GB/T 17473.6-1998
基本信息
标准号： GB/T 17473.6-1998
中文名称：厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定
标准类别：国家标准(GB)
标准状态：已作废
发布日期：1998-08-19
实施日期：1999-03-01
作废日期：2008-09-01
出版语种：简体中文
下载格式：.rar.pdf
下载大小：112038
标准分类号
标准ICS号：冶金>>金属材料试验>>77.040.01金属材料试验综合
中标分类号：冶金>>金属理化性能试验方法>>H23金属工艺性能试验方法
出版信息
出版社：中国标准出版社
书号：155066.1-15494
页数：平装16开， 页数：6， 字数：6千字
标准价格：8.0 元
出版日期：2004-04-15
相关单位信息
首发日期：1998-08-19
复审日期：2004-10-14
起草单位：昆明贵金属研究所
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
发布部门：国家质量技术监督局
主管部门：中国有色金属工业协会
标准简介
本标准规定了贵金属浆料分辨率的测试方法。本标准适用于贵金属浆料的分辨率测定。非贵金属浆料亦可参照使用。 GB/T 17473.6-1998 厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定 GB/T17473.6-1998 标准下载解压密码：www.bzxz.net
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标准内容
ICS.77.040.01
中华人民共和国国家标准
GB/T17473.6—1998
厚膜微电子技术用贵金属浆料
测试方法分辨率测定
Test methods of precious metal pastesusedforthick filmmicroelectronics-Determinationofresolution
1998-08-19发布
1999-03-01实施
国家质量技术监督局发布
GB/T17473.6-1998
贵金属浆料是厚膜微电子技术领域的一种重要材料，分辨率是浆料的主要性能之一。目前我国尚未制定出浆料分辨率测试方法的标准，也未检索到该测试方法的国际标准或国外先进标准。本标准主要参照日本标准JISC5010《印刷线路板规则》及相关资料，结合我国贵金属浆料生产与应用实践而制定的。
本标准由中国有色金属工业总公司提出。本标准由中国有色金属工业总公司标准计基研究所归口。本标准由昆明贵金属研究所负责起草。本标准主要起草人：张林震。
1范围
中华人民共和国国家标准
厚膜微电子技术用贵金属浆料
测试方法分辨率测定
Test methods of precious metal pastesused for thick film microelectronics-Determination of resolution本标准规定了贵金属浆料分辨率的测试方法。GB/T17473.6—1998
本标准适用于贵金属浆料的分辨率测定。非贵金属浆料亦可参照使用。2引用标准
下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB/T8170—1987数值修约规则
3方法提要
浆料用丝网印刷成图形。图形经烘干或烧结后，用显微镜在一定的放大倍数下观察和测量图形的膜线宽度和线间距，进行浆料分辨率的测定。4材料
4.1光刻膜丝网丝径20~25um不锈钢丝网。4.2Al.0含量不小于95%、表面粗糙度为0.5~1.5um在测距为10mm的条件下测量）的陶瓷基片。
5设备与仪器
5.1半自动厚膜印刷机。
5.2红外烘干机。
5.3厚膜隧道烧结炉。
5.4读数显微镜，放大倍数25～100X，读数精度0.01mm以上。5.5光切测厚仪。
6样品制备
6.1在温度20~25℃、相对湿度45%~75%和大气压力86~106kPa环境下，用印刷机在基片上印出图形，印刷图案为与表1中的膜线宽度和线间距相等的五组4线条图形组成。图案乳胶层厚度为8～10μm
国家质量技术监督局1998-08-19批准1999-03-01实施
GB/T17473.6--1998
6.2将印有图形的基片水平放置5min，然后把基片置于150C红外烘干机内烘于，制得待测试样品1。试样1的烘干膜厚度控制在15~35μm。6.3将试样基片置于峰值温度为850℃的隧道炉内烧成，制得待测试样品I。试样I的烧成膜厚度控：制在10~25μm。
7测试步骤
7.1将试样「或试样I暨于显微镜台面上，调整目镜及物镜至图像清晰位置。转动显微镜手柄，从0.1mm线条至0.5mm线条之间，选择最先具有线条均匀连续和轮筛鲜明的一组线条作为测量对象。7.2转动显微镜刻度手柄，先后将显微镜内的十字坐标对准膜线两侧边，测量膜线宽度。7.3用同样的方法测量线间距。
7.4测量精度为0.01mm，膜线宽度及线间距图形见图1。7.5对同一浆料试样，每次测量的试样不少于6片。W一膜线宽度，W一线间距
图1膜线宽度及线间距示意图
8测试结果的计算及判定
8.1按式（1）和式（2)分别计算出每片试样线条组的膜线宽度平均值和线间距平均值：XaW.+W.+W.+w.
