本标准代替ZB J78 016-89、 ZB J78 017-89、ZB J78 018-89和ZB J78 019-89四项标准。 本标准规定了真空泵、真空机组、真空阀门和真空镀膜机型号和编制方法。 本标准适用于上述各种真空设备的型号编制。 JB/T 7673-1995 真空设备 型号编制方法 JB/T7673-1995 标准下载解压密码：www.bzxz.net

中华人民共和国机械行业标准
JB/T7673-95
真空设备型号编制方法
1995-06-16发布
中华人民共和国机械工业部
1996-07-01实施
中华人民共和国机械行业标准
真空设备型号编制方法
1主题内容与适用范围
JB/T 767395
代警ZBJ78016~78019-89
本标准规定了真空、真空机组、真空阀门和真空镀膜机型号的编制方法。本标准适用于上述各种真空设备的型号编制。2真空设备型号组成
由基本型号和辅助型号两部分组成，两者中间为横直线。各种真空设备型号的构成分述如下。2.1真空泵bZxz.net
基本型号
辅助型号
123-456
1代表真空泵级(极)数，以阿拉伯数字表示。不分级(极)或单级(极)者省略、2代表真空泵名称，以构成名称的一个（或两个)关键字的汉语拼音第-（或第二)个字母(印刷体大写)表示，按表1规定。
3代表真空泵特征，以其关键字的汉语拼音第一(或第二)个字母(印刷体大写)表示，按表2规定或自编补充代号。
4代表真空泵使用特点（多指被抽气体性质），对于可凝性被抽气体，以印刷体大写字母“N”表示；对于腐蚀性被抽气体，以印刷体大写字母“F”表示。无特指者省略。5代表真空泵规格或主参数，以阿拉伯数字表示。6代表真空泵设计序号.从第一次改型设计开始.以字母A、B、C顺序表示。表1
真空名称
往复真空泵
定片真空票
旋片式真空泵
滑阀真空泵
罗茨真空票(机械增压蔡）
余摆线真空泵
射离子泵
单级多旅片式真空泵
机械工业部1995-06-16批准
关键字意义及拼音字母
“往“复“wang”
“定\片“ding\
“旋\片“xuan\
“滑\阀“hua”
“增\压\zeng\，\机\械\\\余”摆\yu\“真\空\zhen”“离\子\”
“旋\片\xuan”，\多\\duo\真空泵规格或主参数
独气速率
抽气速率
相应单位
1996-07-01实施
真空泵名称
分子泵”
油扩散真空泵
汞扩散真空泵
油扩散喷射泵(油增压泵）
升华泵
回旋泵（弹道泵）
复合式离子泵
锆铝吸气剂泵
制冷机低温泵
灌注式低温泵
分子筛吸附泵
水喷射泵
空气喷射泵
水蒸汽喷射泵
JB/T 7673--95
续表1
关健字意义及拼音字母
“分\子\fen”
“扩”散\kuo”
“扩”散\kuo\，\承”\gong\“增”压“zeng”
“升\华\sheng”
“回\*hui\\旅\\xuen”
“离”子\li”，“复”合式“fu”“锆”\gao\\铝”\lu”
“低”温“di”，“制\冷\zhi\“低”温“di\“灌”注\guan\“吸”附“xi\，“分”子\fen”“喷”射\pen”,\水\\shui”“喷\射\pen\，空”气”\qi”“喷射\pen”
真空泵规格或主参数
进气口径
分子筛重量
抽气量
注，1）个别规格泵的进气口径相同而抽气速率不等，则可同时标出抽气速率，单位L/5。表2
关键字意义及拼音字母
卧\式\wo\
“直\联\2hi\
“升”华器\sheng”
“多\式、\$\元\duo\
“磁\控\ci”
真空机组(以下简称机组）
基本型号
辅助型号
023-45
关键字意义及拼音字母
“凸“腔\tu”
“风\冷\feng”
磁\悬”浮\xuan”
“金\属密封\jin”
“干\式（无油》\gan\
1代表机组，以“机”字的汉语拼音“ji\的第一个字母(印剧体大写\J\表示。2代表机组中主泵名称，以代号表示，按表1规定。相应单位
3代表机组组合特征，以其关键字的汉语拼音字母(印刷体大写)表示，由制造厂编撰。通常可省略。
4代表机组中主泵的规格或主参数，以阿拉伯数字表示。5代表机组设计序号，从第一次改型设计开始，以字母A.B、C.…顺序表示。真空阀门(以下简称阀门)
JB/T 7673-95
基本型号
辅助型号
123-456
1代表阀门使用真空范围，以其关键字的汉语拼音第-个字母(印刷体大写)表示.按表3规定。2代表阀门结构型式或功能类别，以其关键字的汉语拼音第一(第二、三)个字母(印刷体大写)表示，按表4规定。
3代表阀门驱动方式，以其关键字的汉语拼音第一个字母(印刷体大写)表示.按表5规定，手动式省略。
