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标准号： GB/T 42896-2023
中文名称：微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
标准类别：国家标准(GB)
英文名称：Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS
标准状态：现行
发布日期：2023-08-06
实施日期：2023-12-01
出版语种：简体中文
下载格式：.pdf .zip
下载大小：2.37 MB
标准ICS号：电子学>>31.200集成电路、微电子学
中标分类号：电子元器件与信息技术>>微电路>>L59微型组件
出版社：中国标准出版社
页数：16页
标准价格：31.0
起草人：张大成、杨芳、李根梓、顾枫、刘鹏、王旭峰、李凤阳、高程武、于志恒、陈艺、华璇卿、刘若冰、张彦秀、罗书明、武斌、张启心、张宾
起草单位：北京大学、中机生产力促进中心有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京燕东微电子科技有限公司、宁波芯健半导体有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、上海临港新片区跨境数据科技有限公司、广州奥松电子股份有限公司
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
提出单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