Xg-W+Wu+Wu
式中：Xa膜线宽度平均值，mm；Xg一线间距平均值，mm；
W.膜线宽度测量值，mm；
W.线间距测量值，mm。
8.2数值修约按GB/T8170的规定进行，取两位有效数字。8.3分辨率规格应符合表1的规定。表1分辨率规格
分辨率规格
膜线宽度，mm
线间距，mm
（1）
8.4当膜线宽度的平均值和线间距的平均值与表1相应规格的规定值的差值在土10%时，方可确定为相应规格的取值，差值超过土10%时，视为低一级规格并重新测量，8.5当6片试样全部达到同一规格时，方可确定该规格为被测浆料的分辨率。8.6当6片试样中有1片或1片以上试样的规格低于其余试样的规格时，应取低一级规格对相应的试2
GB/T17473.6—1998
样进行测量和判定，直到满足8.4条要求为止。9试验报告
试验报告应包括下列内容：
a）试样编号：
b）浆料名称、牌号和状态；
c）浆料批号；
d）检测结果及检测部门印章；
e）本标准号：
f）检测人及检测日期。
中华人民共和国
国家标准
厚膜微电子技术用贯金属浆料
测试方法分辨率测定
GB/T17473.6—1998
中国标准出版社出版
北京复兴门外三里河北街16号bzxz.net
邮政编码：100045
话：68522112
无锡富瓷快速印务有限公司印刷新华书店北京发行所发行各地新华书店经售版权专有不得翻印
开本880×12301/16印张1/2字数6千字1999年3月第一版1999年3月第一次印刷印数1-800
书号：155066：1-15494
标目366-39
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中华人民共和国国家标准
GB/T17473.6—1998
厚膜微电子技术用贵金属浆料
测试方法分辨率测定
Test methods of precious metal pastesusedforthick filmmicroelectronics-Determinationofresolution
1998-08-19发布
1999-03-01实施
国家质量技术监督局发布
GB/T17473.6-1998
贵金属浆料是厚膜微电子技术领域的一种重要材料，分辨率是浆料的主要性能之一。目前我国尚未制定出浆料分辨率测试方法的标准，也未检索到该测试方法的国际标准或国外先进标准。本标准主要参照日本标准JISC5010《印刷线路板规则》及相关资料，结合我国贵金属浆料生产与应用实践而制定的。
本标准由中国有色金属工业总公司提出。本标准由中国有色金属工业总公司标准计基研究所归口。本标准由昆明贵金属研究所负责起草。本标准主要起草人：张林震。
1范围
中华人民共和国国家标准
厚膜微电子技术用贵金属浆料
测试方法分辨率测定
Test methods of precious metal pastesused for thick film microelectronics-Determination of resolution本标准规定了贵金属浆料分辨率的测试方法。GB/T17473.6—1998
本标准适用于贵金属浆料的分辨率测定。非贵金属浆料亦可参照使用。2引用标准
下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB/T8170—1987数值修约规则
3方法提要
浆料用丝网印刷成图形。图形经烘干或烧结后，用显微镜在一定的放大倍数下观察和测量图形的膜线宽度和线间距，进行浆料分辨率的测定。4材料
