基本信息

标准号： GB/T 42897-2023

中文名称：微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

标准类别：国家标准(GB)

英文名称：Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS

标准状态：现行

发布日期：2023-08-06

实施日期：2023-12-01

出版语种：简体中文

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标准分类号

标准ICS号：电子学>>31.200集成电路、微电子学

中标分类号：电子元器件与信息技术>>微电路>>L59微型组件

关联标准

出版信息

出版社：中国标准出版社

页数：16页

标准价格：31.0

相关单位信息

起草人：张大成、杨芳、李根梓、顾枫、刘鹏、李凤阳、王旭峰、高程武、陈艺、于志恒、华璇卿、刘若冰、张彦秀、王清娜、邵峥、李强、宏宇、赵成龙、张宾、李海全

起草单位：北京大学、中机生产力促进中心有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京燕东微电子科技有限公司、厦门市智慧健康研究院有限公司、宁波瑞成包装材料有限公司、四川富生电器有限责任公司、深圳市美思先端电子有限公司、无锡韦感半导体有限公司、广州奥松电子股份有限公司等

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

提出单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会