4代表阀门通道型式，以其关键字的汉语拼音第一个字母（印剧体大写）表示·按表6规定·直通式省略。
各一公称通径，单位：mm，以阿拉伯数字表示，带充气的阅门在数字之前须添加5代表阀门规格-
印刷体大写字母Q。
6代表阀门设计序号，从第一次改型设计开始，以字母A、B、C.…顺序表示。表3
关键字意义及拼音字母
“超”高真空阀\chao”
关键字意义及拼音字母
“挡\板“dang”
“\插\板“cha\
“翻\板“fan\
隔\膜\\mo\
“蝶\\die\
关键字意义及拼音字母
“电\动\dian”
关键字意义及拼音字母
真空镀膜机（以下简称镀膜机）2.4
“磁”动\ei”
“高\真空阀\gao\
“三\通式\san”
基本型号
辅助型号
“低\真空阀“di\
关键字意义及拼音字母
“锥\形\zhui\
“微“调\wei\
充\气”“qi”
“球\形\qiu\
“压\差\ya”
“气\动”\Qi”
023-456
“波”动\ye”
直\角\式\jiao\
JB/T 7673-95
12代表膜层沉积原理，以其二至三个关键字的汉语拼音第一（或第二)个字母(印剧体大写）表示，按表7规定。
3代表镀膜机结构特征，以主要特征关键字的汉语拼音第一《或第二)个字母(印刷体大写)表示。按表8规定或自编补充代号。
4代表镀膜机用途特征，以其关键字的汉语拼音第一（或第二)个字母(印刷体大写)表示，按表9规定或自编补充代号。
5代表镀膜室内部儿何尺寸，圆筒形为事内径×长度，箱式为箱体内部尺寸长×宽×高。以阿拉伯数字表示，单位；mm。
6代表镀膜机设计序号，从第一次改型设计开始，以字母A、B、C…顺序表示。表7
设备按膜层沉积原理的分类
电阻加热蒸发
化学气
相沉积
复合式
电子束加热蒸发
高额感应加热蒸发
激光束加热蒸发
兼有电阻蒸发源及电子束蒸发源直流溅射
直流磁控溅射
直流反应性溅射
直流吸附溅射
直流偏压溅射
高频溅射
高频磁控溉射
高频反应性溅射
高频吸附溉射
高频偏压溉射
电阻蒸发离子镀膜
电子束蒸发离子镀膜
高频感应蒸发离子镀膜
空心阴极离于镀膜
溅射离子镀膜
多弧阴极离子镀膜
族团离子镀膜
低压化学气相沉积
等离子化学气相沉积
光化学气相沉积
兼有燕发源及溅射源
兼有不同原理流积源
关键字意义及拼音字母
“蒸\发“zheng\，电“阻\\zu”“蒸\发\zheng”，电子“束\\shu”“蒸\发\zheng”，“感\应“gan”\蒸”\发\zheng”，“激”光束”ji”“溅”射\jian”
“溅”射\jian”，“磁”控\ci\“溅\射\jian\，“反”应\fan”“溅\射\ian”，“吸\附\xi\“薇”射\jian”“偏”压“pian”“溅\射\jian”，“高\颖\gao”“溅\射“jian\，“高\频”gao\，“微\控“ci”“溅”射“jian”、“高\额gao”，“反”应\fan\“溅”射“jian”，“高\频\gao”，“吸\附“xi\“溅\射”jian”，“高\频“gao”，“偏\压“pian”“离\子“1i”，电“阻\zu”“高\子\i\，电子”束\\shu\“离\子“li\，“感\应\gan”“离\\li\，\空\心\kong”“离\子\l”，“溅”射\jian\\离”子\li\，“多”弧“duo\“离\子\li”，“筷”团\cu”“化\学\hua\、\低\压“di”\化\学“hua\，\离\子\li\“化\学\hua\\光”“guang”“复\合“fu\，\蒸\发zheng\，“溅\射\jian”“复”合\fu”.意义见注
注：表中口口分别表示几种不同沉积原理关键字汉语拼音的第一（或第二）个字母（印刷体大写），4
构特征
平面溅射
同轴溅射
例性式戏射
连续式
半连续式
多室式
JB/T 7673—95
关铸字意义及拼音字母
\平\面\ping”
“同\轴“tong”
“倒”锥\dao\
“卧\式*wo\
“连\续“lian”
“丰“速续\ban\
“多\室“duo”
“箱\式“xiang\
注；对二极、三极或四极溅射的镀膜设备，以相应的阿拉伯数字表示，标记于型号的首位。表9
用途特征
塑料镀膜
制镜镀膜
硒鼓镀膜
电阻镀膜
电容镀膜
晶体镀膜
刀具镀膜
装饰镀膜
光学镀膜
电气元件镀膜
真空设备型号示例
真空泵
W—35B
往复真空泵，抽气速率为35L/s，第二次改型设计：2X-15A
双级旋片式真空泵，抽气速率为15L/s，第一次改型设计；XD—63
单级多旋片式真空泵.抽气速率为63m\/h；d.
