良好的碰撞性能，经碰撞试验后，灯应完整无损，并能正常点燃。5.9耐跌落性能
灯包装后应有良好的耐跌落性能，经跌落试验后，灯应完整无损，并能正常点燃。6试验方法
6.1试验条件
6.1.1灯应置于有金属罩壳防护的专用灯箱中进行试验。6.1.2试验用电源应是恒功率电源，其电流纹波系数应优于0.5%，所配用触发器的触发电压幅值应在15kV～25kV，且震荡的中心频率应在5MHz。6.1.3试验时，功率小于500W的灯可自然冷却；500W及以上的灯应对其灯头部位进行风冷，但风冷部位不应为泡壳部分。
6.1.4灯的点燃位置应满足表2所示要求。6.2外形及主要尺寸
用通用或专用的量具进行检验。6.3光、电参数及平均寿命
6.3.1工作电压
灯的工作电压的测量在图2所示测试线路中进行。正
恒功率控制器
S一触发器：V-直流电压表：W-
—功率表：A一直流电流表：R一可变电阻：L一被测灯。图2测试线路
6.3.2光通量
灯的光通量在标准积分球中进行测量。为保证测量精度，500W以下的灯在1m积分球中进行测量，500W及以上的灯在2m积分球中进行测量，测量误差应小于5%。6.3.3平均寿命
在专用的灯箱中将灯调试在额定功率下进行平均寿命试验，每点燃8h关闭一次，每次关闭时间不少于30min。至光通量衰减至表2所对应灯功率极限值的70%时，所累计的时间为灯的寿命。在寿命试4
QB/T4540—2013
验过程中由于机械或电路故障等引起灯的损坏不应计算在内，可换灯测试。整批灯试验结束后，可根据3.3计算出灯的平均寿命。寿命试验过程中，在平均寿命值的50%及70%时间时应对受试灯的光通量进行测试。
6.4外观质量
用目视法或标样对比法检验。
6.5灯头牢固度
采用专用的工具进行检验，扭力矩从零逐渐增加至规定值，目测检验灯头是否出现松动。6.6同轴度
用目视法检验。遇到争议时可在图3所示的测量装置上进行。测量时将灯头的一端垂直安装在夹具中，将灯缓慢绕轴转一圈，由指示量具上显示出最大读数和最小读数之差的1/2，即为灯的同轴度值。千分表
旋转装置
图3灯的同轴度测量装置
6.7启动性能
在触发器高频、高压输出导线与周围环境和机壳的绝缘性保持良好的状态下接通电源。6.8耐振动性能
按GB/T2423.10的规定，采用试验Fc方法进行试验，试验频率50Hz，振动幅度1mm（单振幅），在相互垂直的轴线上各持续振动10min。6.9耐碰撞性能
按GB/T2423.6的规定，采用试验Eb方法进行试验，峰值加速度100m/s2，持续时间16ms，按包装运输方向碰撞1000次。
6.10耐跌落性能
按GB/T2423.8的规定，采用试验Ed方法进行试验，跌落高度250mm，共跌落2次。7检验规则
7.1检验分类
产品检验分出厂检验和型式检验。7.2出厂检验
7.2.1出厂检验见表4。
QB/T4540-2013
检验项目
外形尺寸
光中心高度
灯电压
同轴度
启动性能
表4出厂检验
7.2.2灯的出厂检验应按出厂检验项目进行全检，剔除不合格品。7.3型式检验
试验方法
7.3.1型式检验应按GB/T2829要求，从出厂检验合格的灯中随机抽取。型式检验前，所有样品应按出厂试验的项目进行100%的检验，若发现不合格品，则以合格品换取，同时应分析原因，记入型式检验报告中，但不作为型式检验结果的鉴定依据。7.3.2型式检验应符合表5规定。表5
型式检验
检验项目
初始光通量
灯头牢固度
振动试验
磁撞试验
跌落试验
平均寿命
试验方法
抽样方案
按GB/T2829
次抽样方案
判别水平
样本数
判别数组
[0,1][2,2]
每个规格不少于3只，按照3.3判别型式检验每12个月不少于1次，或在出现下列情况中任意一项时进行：a）新产品试制定型时：
材料有较大改变时；
b）正式投产后在结构、工艺、
c）停产12个月以上恢复生产时。8标志、包装、运输和贮存
8.1标志
8.1.1每只灯的灯头上应有以下清晰的标志：a）灯的规格、型号；下载标准就来标准下载网
b）制造厂商标：
c）制造日期（年、季或月）。
8.1.2灯的包装盒上应有以下清晰的标志：a）灯的名称、型号：
b）标准编号：
c）制造商商标及名称、地址。
8.1.3灯的外包装箱上，除应符合8.1.2的规定外，还应注明：a）灯数量；
b）包装日期：
c）符合GB/T191规定的包装储运图示标志。8.2包装
QB/T4540-2013
灯的包装应牢固并具有良好的耐振性能。每只包装盒应附有产品说明书和合格证。8.3运输
产品运输过程中应防止雨雪淋袭和强烈的震动及冲击购存
灯应贮存在相对湿度不超过85%的干燥、通风，且没有腐蚀性气体的室内。7
QB/T4540-2013
中华人民共和国
轻工行业标准
超高压短弧汞灯
QB/T4540-2013
中国轻工业出版社出版发行
地址：北京东长安街6号
邮政编码：100740
发行电话：（010)65241695
网址：http：/www.chlip.com.cnEmail:club@chlip.com.cn
轻工业标准化编辑出版委员会编辑地址：北京西城区下斜街29号
邮政编码：100053
电话：(010)68049923/24/25
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书号：155019·4133
印数：1-200册
定价：16.00元
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