首页 >  国家标准(GB) >  GB/T 43536.2-2023三维集成电路 第2部分:微间距叠层芯片的校准要求

基本信息

标准号: GB/T 43536.2-2023

中文名称:三维集成电路 第2部分:微间距叠层芯片的校准要求

标准类别:国家标准(GB)

英文名称:Three dimensional integrated circuits—Part 2:Alignment of stacked dies having fine pitch interconnect

标准状态:现行

发布日期:2023-12-28

实施日期:2024-04-01

出版语种:简体中文

下载格式:.pdf .zip

下载大小:2.19 MB

标准分类号

标准ICS号:电子学>>31.200集成电路、微电子学

中标分类号:电子元器件与信息技术>>微电路>>L56半导体集成电路

关联标准

采标情况:IEC 63011-2:2018

出版信息

出版社:中国标准出版社

页数:16页

标准价格:31.0

相关单位信息

起草人:汤朔 李锟 肖克来提 吴道伟 刘欣 陈先明

起草单位:中国电子技术标准化研究院、华进半导体封装先导技术研发中心有限公司、中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所、青岛智腾微电子有限公司、珠海越亚半导体股份有限公司

归口单位:全国半导体器件标准化技术委员会(SAC/TC 78)

提出单位:中华人民共和国工业和信息化部

发布部门:国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会

标准简介

本文件规定了在芯片键合过程中使用多个叠层集成电路之间初始校准和校准保持的要求。定义了校准标记和操作步骤。本文件只适用于使用电耦合方法进行的芯片间校准。


标准图片预览

GB/T 43536.2-2023三维集成电路 第2部分:微间距叠层芯片的校准要求 GB/T 43536.2-2023三维集成电路 第2部分:微间距叠层芯片的校准要求 GB/T 43536.2-2023三维集成电路 第2部分:微间距叠层芯片的校准要求 GB/T 43536.2-2023三维集成电路 第2部分:微间距叠层芯片的校准要求 GB/T 43536.2-2023三维集成电路 第2部分:微间距叠层芯片的校准要求