标准号: GB/T 1554-1995
中文名称:硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
标准类别:国家标准(GB)
标准状态:现行
发布日期:1995-04-18
实施日期:1995-12-01
出版语种:简体中文
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标准ICS号:冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析
中标分类号:冶金>>金属理化性能试验方法>>H26金属无损检验方法
出版社:中国标准出版社
页数:平装16开, 页数:12, 字数:20千字
标准价格:10.0 元
出版日期:1995-12-01
首发日期:1979-05-26
复审日期:2004-10-14
起草单位:峨嵋半导体材料厂
归口单位:全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布部门:国家技术监督局
主管部门:国家标准化管理委员会