基本信息

标准号： GB/T 42158-2023

中文名称：微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法

标准类别：国家标准(GB)

英文名称：Micro-electromechanical systems technology(MEMS)—Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures

标准状态：现行

发布日期：2023-03-17

实施日期：2023-07-01

出版语种：简体中文

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标准分类号

标准ICS号：电子学>>半导体器件>>31.080.99其他半导体器件

中标分类号：电子元器件与信息技术>>微电路>>L59微型组件

关联标准

采标情况：IEC 62047-26:2016,IDT

出版信息

出版社：中国标准出版社

页数：28页

标准价格：50.0

相关单位信息

起草人：张硕、顾枫、李根梓、沈俊杰、俞骁、周再发、王敏锐、贾建国、许百宏、许克宇、王志远、刘志广

起草单位：苏州市质量和标准化院、中机生产力促进中心有限公司、苏州揽芯微纳科技有限公司、东南大学、苏州市标准化协会、美满芯盛(杭州)微电子有限公司、深圳市中图仪器股份有限公司、四川富生电器有限责任公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国合格评定国家认可中心等

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

提出单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会