本标准规定了用Ｘ射线技术测量硅片参考面结晶学取向的方法。本标准适用于硅片参考面结晶学取向与参考面规定取向之间角度偏差的测量。硅片直径为50～125mm，参考面长度为10～50mm。本标准不适用于硅片规定取向在与参考面和硅片表面相垂直的平面内的投影与硅片表面法线之间夹角不小于3°的硅片的测量。 GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向X射线测量方法 GB/T13388-1992 标准下载解压密码：www.bzxz.net

中华人民共和国国家标准
硅片参考面结晶学取尚X射线免费标准bzxz.net
测量方法
Method for measuring crystallographicorientation of flats on single crystal silicon slicesand wafers by X-ray techniques1主题内容与适用范围
本标准规定了用X射线技术测量硅片参考面结晶学取向的方法。GB/T13388-.92
本标准适用于硅片参考面结晶学取向与参考面规定取向之间角度偏差的测量。硅片直径为50125mm，参考面长度为10～50mm。本标准不适用于硅片规定取向在与参考面和硅片表面相垂直的平面内的投影与硅片表面法线之间夹角不小于3°的硅片的测量。
2引用标准
GB2828逐批检查计数抽样程序及抽样表（适用于连续批的检查）3方法原理
将一束单色X射线射到晶体上，在符合布喇格（Bragg）定律2dsing一na时便产生衍射。用X射线衍射仪测量来自硅片边缘-个晶面簇的衍射，通过测角仪读数计算平均角度偏差。4测量仪器
4.1X射线衍射仪
铜靶产生K。辐射，垂直狭缝，测角仪要有“度”和“分”的刻度，其精度为30\。4.2样品夹具
4.2.1样品夹具装置见图1、图2、图3。国家技术监督局1992-02-19批准:90
1992-10-01实施
GB/T 13388--92
图1样品夹具（正视图、侧视图）1硅片参考面；2-~基准档板；3-硅片：4真空吸盘；5～衍射仪中心轴（测角仪转动轴）图2样品夹具（顶视图）
4.2.2样品夹具设计应满足如下要求：图3硅片参考面和基准档板
1-基准档板；2--硅片参考面；3--硅片4.2.2.1样品夹具包括一个具有平坦表面的真空吸盘和个与该平面垂直的基准档板。样品夹具与基准档板相配合的零件表面的平整度应小于10um。4.2.2.2样品夹具固定在X射线衍射仪.上.其基准档板中心线与X射线衔射仪中心转轴重合。4.2.2.3样品夹具保证硅单品片相对于X射线和测角仪唯一刚性定位。5试样
5.1从批硅单晶片中按GB2828计数抽样方案或商定的方案抽取试样5.2试样参考面应平直。
6测量步骤
6.1选择衍射晶面簇
硅片参考面的规定取问和测量应选取的衍射晶面簇及布喇格角见下表。191
参考面规定取向
(h、、1)
GB/T13388—92
衍射面
(h、k、t)
布喇格角
23°40
44°04'
34°36
计数管位留
(两倍布喇格角）
47°20
69°12
6.2将X射线衍射仪的计数管定位，使入射线的延长线与计数管和衍射仪中心轴连线之间夹角等十两倍布喇格角，见图4。
图4硅片边缘×射线衔衍射法的衔射几何学示意图1-样品夹具；2-—硅片，3-计数管6.3将待测试样正面朝上放入样品夹具中，使其参考面与基准档板对准，用真空吸盘将试样吸住。6.4转动测角仪，直到衍射强度达到最大。6.5记录测角仪上所指示的角度归，读数精确到1'。6.6从样品夹具上取下试样，使正面朝下放入样品夹具中。重复6.3～6.5条操作，记录第二个角度值2。
6.7整个操作过程中要保证入射线，衍射晶面法线，衍射线和记数管窗口在同一平面内。7
测量结果计算
平均角度偏差由式(1)计算：
le = 42
式中，α—平均角度偏差，度，分；中—测角仪上第一个角度读数，度，分；Φ——测角仪上第二个角度读数，度，分。8精密度
本方法单个实验室测量二倍标准偏差为土2.34°。9试验报告
9.1试验报告应包括以下内容：
a，试样编号，导电型号，参考面规定取向；192
GB/T 13388—92
试样和測量值，的让算值；
测量仪器；
本标准编号；
测量单位和操作者：
测量日期。
附加说明：
本标摊由中国有色金属工业总公司提出。本标准由北京有色金属研究总院负责起草。本标准主要起草人高玉。
本标准等效采用ASTMF847《硅单晶片参考面结晶学取向X射线测量方法》。19
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