基本信息

标准号： GB/T 42158-2023

GB/T 42158-2023微机电系统（MEMS）技术微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法

标准类别：国家标准(GB)

发布日期：2023-03-17

实施日期：2023-07-01

出版语种：简体中文

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标准分类号

标准ICS号：电子学>>半导体器件>>31.080.99其他半导体器件

中标分类号：电子元器件与信息技术>>微电路>>L59微型组件

关联标准

采标情况：IEC 62047-26:2016,IDT

出版信息

出版社：中国标准出版社

页数：28页

标准价格：50.0

标准简介

本文件描述了微米尺度沟槽结构和棱锥式针结构，并给出两种结构几何形状的测量示例。本文件中沟槽结构的深度为1 μm～100 μm、沟槽宽和沟槽间隔宽均为5 μm～150 μm、深宽比为0.006 7～20。棱锥式针结构具有三个或四个面，其高度、横向宽度和纵向宽度为2 μm或更大，并且外轮廓尺寸可包含于边长为100 μm的立方体内。本文件适用于MEMS结构设计和MEMS结构加工后的几何形状评估。

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