ZJ-600
罗茨真空泵.抽气速率为600L/s：e.
YZ-150
余摆线真空泵.抽气速率为150L/s：3L-160
三极溅射离子泵，抽气速率为160L/s；g.
关键字意义及拼音字母
“塑”料\su\
制\镜\\jing\”
硒\鼓”\gu”
电“阻\\zu\
电“容\\rong”
晶“体\\ti\”
“刀\具“dao\
装\饰\\shi\
“光\学\guang”
“元\件\yuan”
分子泵，进气口径为160mm；
油扩散真空泵，进气口径为800mm；2—400
油扩散喷射泵，进气口径为400mm；j.S-400
升华泵，进气口径为400mm；
k.GL--100
锆铝吸气剂泵，进气口径为100mm，DZ—160
制冷机低温泵，进气口径为160mm；m.IF-3
JB/T7673
分子筛吸附泵，装入分子筛重量为3kg；水蒸汽喷射泵型号按下例编制：3P0.63—50/0.6-10
三级水蒸汽喷射泵。吸入压力为0.63kPa，抽气量为50kg/h，其中可凝性气体量为10kg/h，工作蒸汽压力为0.6MPa。
3.2机组
JK-400
油扩散真空泵机组，主泵进气口径为400mm；b.J3L—320
三极溅射离子泵机组，主泵抽气速率为320L/s：c.JF—250
分子泵机组，主泵进气口径为250mm。3.3阀门
GDQJ320
高真空气动挡板阀.直角式，公称通径为320mm；DDC—JQ50
低真空磁动挡板阀，直角式、带充气，公称通径为50mm；GI-—50
高真空手动蝶型阀，公称通径为50mm；d.DW-2A
低真空微调阀，公称通径为2mm，第一次改型设计；e.
CD—J25
超高真空手动挡板阀，直角式，公称通径为25mm；f.CCQ-100
超高真空气动插板阀，公称通径为100mm；g．CDY—320
超高真空液动挡板阀，公称通径为320mm。3.4
镀膜机
ZZB—S$630X800A
电阻蒸发半连续式塑料镀膜机.镀膜室圆筒内径为4630mm.长为800mm，第一次改型设计：ZZW-G$1000X1000
JB/T7673-95
电阻蒸发卧式硒鼓镀膜机，镀膜室圆简内径为$1000mm，长为1000mm；ZSX—S630X400X800B
电子束蒸发箱式塑料镀膜机，镀膜室箱体内部尺寸长为630mm，宽为400mm：高为800mm.第二次改型设计；
JGCP-Y$400X400
平面高频磁控溅射电气元件镀膜机，镀膜室圆筒内径为$400mm，长为400mm：3JG-H$400×400
三极高频溅射装饰镀膜机，镀膜室圆筒内径为$400mm，长为400mm；f.JCT—J2500X650X1700
同轴直流磁控溅射制镜镀膜机，镀膜室箱体内部尺寸长为2500mm，宽为650mm，高为1700mm；LKW-D$800X800
空心阴极离了卧式刀具镀膜机，镀膜室圆筒内径为$800mm，长为800mm、附加说明：
本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出。本标准由机械工业部沈阳真空技术研究所归口并负责起草。本标准主要起草人张、李玉英。中华人民共
机械行业标准
真空设备型号编制方法
JB/T 7673-95
机械工业部机械标准化研究所出股发行机械工业部机械标准化所究所印刷（北京8141信籍
#编10081）
不得翻印
版权专有
开本880×12301/16印张3/4
字数14.000
1996年4月第--版
1996年+月第一次印
印数00.001-500
定价8.元
编号95-127
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