4.1光刻膜丝网丝径20~25um不锈钢丝网。4.2Al.0含量不小于95%、表面粗糙度为0.5~1.5um在测距为10mm的条件下测量）的陶瓷基片。
5设备与仪器
5.1半自动厚膜印刷机。
5.2红外烘干机。
5.3厚膜隧道烧结炉。
5.4读数显微镜，放大倍数25～100X，读数精度0.01mm以上。5.5光切测厚仪。
6样品制备
6.1在温度20~25℃、相对湿度45%~75%和大气压力86~106kPa环境下，用印刷机在基片上印出图形，印刷图案为与表1中的膜线宽度和线间距相等的五组4线条图形组成。图案乳胶层厚度为8～10μm
国家质量技术监督局1998-08-19批准1999-03-01实施
GB/T17473.6--1998
6.2将印有图形的基片水平放置5min，然后把基片置于150C红外烘干机内烘于，制得待测试样品1。试样1的烘干膜厚度控制在15~35μm。6.3将试样基片置于峰值温度为850℃的隧道炉内烧成，制得待测试样品I。试样I的烧成膜厚度控：制在10~25μm。
7测试步骤
7.1将试样「或试样I暨于显微镜台面上，调整目镜及物镜至图像清晰位置。转动显微镜手柄，从0.1mm线条至0.5mm线条之间，选择最先具有线条均匀连续和轮筛鲜明的一组线条作为测量对象。7.2转动显微镜刻度手柄，先后将显微镜内的十字坐标对准膜线两侧边，测量膜线宽度。7.3用同样的方法测量线间距。
7.4测量精度为0.01mm，膜线宽度及线间距图形见图1。7.5对同一浆料试样，每次测量的试样不少于6片。W一膜线宽度，W一线间距
图1膜线宽度及线间距示意图
8测试结果的计算及判定
8.1按式（1）和式（2)分别计算出每片试样线条组的膜线宽度平均值和线间距平均值：XaW.+W.+W.+w.
Xg-W+Wu+Wu
式中：Xa膜线宽度平均值，mm；Xg一线间距平均值，mm；
W.膜线宽度测量值，mm；
W.线间距测量值，mm。
8.2数值修约按GB/T8170的规定进行，取两位有效数字。8.3分辨率规格应符合表1的规定。表1分辨率规格
分辨率规格
膜线宽度，mm
线间距，mm
（1）
8.4当膜线宽度的平均值和线间距的平均值与表1相应规格的规定值的差值在土10%时，方可确定为相应规格的取值，差值超过土10%时，视为低一级规格并重新测量，8.5当6片试样全部达到同一规格时，方可确定该规格为被测浆料的分辨率。8.6当6片试样中有1片或1片以上试样的规格低于其余试样的规格时，应取低一级规格对相应的试2
GB/T17473.6—1998
样进行测量和判定，直到满足8.4条要求为止。9试验报告
试验报告应包括下列内容：
a）试样编号：
b）浆料名称、牌号和状态；
c）浆料批号；
d）检测结果及检测部门印章；
e）本标准号：
f）检测人及检测日期。
中华人民共和国
国家标准
厚膜微电子技术用贯金属浆料
测试方法分辨率测定
GB/T17473.6—1998
中国标准出版社出版
北京复兴门外三里河北街16号bzxz.net
邮政编码：100045
话：68522112
无锡富瓷快速印务有限公司印刷新华书店北京发行所发行各地新华书店经售版权专有不得翻印
开本880×12301/16印张1/2字数6千字1999年3月第一版1999年3月第一次印刷印数1-800
书号：155066：1-15494
标目366-39
小提示：此标准内容仅展示完整标准里的部分截取内容，若需要完整标准请到上方自行免费下载完整标准文档。